презентация (Технология создания зеркала)

Технологический анализ изделия «Зеркало»Эскиз изделия «Зеркало»Использование градиентных зеркалв лазерной оптикеСтадии технологического процессаПолучениезаготовкиОсновные характеристики изделияНаносимые материалыАнализатор спектраE4408BZrO2, SiO2Число слоев31..48Толщины слоев, нм150..250Коэффициент просветления(длина волны 1,06 мкм)99,9 %Коэффициент отражения(длина волны 1,35 мкм,1,53 мкм)Телескоп траекторныхизмененийШлифовказаготовкиПолировказаготовкиОчисткаподложки99,9 %Градиентный профильпоказателя преломленияЛазерный дальномерПрессуют шихту из алмаза и смолы,затем термообрабатывают при 160°,пропитывают жидким кремнием,излишки удаляют пескоструйнойобработкой, разрезают алмазными икруговыми пилами на цилиндрыШлифуют абразивом, с каждымэтапом используя все болеемелкие зернаИспользуют станки для полирования, гдеустанавливаютполировальник,представляющий собой звездочки сгнездамидляразмещенияполировальныхдисков,покрытыхвойлочными кругами.Очистка происходит в центрифуге,подложка очищается деионизованнойжидкостьюВысокодобротный оптическийрезонаторЗеркалоСушкаподложкиНанесениепокрытияИспытаниеизделияСистема формирования излученияСушка в центрифуге на большойскорости, либо в самой камере приоткачке.Подложка загружается в камеру и нанее поочередно наносятся ZrO2 и SiO2Проверка соответствия изделиянеобходимым условиям для егодальнейшей эксплуатацииÒåõíîëîãè÷åñêèé ìàðøðóò èçãîòîâëåíèÿ èçäåëèÿ “Çåðêàëî”Âàðêà øèõòûÐàñïèëèâàíèå çàãîòîâêèÍàãðåâàòåëüíûåýëåìåíòûØëèôîâêà è ïîëèðîâêà ïîäëîæêåêÀëìàçíàÿ ïèëàØëèôîâàëüíûé êðóã(ïîëèðîâî÷íûé êðóã)ØèõòàÏîäëîæêàÑòåêëîáîéÑòåêëîÎãíåóïîðíûéãîðøîêÝòàïû øëèôîâêè:1) ãðóáàÿ øëèôîâêà;2) òîíêàÿ øëèôîâêà;Àáðàçèâ - êâàðöåâûå ïåñêè, íàæäàêè.Øåðîõîâàòîñòü ïîâåðõíîñòè Ra=3,2Áëîêè ðàçðåçàþò àëìàçíûìè ïèëàìè:à) äèàìåòð 30 ìì;á) òîëùèíà ïîäëîæêè 2 ìì.Êîýôôèöèåíò ïðåëîìëåíèÿ nc=1,5183Âàðêà øèõòû â ñïåöèàëüíûõ îãíåóïîðíûõ ãîðøêàõ.Ïðîöåññ âàðêè äëèòñÿ îêîëî 24 ÷àñîâ.Òåìïåðàòóðà â ïå÷è äîñòèãàåò 1500 °C.