135872 (Получение тонкопленочных электретов на основе фторопласта - 4 и изготовление приборов на их основе), страница 5

3.2.Установка для получения электретов в плазме газового разряда.

Функциональная схема установки представлена на рисунке 3.1. Электронная часть включает в себя генератор задающих импульсов, импульсный усилитель, блок питания импульсного усилителя и источник высокого напряжения (для питания импульсного усилителя и зажигания плазмы). Ячейка для электретирования помещается в рабочий объем вакуумного поста, сунок конструкции установки для электретирования обеспечивающего необходимое разряжение в процессе получения электрета. Регулирование величины давления в разрядном промежутке регулируется с помощью натекателя. Система позволяет производить электретирование в среде различных газов.

ррррррр

оравлоирлдваоит

Оркпжзвпилвоит

В качестве генератора используется генератор прямоугольных импульсов Г5-56, позволяющий получить импульсы с амплитудой до 10 В в широком диапазоне частот и длительностей импульсов. Получение высокоионизированной среды в непосредственной близости от поверхности образца, необходимой для равномерной инжекции заряда в пленку, обеспечивается подачей на вспомогательный разрядный промежуток анод -

катод постоянного напряжения от второго блока высоковольтного источника питания ВС–23 . Напряжение на разрядном промежутке регулируется в пределах от 1 кВ до 10 кВ с помощью регулятора напряжения блока ВС–23, ток разряда ограничивается балластным сопротивлением и может изменятся в зависимости от приложенного напряжения и разряжения в рабочем объеме от 0.1 до 30 мА.

Дальнейшее увеличение разрядного тока приводит к разрушению образца; а при уменьшении разрядного тока ниже 0.1 мА возможен спонтанный срыв разряда ( при P < 10^-1 мм рт. ст. ), что также недопустимо в процессе получения электрета.

Часть импульсного напряжения, прикладываемого к образцу, с делителя 1:10 подается на осциллограф С1 - 64. Соответствующая калибровка позволяет измерять на экране осциллографа напряженность электрического поля в пленке, положение уровня нулевого потенциала при элекретировании образцов импульсами с чередующейся полярностью, а также вести контроль дефектности пленки в процессе изготовления электрета. Последнее обстоятельство, в отличие от других методов, обеспечивает в какой - то мере гарантии надежной работы полученных пленочных электретов в различного рода устройствах.

3.3.Конструкция ячейки для электретирования.

Для конструирования электретного микрофона требуется электретная мембрана диаметром 10 мм. Для этого была разработана новая кассета для ячейки электретирования рис. 4. Она состоит из 2 пластин оргстекла круглой формы, между ними расположена пленка фторопласта толщиной 0,5 мм в которой имеются отверстия для расположения электретируемых мембран. Для подвода тянущего напряжения используется алюминиевый электрод круглой формы, надежное соприкосновение мембраны и электрода обеспечивается с помощью затяжного винта, который со стороны катода надежно заизолирован во избежание пробоя рис. 3.2.

Ячейка состоит из стеклянной трубы 3, кассеты . Внутрь трубы введен анод и катод. Катод 4 выполнен в виде плоского диска из алюминия и закреплен на подвижном держателе 5, что позволяет менять ширину разрядного промежутка. Подключение катода к источнику питания осуществляется проводником через специальное отверстие в нижней пластине. Анод 5 представляет собой шайбу из алюминия прикрепленную к верхней пластине тремя винтами. Катодная шина за пределами колбы изолирована от корпуса. Анод через измерительный прибор, позволяющий контролировать ток разряда, соединен с корпусом. Ограничение разрядного промежутка стеклянной трубой необходимо для предотвращения разряда по длинному пути, так как необходимо работать по левой ветви кривой Пашена. В диапазоне разряжения 10^-2 - 10^-3 торр удается в этом случае исключить возникновение дугового разряда и получить наиболее равномерное распределение плазмы в замкнутом объеме. Электретируемые мембраны помещаются в кассету, сделанную из фторопласта и зажатой между двумя пластинами оргстекла, металлизацией вверх. Мембранные кольца 10 накрывают стальным контактом круглой формы, который осуществляет электрический контакт металлизированного слоя мембраны с выводом импульсного напряжения. Электрод прижимается к

Конструкция ячейки.

