К.В. Фролов - Технологии, оборудование и системы, страница 234

Из стен кафедры вышло много основателей научных направлений н новых поколений технологических машин. Так, многие образцы отечественного оборудования для нанесения тонких пленок в вакууме созданы И. Г. Блиновым, В. Е. Минайчевым, Ю. Я. Мелехиным, Л. К. К в , В. В. Одз о , В. А. Шитовым. Весомый вклад в различные области электронной техники внесли: Н. А.

Кузнецов- в создание современного сверхвысоковакуумного оборудования; В. К. Попов - в теорию современных электронно-оптических систем; Ф. Г. Онуприенко и А. И. Татаренков - г технологию и оборудование микроэлектроники, А. Т. Александрова и В. М. Папко - в создание и исследование уникальных механизмов для работы в вакууме; С. И. Бродский н В, А. Варламов — в технологию и оборудование длв производства электровакуумных приборов. Трашщии МВТУ им. Н. Э.

Баумана и научной школы "Элекгронное машиностроение" передавалнсь друпгм вузам выпускниками специальности, ставшими завелуюшими кафедр в Московском институте эаекгронной техники (И. Г. Блинов и В. М. Редин), Московском институте электронного машиностроения (А. Т. Александрова), Московском ннсппуге связи (В. И. Куркин), Московском авиационном технологическом институге (В. Г.

Блохин). Среди выпусников кафедры - лауреаты Ленинской и Государственной премий: А. Т. Алексюцшова, И. Г. Блинов, С. И. Бродский, В. И. Владиславлев, Г. В. Гуськов, В. И. Куркин, В. Е. Минайчев, Ф. Г. Онуприенко. В. К. Попов, А. А. Соколов, И. И. Федоренко, Г. В. Холодное. Двое наших выпускников Е. Н. Попов и Н.

С. Напал стали лауреатами Премии Ленинского комсомола. Новый качественный этап развития кафедры и специальности наступил с начала 90-х годов. В результате поиска новых форм обучения на кафедре сложилась целостная система индгшидуальной работы со студентами старших курсов, которая берет свое начало от традишай кпаеснЧеских российских унииерсиютов.

В конце третьего курса студенты выбирают себе научных руководителей, которые далее определюот им конкретное научно-инженерное направление в рамках своих интересов и компетенции. Согласно действующему учебному плану на )У - У( курсах в рамках дисцшглины "Инженерный практикум" один лень в неделю круглогодично студенты не имеют групповых занятий и работают индивидуально со своим научным руководителем в его персональной лаборатории в МГТУ или на прышриятни. Новая система позволила сформировать вокруг ведущих специалистов кафедры самобытные творческие коллективы аспирантов.

инженеров и студентов различных курсов. На кафедре продолжаются научные исследования и разработки. ПРИЛОЖЕНИЕ 742 нодггый вал Рнс. 2. Рвсчегнвв схеме гермствчаого вмвстврвеге ввода врааевав ГПП-Э Рнс. 1. Схемв мвпнпомвдвестнего уюнямеаа За эти годы сложилась научная школа кафедры, основная направленносп которой- создание и исследование электронных технологических процессов и вакуумного технологическопг оборудовании с широким спектром применения. Преподаватели, инженеры и научные сотрудники кафедры имеют приоритетные разработки, подтвержлениме более чем 120 авторскими свидетельспюми и патентами на изобретения механизмов, работающих в вакууме, например, вводов движения с уплотнением на оонове магнитной жидкости (рис.

1) вакуумного аналитического и дишпостического оборудования, например, устройства измерения потоков микрочасгиц и др. В рамках этой школы на кафедре продолжает развиваться целый ряд перспективных напранлений. ° Под руководством проф. д-ра техн. наук Евгения Алексеевича Деулина развиваются исследования и разработки в области вакуумной техники: созданы конструкции вводов движения в вакуум и теория их работоспособности (рис. 2), включая раннюю диапюстику отказов.

Проводятся фундаментальные исследования физических процессов трения в вакууме, которые уже привели к ряду парадоксальных результатов. ° Проф. д-ром техн. наук Юрием Васильевичем Панфиловым создано новое научное напраюгение — расчет и конструирование вакуумного технолопгческого оборудования по критерию минимума привносимой дефектности изделий микроэлехтроннки. Его группой ведутся исследования и разработки по осаждению тонкопленочных покрытий в вакууме в широком диапазоне методов нанесения и изделий самых различных отраслей, в том числе твердосмазочных покрытий на элементы пар трения (рис.

3). ° Проф. д-р техн. наук Леонид Иванович Волчкевич и доц. канд. техн. наук Влалимир Викторович Жуков в течение длительного времени работают в области пневмовихреной технологии - теории закрученных потоков гаэов и над применением их для технопогичеоких задач подачи и ориентации мелких деталей, контроля деталей и сборки соединений, удаления михроде4юхтов с поверхностей. Созданные конструкции пневмовихревой очистки внутренних поверхностей труб позволяют избавиться от экологически вредных технологических методов, ПРВЛОжБНИБ 54З Рес.