Î÷èñòêà ïîäëîæêèÏîëèðîâêà ïðîèçâîäèòñÿ êðîêóñîìØåðîõîâàòîñòü Ra=1,2Íàíåñåíèå ïîêðûòèÿÑóøêà ïîäëîæêèÏîäëîæêàÖåíòðèôóãàÌèøåíüÄåèîíèçîâàííàÿâîäàÏëàçìàÌàãíèòûÑèñòåìà îõëàæäåíèÿÑèñòåìà íàïóñêàãàçà-2Ìàêñèìàëüíàÿ ñêîðîñòü öåíòðèôóãè 6500 îá/ìèíÈñïûòàíèÿ ïîêðûòèÿâ æèäêèõ àãðåññèâíûõ ñðåäàõËàçåðíûé äàëüíîìåð ÄËÊ-1Èñïûòàíèÿ ïîêðûòèÿíà ëó÷åâóþ ïðî÷íîñòüÏÇÑ-êàìåðàÏîäëîæêàÂîäà ñ ìîðñêîé ñîëüþÄèàôðàãìàÎáúåêòèâÈçäåëèåËèíçà Îïòè÷åñêèéêëèíËàçåðÔîòîäèîäÄèàôðàãìàÇåðêàëîÎïòè÷åñêèéêëèíÎáúåêòèâÎñöèëëîãðàôÏÇÑ-êàìåðà-1Äàâëåíèå â êàìåðå 9,31•10 ?2,66·10 ÏàÍàïðÿæåíèå íà ýëåêòðîäàõÒîê ðàçðÿäà 3±0,1 ÀÂåëè÷èíà èíäóêöèè ìàãíèòíîãî ïîëÿÎïòè÷åñêèéêëèíÊàëîðèìåòðÎïåðàöèè íàíåñåíèÿ ãðàäèåíòíîãî ïîêðûòèÿÍàïóñê ðàáî÷åãî ãàçàÎòêà÷êà âàêóóìíîé êàìåðûÏîäà÷à õîëîäíîé âîäûÊîíòóð îõëàæäåíèÿêîëïàêàArO2ArO2Âêëþ÷åíèå âðàùåíèÿ êàðóñåëèðàáî÷èõ îáðàçöîâArO2ÊàðóñåëüArO2Ëèíèÿ îõëàæäåíèÿìàãíåòðîíîâÏîäëîæêàÇàñëîíêà-3P=(2,6?3,9)·10 ÏàArO2ArO2ArO2ÊàðóñåëüArO2Ãåíåðàòîð1Ãåíåðàòîð2Ãåíåðàòîð1Ãåíåðàòîð2Ãåíåðàòîð2Ip = (3±0,1) ÀÐAr=9,31•10-2?2,66·10-1 Ïà,âðåìÿ ðàñïûëåíèÿ ôð=(15±0,05) ìèí (äëÿ Zr)Ip = (3±0,1) ÀÂðåìÿ òðåíèðîâêè (15±2) ñArO2Ðàòì.ArO2Ãåíåðàòîð2Ip = (2±0,1) ÀÐAr=9,31•10-2?2,66·10-1 Ïà,âðåìÿ ðàñïûëåíèÿ ôð=(3±0,05) ìèíIp = (2±0,1) ÀÂðåìÿ òðåíèðîâêè (15±2) ñÎòêëþ÷åíèå âðàùåíèÿ,ïåðåêðûòèå ïîäà÷è ðàáî÷åãî ãàçà,âûêëþ÷åíèå ïîäà÷è õîëîäíîé âîäû,íàïóñê àòìîñôåðû â êàìåðóÍàíåñåíèå ïîêðûòèÿÃåíåðàòîð1Òðåíèðîâêà ìèøåíè èç êðåìíèÿÏåðåâîä ðàáî÷èõ îáðàçöîââ çîíó ðàñïûëåíèÿ êðåìíèÿÍàíåñåíèå ïîêðûòèÿÒðåíèðîâêà ìèøåíè èç öèðêîíèÿÃåíåðàòîð1÷àñòîòà âðàùåíèÿ 6500 îá/ìèíP=(2,9? 3,9)•105 ÏàÃåíåðàòîð1Ãåíåðàòîð2Àíàëèç ìåòîäîâ íàíåñåíèÿ òîíêîïëåíî÷íûõ ïîêðûòèé è èõ òåõíîëîãè÷åñêèõ ïàðàìåòðîâÌàãíåòðîííîå ðàñïûëåíèåÐàñïûëÿåìûé ìàòåðèàëÏîäëîæêàÌàãíèòÇîíà êîíöåíòðàöèèïëàçìû òëåþùåãîðàçðÿäàÌåòîä íàèìåíüøèõ êâàäðàòîâÝëåêòðîííî ëó÷åâîå èñïàðåíèåÍàãðåâàòåëüïîäëîæêèÍàïûëÿåìûéñëîéÊàìåðàÊàòîäÏîòîê ïàðà2,35ÇàñëîíêàÝëåêòðîííàÿïóøêàArÇàâèñèìîñòü âûõîäíîãî ïàðàìåòðàîò êîëè÷åñòâà êèñëîðîäà â ñèñòåìå (â %)2,32,25Îòêà÷êàâàêóóìà2,22%ÊàìåðàÏîäëîæêàÄåðæàòåëü ïîäëîæåê(ìîæåò áûòü àíîäîì)Ñèëîâûå ëèíèèìàãíèòíîãî ïîëÿè ïîëíîì îòñóòñòâèè êàïåëüíîé ôàçû;Ïðåèìóùåñòâà Ïëîòíàÿ ìèêðî- (íàíî-) êðèñòàëëè÷åñêàÿ ñòðóêòóðàìåòàëëè÷åñêèõ è êåðàìè÷åñêèõ ïîêðûòèé ïðè ïîëíîì îòñóòñòâèèêàïåëüíîé ôàçû;Âîçìîæíîñòü íàíåñåíèÿ ïîêðûòèé íà òåðìî÷óâñòâèòåëüíûåìàòåðèàëû ïðè íèçêèõ òåìïåðàòóðàõ;Íàèáîëåå øèðîêèé ñïåêòð ïîêðûòèé ðàçëè÷íîãî íàçíà÷åíèÿ;Âûñîêàÿ ñêîðîñòü îñàæäåíèÿ;Âûñîêèå ñâîéñòâà ìåòàëëè÷åñêèõ è êåðàìè÷åñêèõ ïîêðûòèé.ÍåäîñòàòêèÐàñïëàâëåííûéìåòàëëÏîâåðõíîñòüèñïàðåíèÿ5%2,157%15%2,1ÂîäîîõëàæäàåìûéòèãåëüÌàãíåòðîííîå ðàñïûëåíèåðàõÝëåêòðîííûéïó÷îê20%Èñïàðÿåìûéìàòåðèàë2,05Ýëåêòðîííî-ëó÷åâîå íàïûëåíèå2Âûñîêàÿ ñêîðîñòü îñàæäåíèÿ.

