Для студентов МГТУ им. Н.Э.Баумана по предмету Основы изобретательстваУстройство для нанесения фоторезиста вращениемУстройство для нанесения фоторезиста вращением
5,0052
2017-12-222017-12-22СтудИзба
ДЗ: Устройство для нанесения фоторезиста вращением
Описание
Устройство для нанесения фоторезиста вращением
Область техники, к которой относится изобретение
Изобретение относится к микроэлектронике, а именно к нанесению фоторезиста на пластины для последующей фотолитографии.
МПК: H05K — закрепление токопроводящей схемы
Формула изобретения
Устройство для нанесения фоторезиста вращением, содержащее центрифугу с приводом вращения, держатель пластин, установленный на валу центрифуги, и резервуар с фоторезистом, отличающееся тем, что резервуар снабжен шлюзовой камерой в виде полого кольца со сквозными каналами во внутренней стенке, при этом шлюзовая камера расположена концентрично резервуару на общем с ним основании, а резервуар установлен на валу центрифуги.
Область техники, к которой относится изобретение
Изобретение относится к микроэлектронике, а именно к нанесению фоторезиста на пластины для последующей фотолитографии.
МПК: H05K — закрепление токопроводящей схемы
Формула изобретения
Устройство для нанесения фоторезиста вращением, содержащее центрифугу с приводом вращения, держатель пластин, установленный на валу центрифуги, и резервуар с фоторезистом, отличающееся тем, что резервуар снабжен шлюзовой камерой в виде полого кольца со сквозными каналами во внутренней стенке, при этом шлюзовая камера расположена концентрично резервуару на общем с ним основании, а резервуар установлен на валу центрифуги.
Характеристики домашнего задания
Предмет
Учебное заведение
МГТУ им. Н.Э.БауманаПросмотров
250
Качество
Идеальное компьютерное
Размер
343,24 Kb
Список файлов
Устройство для нанесения фоторезиста вращением
Заявка.rtf
ПАТЕНТ.docx
![Картинка-подпись](https://s.studizba.com/z.php?f=/uploads/fotos/podpt_2_43798.png&w=1632&h=400&t=1")
Зарабатывай на студизбе! Просто выкладывай то, что так и так делаешь для своей учёбы: ДЗ, шпаргалки, решённые задачи и всё, что тебе пригодилось.
Начать зарабатывать
Начать зарабатывать
zzyxel
22 декабря 2017 в 16:19
![](https://s.studizba.com/z.php?f=/templates/si/i/noavatar.png&w=100&h=100&t=1"){kind=avatar}
