КП_ЗАДАНИЕ (Всякие документы к курсовому проекту)

МОСКОВСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ ТЕХНИЧЕСКИЙ

УНИВЕРСИТЕТ

имени

Н.Э.Баумана

Факультет Кафедра

Машиностроительные Электронные

Технологии технологии в

Машиностроении

ЗАДАНИЕ

на курсовой проект

по курсу Основы электронных технологий

Студент Зиновьев П.А

Руководитель Цветков Ю.Б.

Защита проекта 19-23 мая 2003 г

1. Тема проекта

ФОРМИРОВАНИЕ УПРУГИХ ЭЛЕМЕНТОВ КРЕМНИЕВЫХ МИКРОДАТЧИКОВ

2.Техническое задание

Разработать технологический процесс и необходимую оснастку для изготовления упругих элементов кремниевых микродатчиков со следующими параметрами:

1.Размеры кристалла микродатчика, мм (3х3...5х5)х 0,4

2.Размеры мембраны чувствительного элемента (ЧЭ), мм 1х1

3.Толщина мембраны ЧЭ, мкм 16

4. Допуски на размеры мембраны:

4.1. габариты, мкм.  10

4.2 толщина, мкм.  1...2

5. Диаметр кремниевых пластин, мм. 100

6. Ориентация кремниевых пластин (100)

7. Объем выпуска, шт./год 500.000

3. Объем проекта

Графические работы в объеме 5 листов выполняются на ПК с помощью программы АВТОКАД. По согласованию с руководителем допускается вывод на печать графических материалов в формате, отличном от А1.

Расчетно-пояснительная записка на 20-30 листах формата А4 печатается в формате WORD

4. Содержание графической части проекта

4.1. Технологическая часть

Технологический анализ кремниевого чувствительного элемента (ЧЭ):

общие габариты, топология, планарная структура, размеры в плане и

толщина мембраны, допуски на размеры и толщину 0,5 л

Маршрут изготовления ЧЭ 0,5 л

Анализ технологических операций изготовления ЧЭ:

статистический анализ процесса травления, физико-химический анализ 1,0 л

Маршрутная технология изготовления ЧЭ, эскизы технологических

операций 1,0 л

Анализ вариантов герметизации 1,0 л

4.2. Конструкторская часть

Чертежи реактора и кассет 2,0 л

5. Содержание расчетно-пояснительной записки

Реферат

Оглавление

Введение

Технологический анализ изделия

Анализ патентно-литературных источников с использованием Интернет

Технология анизотропного травления

Технология электростатического соединения

Расчет напряжений в мембране методом конечных разностей, разработка программы расчета напряжений на ПК в формате языка ПАСКАЛЬ, анализ результатов и назначение допусков на размеры мембран и точность совмещения пьезорезисторов

Заключение

Список литературы

Приложения (спецификация сборочных единиц, копии патентно-литературных источников)

Руководитель проекта_______________________( Цветков Ю.Б.)

Дата выдачи проекта 8 февраля 2002 г.