Рисунок 3.2.

1 – держатель катода; 2 – фторопластовая пластина; 3 – стеклянная труба; 4 – катод; 5 – анод; 6 – фторопластовая пленка; 7, 11 – пластины оргстекла; 8 – управляющий электрод; 9 – отверстие для затяжного винта; 10 – мембрана.

мембранам с помощью затяжного винта, и к нему подводится импульсное напряжение. Подачей на электрод импульсного напряжения в мембранах создается электрическое поле, необходимое для образования устойчивого гомозаряда.

3.4.Работа установки.

После сборки установки, функциональная схема которой показана на рисунке 5, ячейка для электретирования с закрепленной в ней мембранами вводится в рабочий объем вакуумного поста. Мембрана устанавливается на некотором расстоянии от анода в области, где превалирует хаотическое движение электронов, обеспечивающих зарядку диэлектрика. При достижении в области разрядного промежутка необходимого рабочего давления, подачей высокого напряжения от источника питания в разрядном промежутке зажигается плазма. Ток разряда контролируется миллиамперметром, включенным в цепь, соединяющую цепь разрядника с землей. После достижения необходимой для протекания процесса величины тока, на рабочий электрод подается импульсное напряжение, создающее в диэлектрике электрическое поле. В поле импульсов происходит накопление заряда, и его закрепление на глубоких ловушках в приповерхностном слое образца, обращенной к плазме. Важным преимуществом данного метода является контроль качества в процессе получения. Для этого производится осциллографирование импульсного напряжения, подаваемого на рабочий электрод. Наличие в пленке слабых мест (сквозных пор),количество которых существенно растет с уменьшением толщины пленки, вызывает локальные микропробои образца, это видно на экране осциллографа (на вершине импульса появляются характерные всплески), хотя при визуальном осмотре дефекты могут быть не обнаружены. Наличие микропробоев пленок приводит к ухудшению стабильности накопленного заряда образца. Применение режимов осциллографирования позволяет выбрать режим способный свести количество микропробоев к минимуму

3.5.Методика измерения заряда электрета.

Изучение свойств электретов производится главным образом с помощью измерения поверхностной плотности заряда, а в последнее время получили распространение методы токов термической деполяризации. Тем не менее основные данные по целесообразности использования электрета несет в себе поверхностная плотность заряда. Соответственно возникает необходимость разработки метода для ее определения, но с тем условием ,что этот процесс не окажет влияния на заряд электрета.

За всю историю изучения электретного эффекта было разработано множество методик измерения заряда электрета, но наиболее широкое применение нашли две разновидности конденсаторного метода, основанного на принципе электростатической индукции, а именно с подъемным электродом – контактный и с вибрирующим электродом – бесконтактный метод [1,5].

Метод с подвижным электродом впервые был применен Егучи, позднее этот метод использовал Гросс и другие ученые. Суть этого метода заключается

том, что в поле электрета, расположенного на нижнем плоском, неподвижном электроде, подводится верхний металлический электрод. При приближении электрода к поверхности электрета, индуцируемый на нем заряд стекает во внешнюю цепь, состоящую из эталонного конденсатора с присоединенным параллельно электростатическим вольтметром. По величине разности потенциалов на эталонном конденсаторе определяется поверхностная плотность заряда.

Контактный метод имеет ряд существенных недостатков и главный из них низкая точность измерения поверхностной плотности заряда (из-за

Схема измерения заряда пронвеновек

еншлнг

енглкнгнг

Еклшенглкналкна

воздушных промежутков между металлическими электродами и электретом, в индуцируемый заряд всегда меньше, чем настоящий поверхностный заряд, и в это же время происходит частичный разряд электрета, что вносит произвольную ошибку в процесс измерения). Исходя из этих соображений в измерениях используется бесконтактный метод с вибрирующим электродом.

Этот метод получил особое развитие в последние годы в связи с тем , что он очень прост, не разрушает электрета и дает достоверные результаты, совпадающие с результатами других измерений. Кроме того этот метод удобен

еще тем, что позволяет измерить непосредственно на электретных мембранах, что и определило его использование в данной дипломной работе.

