Appendix_1 (Магнетронные распылительные системы)
Описание файла
Документ из архива "Магнетронные распылительные системы", который расположен в категории "". Всё это находится в предмете "физика" из , которые можно найти в файловом архиве . Не смотря на прямую связь этого архива с , его также можно найти и в других разделах. Архив можно найти в разделе "рефераты, доклады и презентации", в предмете "физика" в общих файлах.
Онлайн просмотр документа "Appendix_1"
Текст из документа "Appendix_1"
Приложение А
(справочное)
Рабочие и энергетические характеристики распылительных систем
Вид распылительной системы | Рабочее давление, Па | Рабочее напряжение, кВ | Энергия ионов, Wi1,610-16 Дж | Ионный ток Ii, А | Мощность, подводимая к системе c, кВт | Коэф. преобразования мощности =IiUi/c | Энергетическая эффективность (по меди) | |
распыления, 10-9 кг/Дж | системы, 10-9 кг/Дж | |||||||
Диодная на постоянном токе | 1,3 - 13 | 3,0 – 5,0 | 2,0 – 3,5 | 0,5 – 0,8 | 2,0 – 5,0 | 0,5 – 0,6 | 0,9 – 1,4 | 0,5 – 0,7 |
ВЧ диодная | 0,6 – 6,6 | 1,0 – 2,0 | 0,7 – 1,5 | 1,0 – 2,0 | 3,5 – 5,0 | 0,3 – 0,6 | 1,6 – 2,5 | 0,5 –1,0 |
Триодная | 0,06 – 0,66 | 1,0 – 2,0 | 1,0 – 2,0 | 3,0 – 5,0 | 10 –15 | 0,3 – 0,7 | 1,4 – 2,1 | 0,6 – 1,0 |
Триодная с локализацией плазмы магнитным полем | 0,013 – – 0,13 | 1,0 – 2,0 | 1,0 – 2,0 | 10 – 15 | 35 – 40 | 0,3 – 0,7 | 1,4 – 2,1 | 0,6 – 1,0 |
С автономным ионным источником | 0,0013 – – 0,013 | 1,0 – 3,0 | 1,0 – 3,0 | 0,2 – 0,5 | 8,0 – 10 | 0,03 – 0,15 | 1,0 – 2,1 | 0,06 – 0,15 |
Магнетронная на постоянном токе | 0,13 – 0,66 | 0,4 – 0,8 | 0,3 – 0,5 | 15 – 20 | 8 –15 | 0,6 – 0,7 | 3,0 – 3,8 | 2,1 – 2,3 |
ВЧ магнетронная | 0,13 – 0,66 | 0,7 – 1,0 | 0,5 – 0,7 | 2,0 – 4,0 | 3,0 – 5,0 | 0,3 – 0,6 | 2,5 – 3,0 | 0,9 – 1,5 |