Âîçìîæíîñòü ïîëó÷åíèÿòîëñòûõ ïîêðûòèé (äî 200 ìêì);1,950Âûñîêàÿ ÷èñòîòà ïîêðûòèé (ìèíèìóì ïðèìåñåé).5001000150020002500Ðåçóëüòàòû èñïûòàíèé íà äëèíå âîëíû 500 íì:Îòíîñèòåëüíàÿ ñëîæíîñòü òåõíè÷åñêîé ðåàëèçàöèè ìåòîäà ïðèïîëó÷åíèè ðåàêòèâíûõ (êåðàìè÷åñêèõ) ïîêðûòèé.Òðóäíî îáåñïå÷èòü ðàâíîìåðíîñòü òîëùèíû è ñòåõèîìåòðèèíà èçäåëèÿõ ñëîæíîé êîíôèãóðàöèè.Îòíîñèòåëüíî âûñîêàÿ ñòîèìîñòü îáîðóäîâàíèÿÍèçêàÿ ñòåïåíü çàãðóçêè èçäåëèÿìè îáúåìà ðàáî÷åéêàìåðûÊîëè÷åñòâî O2, % 2571520y, êîýôôèöèåíòïðåëîìëåíèÿ2,2862,2532,20962,18442,3092Ðåçóëüòàòû ïàðàëëåëüíûõ íàáëþäåíèéÀíàëèç òåõíîëîãè÷åñêèõ ôàêòîðîâÂõîäíûå êîíòðîëèðóåìûåè óïðàâëÿåìûå ôàêòîðû?ìàòåðèàë ïîäëîæêè?êîëè÷åñòâî êèñëîðîäà âñèñòåìå?íàïðÿæåíèå?äàâëåíèå ðàáî÷åãî ãàçàÂûõîäíûå ïàðàìåòðû(ôóíêöèÿ îòêëèêà)Ôîðìèðîâàíèåãðàäèåíòíîé ïëåíêèÂõîäíûå êîíòðîëèðóåìûåè íåóïðàâëÿåìûå ôàêòîðû?òåìïåðàòóðà îêðóæàþùåéñðåäû?âèáðàöèè?ìåòîä íàíåñåíèÿ ïîêðûòèÿ?âëàæíîñòü?êîýôôèöèåíò ïðåëîìëåíèÿÂõîäíûå íåêîíòðîëèðóåìûåè íåóïðàâëÿåìûå ôàêòîðû?íàëè÷èå äðóãèõ ãàçîâ âñèñòåìå?íåîäíîðîäíîñòü ïîäëîæêè?íàëè÷èå çàãðÿçíåíèé íàïîäëîæêå?òî÷íîñòü îáîðóäîâàíèÿ¹îïûòàÕ0Y1122,3098 2,30898 …252,292,283372,2372,234415520Y2YiY7YS22,309 2,30922,3*10-8…2,285 2,2868,3*10-8…2,231 2,2343,3*10-82,2088 2,21…2,2110-82,1849 2,1839…2,184 2,1844Óðàâíåíèå ðåãðåññèèY=2,309253-0,00659Õ2,20961,3*10-8Ïîäëîæêîäåðæàòåëü â êàðóñåëè óñòàíîâêè ÌàãíåòîíÊàðóñåëü273148569Îïðàâà1234.