На рисунке 6 представлена функциональная схема для измерения заряда электрета данным методом. Схема состоит из измерительного прибора, звукового генератора Г3-34, источника постоянного напряжения УИП-2 и осциллографа С1-65. Компенсирующее напряжение измеряется цифровым электронным вольтметром В7-21 А. Верхний, вибрирующий (с частотой 70 Гц) электрод (1) жестко соединен с диффузором динамического громкоговорителя 1ГД-40 и находится на расстоянии 1,0-1,5 мм. От поверхности мембраны (2).

Для создания необходимых колебаний на звуковую катушку громкоговорителя подается переменное напряжение 0,5 В от генератора Г3-34.

Нижний подвижный электрод (3) служит предметным столиком для закрепления образца. Вибрирующий во внешнем поле электрета электрод согласно закона электростатической индукции генерирует переменное синусоидальное напряжение, которое отмечается на экране осциллографа С1-65 А рис. 7.

U=A*R*dI**w*соs w*t (2.2)

, где А=(*S/L)*1/(*I₀/L+1) (2.3)

Синусоида

аповеншлвео

впрьлванг

певьрнлв

впоьвпненве

коэффициент зависящий только от диэлектрической проницаемости электрета, его размеров (L,S) и зазора I₀; - круговая частота колебаний электрода; dI- амплитуда колебаний верхнего электрода относительно среднего положения; R- сопротивление цепи.

Компенсирующее напряжение внешнему полю электрета, подается от внешнего источника УИП-2. В момент компенсации напряжения на экране осциллографа наблюдаются линии развертки рисунок 6. Зная величину компенсирующего напряжения U_к, можно рассчитать поверхностную плотность заряда пленочного электрета, по формуле:

=*₀*U/L (2.4)

Знак электрета определяется по полярности компенсирующего напряжения.

Высокая точность измерения зарядов с помощью приведенной установки достигается использованием в качестве чувствительного нуль индикатора – осциллографа С1-65 А и для отсчета компенсирующего напряжения цифрового электронного вольтметра В7-21 А.

3.6.Исследование влияния режимов электретирования на характеристики электретов.

При получении электретов из пленок фторопласта – 4, как показали измерения, возникает гомозаряд, отрицательный по своему знаку на измеряемой стороне. При зажигании заряда в рабочем объеме электроны более подвижны, чем отрицательные ионы , осаждаются на поверхности получаемого образца. При подаче на электрод положительного импульса в диэлектрической пленке создается сильное диэлектрическое поле, под действием которого электроны инжектируются в тонкий приповерхностный слой и закрепляются на ловушках. В течении отрицательного полу периода адсорбированные на поверхности и слабо закрепленные носители выбрасываются обратно в плазму. Таким образом создаются условия для дальнейшего захвата зарядов глубокими ловушками и формирования стабильного гомозаряда. Следовательно, величина начальной и установившейся плотности поверхностных зарядов пленочных электретов определяется параметрами режима электретирования.

Основными параметрами являются:

Р – рабочее давление;

I_р – разрядный ток;

Е_р - напряжение электрического поля в образце;

t_э – время электретирования.

В разработаной конструкции ячейки для электретирования в плазме разрядник служит для создания высокоионизированной газовой среды, используемой в качестве инжектирующего электрода. Равномерное распределение плазмы над пленочным образцом достигается при разряжении в рабочем объеме 10^-1 – 10^-2 мм рт. ст. Увеличение давления приводит к контрагированию разряда и, следовательно, к неравномерному распределению гомозаряда по поверхности образца.

Уменьшение давления ниже 10^-2 мм рт.ст. сопровождается резким возрастанием напряжения горения разряда и уменьшением концентрации зарядов в плазме, так же возможна деструкция поверхности диэлектрической пленки. Поэтому в целях создания технологически выгодных режимов и предотвращения пробоя образцов выбрана величина разряжения в рабочей камере, получаемая обычными форвакуумными установками, то есть 10^-1 – 10^-2 мм рт.ст. При таких условиях исследовалось влияние параметров процесса электретирования в плазме на заряд полимерных пленок. Зависимость плотности заряда от давления показана на рисунке 9.