Отзыв на автореферат_ЛЭМЗ (Разработка конструкторско-технологических методов и средств повышения надёжности смесителей радиосигналов на основе резонансно-туннельных диодов)

МГТУ им. Н.Э. Баумана Диссертационный совет Д,212.132.06, д.т.н, профессору Цветкову Ю.Б . 105005, г. Москва 2-я Бауманская ул., д. 5 ОТЗЫВ на автореферат диссертационной работы Макеева М.О. «Разработка конструкторско-технологических методов и средств повышения надежности смесителей радиосигналов на основе резонансно-туннельных диодов», представленной на соискание ученой степени кандидата технических наук по специальностям 05,11.14 — «Технология приборостроения» и 05.27.06 «Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники» Одной из важных практических задач современного приборостроения является обеспечение заданных показателей надежности при производстве приборных систем. Ее успешное решение на конструкторско- технологическом этапе и дальнейшая эксплуатация изделия в полной мере зависит от результатов проведенных ранее исследовательских работ в этой сфере знаний.

В представленной на отзыв диссертации решается задача обеспечения надежности смесителей радиосигналов на новой современной элементной базе — резонансно-туннельных диодах. Диссертант отмечает целый ряд преимуществ применения РТД в смесителях радиосигналов по сравнению с традиционными ДБШ, что позволяет сделать вывод о перспективности диодов данного типа в радиотехнических устройствах.

В этой связи актуальность работы Макеева М.О., которая направлена на обеспечение надежности смесителей радиосигналов на основе РТД путем разработки комплекса конструкторско-технологических методов и средств, не вызывает сомнений. Как следует из автореферата, решение данной проблемы автор нашел в системном подходе, последовательно решая задачи: -определение физических закономерностей формирования отказа прибора; -исследование деградационных явлений в РТС, приконтактных областях и омических контактах РТД и их влияния на выходные электрические параметры смесителя с использованием методов ИК-спектральной эллипсометрии и ускоренного старения полупроводниковых устройств; -оценка влияния технологического процесса изготовления на модификацию свойств резонансно-туннельной гетероструктуры и омических контактов смесительных РТД; -разработка методик технической диагностики РТД с использованием методов ИК-спектральной эллипсометрии и ускоренного старения полупроводниковых устройств и методики прогнозирования надежности смесителей радиосигналов на основе РТД; -выбор конструкторско-технологических методов и средств повышения надежности смесителей радиосигналов на основе А1Аз/ОаАз РТД.

Такая системность в проведении научно-исследовательской работы выгодно отличает данную диссертацию, отражая ее целостность при решении значимой как в научном, так и т практическом плане проблемы. Не вызывают сомнения научная новизна диссертационной работы (в первую очередь разработанные методики оценки качества изготовления полупроводниковых резонансно-туннельных гетероструктур и омических контактов РТД и методика прогнозирования надежности смесителей на основе РТД); ее практическая ценность (отраженная в результатах внедрения на ФГУП ЦНИРТИ им.

академика А.И. Берга, г. Москва, а также в НИИ РЛ и УИЦ НТ НМСТ МГТУ им. Н.Э. Баумана); достоверность научных результатов (обусловленная адекватностью используемого математического аппарата, применением современного контрольно-измерительного оборудования, открытостью для научного сообщества — 14 статей). К замечаниям по автореферату следует отнести следующее: Исходя из того, что методика диагностики качества резонанснотуннельных гетероструктур на основе' ИК-спектральной эллипсометрии предполагает проведение термических воздействий на подложку, то вероятно, это приводит к необратимым процессам в гетероструктурах.

В автореферате не указано, является ли данная методика разрушающей, и, если да, то насколько снижается ресурс изделия. — Некоторые рисунки имеют трудйочитаемые части, например, рисунки 7 и 8. ЗАКЛЮЧЕНИЕ Диссертационная работа «Разработка конструкторско-технологических методов и средств повышения надежности смесителей радиосигналов на основе резонансно-туннельных диодов», отвечает требованиям ВАК, а ее автор Макеев М.О. заслуживает присвоения ему ученой степени кандидата технических наук по специальностям 05.11.14 — «Технология приборостроения» и 05.27.06 — «Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники».

к,т.н ОАО «НПО «ЛианозовскийКК- ''," -,' электромеханический завод1> 127411, г. Москва, Дмитровым,„,' шоссе, 110, тел. (495) 485-234ф; "----'--- "::;,''Ф ф Е-ша11: 1етк®йг.га. Кислуха А.Е. .