К.В. Фролов - Технологии, оборудование и системы, страница 233

Оборудование сил электронно-лучввой обработки Электровво-лучевая влаава 65 Злектровво-лучевая сварка 66, 67 Эдеатровио-лучеаюг теюгючтмаа размерила обработав массивных изделий 69, 70 - топких слоев 68, 69 Электровао-лучеаая хамвчесюш обработва 70, 71 Электровво-дучеаое асваревие 67, 68 Элеатроввв-лучевой вере алая, отмпг в завмага 56 Элеатровао-лучевые трубаи (ЭЛТ) - см. Щиборы отобраэквнин информации Электровво-оатвческае свстемм — Понятие 76 - Метод численного моделирования 76 - Состав 79, 83 — Схемы 80 - Системы фокусировки луча 83, 84 — Отклоняющие системы 84 - Элекгронные пушки - см. Элсовроютв нуиаи - юи размерной обработки 84, 85 - юи глубинной сварки 85 — лди зондоаой электронной литографии 85, 86 - для плавки, зондовой очистки и испарения 86, 87 Элеатроввые вуюка - Назначение 79, 80- Разновидности 81 - 83 Электронные техаологвв - Особенности 14 — Специфика 24 - Характеристики пучков 25 - Взаимодействие электронов с вещеспюм 25, 26 - Параметры электронных пучков 27- Методы, основанные на взаимодействии ионов с веществом — 27 - 29 - Методы, основанные на взаимодействии фотонов с веществом 30- Методы, основанные на взаимодействии атомарных пучков с вещеспюм 30, 31 - Плазменная обработка 31 - Применения элекгрическнх и магнитных полей 31 - Методы измерения размеров 31, 32 - Методы исследовании процессов 32, ЗЗ Элеатуоворезист 61 Эмиссия аатоэлекгронная 75 - электронов 619 Эввргоааалвзатары 403, 404 Эавтаксва - Понятия 183 - Разновидности 183 - жидкофазная 262 - кремния 183 - 185 - Оборудованиесм.

Оборудование для элитаксии кремния - арсенида галлия 189, 190 - Оборудование - см. Оборудование длв энюиансии арсвнида — молекулярно-лучевая 412 - 416 ПРИЛОЖЕНИЕ СПЕЦИАЛЬНОСТИ "ЭЛЕКТРОННОЕ МАШИНОСТРОЕНИЕ" В РОССИИ - 60 ЛЕТ В конец 30-х годов Совет народных комиссаров СССР принимает решение о создании в стране электронной отрасли, которой до сих пор просто не существовало, а единственными электр овахуумными изделиями были лампы накаливания. Была предусмотрена и организация подпповки инженеров по электровакуумному производству, в том чнсяе конструкторов технологического оборудования дзя производства приемно-усшппельных ламп и других изделий электронной техники.

В 1939 г. группа студентов-дипломников кафедры "Металлорежущие станки" под руководством доцента Г. А. Шаумяна была направлена на преддипломную практику в подмосковный город Фрязнно, в НИИ-160 (теперь НПО "Исток" ). Именно в Мо око воком механико- машиностроительном институте (МММИ) имени Н. Э. Баумана (далее МВТУ, а затем МГГУ) к тому времени сформировалась научная школа подготовки инженеров-конструкторов широкого профиля, способных на полученной фундаментальной базе быстро адаптироваться к любым самым нетрадиционным залачам создания новой техники.

Один из членов упомянутой выше группы студентов-дипломников - А. И. Татаренков с удивлением и восторгом вспоминал то время, когда баумэнцы буквально за месяц-другой ратобрюпюь во всех тонкостях изделий и технологии и выполнили свои дипломные проекты по таким экзотическим для себя направлениям, как автоматы штамповки плоских ножек ЭВП, навивки спиралей, заварки, откачки. Так рождалась новая юш российской высшей школы специальность. Вплоть до послевоенных лет она продолжала существовать а тех же рамках специализации по кафедре "Мешллорежущие станки"; впервые специалывкть бьвга узаконена в 1949 г.

под названием "Автоматические машины". С тех пор наименование специальности менялось неоднократно в соотвежтвии с развитием мировой и отечественной электроники: "Злектровакуумные машины", "Полупроводниковое н электровакуумиое машиностроение" и, наконец, "Электронное машиностроение". Долгие годы становление и развитие специальности шло под руководством проф. д-ра техн. наук Григора Аругюновича Шаумяиа (1905 - 1973 гт.), для которого она стала столь же близкой, как и "родная" специальность "Технология машиностроения, металлорежущие станки н авгоматы".

