Отзыв начного руководителя_Макеев (Разработка конструкторско-технологических методов и средств повышения надёжности смесителей радиосигналов на основе резонансно-туннельных диодов)

научного руководителя о диссертационной работе М.О. Макеева «Разработка конструкторско- технологических методов и средств повышения надежности смесителей радиосигналов на основе резонансно-туннельных диодов», представленной на соискание ученой степени кандидата технических наук по специальностям 05.11.14 - «технология приборостроения», 05.27.06 - «Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники» Актуальность темы работы обусловлена тем, что в радиоэлектронных системах, в первую очередь в узлах нелинейного преобразования радиосигналов, начинают применяться приборы на основе многослойных полупроводниковых гетероструктур с использованием квантоворазмерных эффектов в механизмах токопереноса, Это позволит освоить диапазон частот вплоть до оптического, а также существенно повысить эффективность выполнения нелинейных преобразований радиосигналов: смешивания, генерации, выпрямления и т.д, Перспективной областью применения таких систем считают аппаратуру космического базирования.

Очевидно, что требование долговременной надежной работы систем становится основным. Диссертант М.О. Макеев для решения поставленной в работе задачи применил несколько экспериментальных и расчетных методов. Отмечу, что метод инфракрасной широкополосной эллипсометрии-спектроскопии 1ИК С-Э) относится к самым новым в теоретическом и аппаратурном отношении среди применяемых для исследования приборов на основе многослойных структур, Расчетно-модельная часть работы включает численное решение квантово-размерной задачи токопереноса в резонанснотуннельных гетероструктурах, что также лишь недавно стало применяться при моделировании приборов.

Полученные диссертантом экспериментальные и расчетно-модельные результаты использованы им для создания математической модели «старения» всех элементов структуры резонансно туннельных диодов на этапах его изготовления и эксплуатации. Создана методика прогнозирования надежности смесителя радиосигналов на базе РТД. На этом основании сделана численная оценка надежности такого смесителя радиосигналов. Найдена причина «старения» - диффузионное размытие резонансно- туннельной гетероструктуры и деградация слоев контактной структуры. Предложена методика определения коэффициентов диффузии А! и % и ОаАв и методика диагностики показателей качества ОаАвА! гетероструктур использованием ИК С-Э.

Это позволило диссертанту предложить алгоритм выбора режимов технологической операций выращивания гетероструктуры и контактной структуры на этапе отработки технологии с целью повышения надежности смесителя радиосигналов на базе РТД, Практически полезные результаты работы реализованы также в программно-расчетном комплексе моделирования изменения ВАХ РТД в процессе «старения» и выбора конструктивных параметров РТД, повышающих надежность смесителя радиосигналов на базе РТД.

За время выполнения работы М.О. Макеев проявил настойчивость, способность осваивать новый литературный материал, разрабатывать экспериментальные методы и аппаратуру, и в итоге показал себя сложившимся научным сотрудником, способным решать сложные научнотехнические задачи. Считаю, что М.О. Макеев достоин присуждения ему искомой степени кандидата технических наук. Научный руководитель д.ф.-м.н., профессор кафедры «Технологии приборостроения» ФГБОУ ВПО МГТУ им. Н.Э.

Баумана: "... ~ ~У Ю.А. Иванов. ~( 4-"~. Подпись Иванова Ю.А. заве .