ДЗ (Архив домашних заданий неизвестных вариантов)
Описание файла
Файл "ДЗ" внутри архива находится в папке "Архив домашних заданий неизвестных вариантов". Документ из архива "Архив домашних заданий неизвестных вариантов", который расположен в категории "". Всё это находится в предмете "вакуумные системы технологического оборудования" из 5 семестр, которые можно найти в файловом архиве МГТУ им. Н.Э.Баумана. Не смотря на прямую связь этого архива с МГТУ им. Н.Э.Баумана, его также можно найти и в других разделах. Архив можно найти в разделе "курсовые/домашние работы", в предмете "вакуумные системы технологического оборудования" в общих файлах.
Онлайн просмотр документа "ДЗ"
Текст из документа "ДЗ"
Исходные данные:
Объем рабочей камеры – 0,5 м3;
Площ. непрогр. мет. дет.Fi – 0,5 м²
Площ. поверх. стекла Fj – 0,005 м²
Масса прогр. дет.(катод, испарит.) mk – 0,005 кг.
Рабочий вакуум – 5.10-9 Па;
Тип вакуума – безмасляный;
-
Исходя из объёма и формы выбрать геометрические параметры камеры и определить площадь поверхности.
-
Допустим, что камера цилиндрическая.
-
Высота = 0,5 м
-
Радиус = 0,56 м
-
Площадь поверхности = 1,76
-
Расчет эффективной быстроты откачки вакуумной камеры.
-
Рабочее давление =5.10-9 [Па];
-
S0=Qв/p=
Выбор типа и типоразмера высоковакуумного насоса исходя из условия Sн≥S0, типа вакуума и давления остаточных газов;
-
Криогенный насос HSR VCP DN 320
-
Предельное давление РН’, Па –
-
Быстрота действия, - 11,0
-
Диаметр присоединительного фланца Dy, мм - 320
-
Диапазон рабочих давлений РР, Па –
-
Даёт безмасляный вакуум
-
Работает в большом диапазоне давлений – это даст возможность использовать всего два насоса, таким образом повысится надёжность системы (по принципу: меньше элементов – больше надёжность).
Составить вакуумную схему с учётом выбранного типа высоковакуумного насоса: схема в начале.
Выбор типа и типоразмера форвакуумного насоса исходя из условия Sн≥Qв/pвх.ф.в.н., где pвх.ф.в.н. находится по таблице для выбранного форвакуумного насоса.
-
Спиральный насос Varian PTS 600
-
Предельное давление РН’, Па –
-
Быстрота действия, - 0,001
-
Диаметр присоединительного фланца Dy, мм - 40
-
Диапазон рабочих давлений РР, Па -
-
Qв/pвх.ф.в.н. =
-
Sн≥Qв/pвх.ф.в.н - выполняется.
Выбрать и обосновать тип и типоразмер запорной арматуры:
-
Клапаны электромагнитные
-
Однонаправленный, электромагнитный, с возвратной пружиной
-
Диапазон рабочих давлений 1x10-9 – 2000 мбар
-
Уровень течи ≤ 1x10-9 мбар·л/с
-
Название: PV40
Затвор UHV CF (320 мм (по диаметру трубопровода) диапазон давлений - Па – )
Вакууметры комбинированные. Один вакууметр теплоэлектрический, так как необходимо мерить
Дополнительные элементы не требуются
Так как придётся открывать камеру – нужно использовать резиновые уплотнения. Можно использовать бонусную схему со шлюзом, тогда резиновые уплотнения будут только в шлюзе, а в остальной вакуумной системе - медные уплотнения.
Наименование | тип | типоразмер | производитель | марка | количество |
камера | вакуумная | 0,5 м3 | - | 1 | |
Насос | спиральный | 40 мм | Varian | PTS 600 | 1 |
Насос | криогенный | 320 мм | HSR | VCP DN 320 | 1 |
Вакууметр | комбинированный | 105..10-11 Па | 2 | ||
Вакууметр | теплоэлектрический | 105..10-2 Па | 1 | ||
клапан | электромагнитный | 1x10-9 – 2000 мбар | Intech | PV40 | 3 |
затвор | Электроприводный | 320 мм | CF | UHV | 1 |