3. Нрвшшемльвая савла вщуввей уставеевв ввя вааесеава тееацосиюечвых пеаритюи 1 - двухступенчатый пластинчато-роторннй насос; 2- диФФузионный насос; 3- газобалластный обьем; 4 - блок хаапанов; 5- вадоохлаидаемая ловушка; 6 - термопарлый маиометрвческей преобразователь ПМТ-2; 1- вонюапвонный маиометрвчесаий преобразователь ЛМ-3-2; 5- натекатевь; 9 — манкетннй'ввод вращения; 1О- экспенгрвковий привод; 11- мапитрониий источник, 12 — высокочастотный блок питание; 13 - устройство согласования нагрузки; 14 — автономный всгочввх ионов типа "Радикал"; 15 — система измеренаа плотности ионного тока; 16- газовый коллектор; 17, 15- газават магистраль АИИ и магнетрона; 19, 20 - натехатели; 21 — резвсгяввий нырештель; 22 — термспара; 23 — токоподводюций контакт; 24- маска; 25- система ахяшшенвя; 26- упрааааювше электроды ° Работы доц.

канд. техн. наук Юрия Борисовича Цветкова и доц. Анатолия Тимофеевича Каменихина относятся к процессам микролитографин, получения дискретных слоев и покрытий С микронным уровнем разрешения. Именно по этому направлению достигнуты наибольшие успехи в конвероин электронных технологий — перенесении технологических наработок изготовления изделий микроэлектроники на широкий диапазон изделий машиностроения, приборостроения, художественных изделий (например, чувствительных элементов пьезорезистивных датчиков давления, значков, посуды, сувенироф ° Разработки доц. канд.

техн. наук Владимира Тимофеевича Рябова отнооятся к проблемам микропроцессорного упраююння техническими обьектами. В последнее время получены научные и пракпзческие результаты в создании интегральных датчиков давления с широким диапазоном их применения, прежде всего в автомобильной промьппленности. ° Термовакуумным процессам, разработке устройств ИК-нагрева взамен традиционных методов, в том числе нагрева поверхностей во внутрнкамерных объемах, посвяшены многолетние разработки доц. кацд. техн. наук Юрия Рубеновича Сгепаньянца.

На рубеже нового века начался новый этап развития кафедры и специальности в рамках факулиста Машиностроительные технологии" МГТУ им. Н. Э. Баумана. Он продиктован ситуацией, когда огромный арсенал электронных технологий и иных высоких технолопгй, накопленный в электронной промышленности России и длительное время применяемый только прн изготовлении изделий электронной техники, стал распространяться на многие смежные области, вызывая в них революционные преобразования (вакуумное оса:хдение пленок на оконных и автомобильных стеклах, имплантация конов в напраюшюшие станков и зубчатые колеса, сборка, сушка в вакууме и т.д.).

Именно поэтому кафедра в 1998 г. получила новое название "Электронные технологии в машиностроении". Изменения в данном направлении идут не только в научной деятельности, но и в учебной - сейчас в рамках опециальности "Электронное машиностроение" кафедра готовит специалистов с приоритетным направлениеш электронные технологии и информатика в применении к ахтуапьным задачам электроники. Наша специальность - одна из самых наукоемких.

Фундаментальные основы составляют: взаимодействие элекгронных и ионных потоков с твердым телом, динамика поверхностных слоев в вакууме, формирование и функционирование тонких пленок и микроструктур на поверхности. СПРАВОЧНОЕ ИЗДАНИЕ Панфилов Юрий Васильевич, Ковалев Лев Кузьмич, Блохин Вадим Георгиевич и др. МАШИНОСТРОЕНИЕ. ЭНЦИКЛОПЕДИЯ Том П1- 8 ТЕХНОЛОГИИ, ОБОРУДОВАНИЕ И СИСТЕМЫ УПРАВЛЕНИЯ В ЭЛЕКТРОННОМ МАШИНОСТРОЕНИИ Лицензия ЛР № 080003 от 12.09.96 г.

Редактор И. С. Ферстеи Оформление художника Т. Н. Пегереаовеа Художесгвенньгй редактор Т. Н. Гаввцыиа Корректор Т. С. Грачева Инженеры ло компьютерному макетированию М. А. Квсеачева, Т. А. Сьвшова Сдано в набор 06.05.99. Подписано в печать 30.11.99. Формат 70х100 1/1б.

Бумага офсепгая. Гарнитура Тппез БТ. Печать офсетная. Уел. леч. л. 60,45. Уел. кр.-отт, 60,69. Уч.-издл. 84,22. Тираж 1000 зкь Заказ 769 Издательство "Машиностроение", 107076, Москва, Стромынскнй пер., 4 Оригинал-макет подготовлен в издательско-полиграфическом пентре Тамбовского государственного технического университета 392000, г. Тамбов, ул.

Советская. 106, к. 14 Отпечатано в АООТ "Политех -4" 129110, Москва, ул. Б. Переяславская, 46 .