Такое "двуединство" базировалось на научной школе кафедры прежде всего на теории машин-автоматов раз- личного технологичесюго назначения, которая сделала имя Г. А. Шаумяна известным далеко за пределами нашей страны, а его книги "Автоматы", "Автоматы и автоматические линии" и др, - настольными дяя нескольких поколений ученых и инженеров. Прннцициальный подход - специализация по юнкретным видам автоматизированного технологического оборудования на единой фундаментальной базе - сохранялся достаточно долго. Этому способствовало то обстоятельство, что для изготовления тогдашних нормально-осввтительных и приемно-усилительных ламп широко применялись такие базовые машиностроительные технологии, как штамповка, гнбк, сварка, механическая сборка, а основным видом многопозициоиного оборудования бьшн традиционные автоматы последовательного действия с расположением позиций по окружности (в электронной промышленности за ними закрепилось нелогичное наименование "карусельные машины").

Поэтому основные базовые курсы по кинематике, расчету н конструированию, гндропневмооборудованию, автоматизации производственных процессов читались студентам обеих специальностей почти идентично (различными могли быль лишь иллюстрационные примеры процессов и конструкций).

Специфика специальности отражалась в курсах: "Электровакуумные приборы", "Технология элекгровакуумного производопе", "Оборудование электровакуумного производства", которые читали работники электронной промышленности: А. И. Тшвренков, В. А. Голубев и др. Положение резко изменилось а 60-е годы в связи с появлением и опережающим развитием твердотельной электроники, стремительным ростом выпуска полупроводниковых диодов и триодов, интецзальных микросхем.

Их массовый выпуск привел к коренному пересмотру технологического арсенала -становления и развития элекгронных, ионных и плазменных технологий, югда функционирование приборов и методы их изготовления базировались на одних и тех же физических явлениях (движение электронов н ионов в вакууме, в твердом теле и плазме. электрон-ион-фотонные переходы и т.п.).

Именно в этот период рашернулась сознлательнаа дипельность Юрия Андреевича Хруничева (1926 - 1998 и.). Будучи доцентом кафедры и однощюмеино деканом факультета, он шял на себя основную тяжесть работ по реоринизации специальности, создэюпо ее учебно-лабораторной' базы, жюпитанию молодых п реп одюютелей. Именно прн его активной позиции в 1974 г. ПРИЛОЖЕНИЕ 741 бьвга, наконец, организована кафедра "Полущюводннковое и электровакуумное машиносгроение", в этом году ей исполняется 25 лет. Первым заведующим кафедрой сщл проф.

д-р техн, наук Николай Иванович Камышный (1909 - 1995 гт.), крупный специалист по вопросам автоматической знрузхи, сощатель теории и первых отечественных конструкций вибробункеров. С 1930 г. кафещюй заведует проф. д-р техн. наук Леошщ Иванович Вслчкевич. Значительную часть контингента преподавателей, подобранного Ю. А. Хруничевым, составляла молодежь, которая не обладала еще необходимым педагопгческим опытом. Непросто рождалась собственная концепция подготовки инзгенеров по специальности, взаимосвязь традиционных и новых дисциплин, направленность научных разработок. Этот процесс продолжался около десяти лет, по истечении которых начали проявюпъся все достоинства новой научной школы - исследования процессов в высоком и сверхвысоком вакууме, обработка материалов атомными частицами: электронами, ионами, фотонами, атомами, молекулами и гвзоразрядной плазмой - по одному из самых перспективнык и динамичных направлений развития современной науки и техники - электронике.

Вырос коллектив, сформировались традиции, установились связи с ведущими научнопроизводственными объединениями электронной промышленности (МЭЛЗ, "Пульсар", "Полюс", НИИВТ нм. С. А. Векшинского, НИИТМ, г. Зеленоград, НИТИ, г. Рязань и лр.). Бьщо заключено более 20 договоров с вед)члими организациями электронной промышленности о целевой подготовке специалистов, что позволило отбирать талантливых абитуриентов на местах и далее целенаправленно готовить их для конкретных предприятий Москвы, Киева, Минска, Рязани, Брянска, Новосибирска, Волпнрада и,других городов. Произошло сущеспюнное изменение направленности подготовки. Сформировались фундаментальные дисциплины по специальностям "Физические основы электронной техники", "Основы вакуумной техники и технологии", "Основы проектирования машин-автоматов и систем машин".

Была введена подготовка по проектированию систем автоматического управления технологическим оборудованием, благодаря чему выпускники специальности умеют разрабатывать не только механические функциональные и базовые узлы, привод, компоновку технологического оборудования, но и микропроцессорные системы автоматического управления (САУ) всей установки с доведением разработок ло конечного результата (разводки печатных плат и т.п.). Тем самым будущий специалист мог стать "полным хозяином" проектируемой машины.