ДЗ: Универсальная установка пескоструйной резки маскированных полупроводниковых пластин

Универсальная установка пескоструйной резки маскированных полупроводниковых пластин
Область техники: Изобретение относится к области разделения изделий свободным абразивным материалом.
Цель изобретения – повышение производительности и области применения имеющегося варианта установки пескоструйной обработки.
Формула изобретения
Универсальная установка пескоструйной резки маскированных полупроводниковых пластин, для применения в электронной промышленности для разделения кремниевых пластин на отдельные диски-кристаллы, а так же обработки других материалов, таких как стекло и керамика, содержащая: рабочую камеру; обрабатывающее сопло; поворотный стол для размещения обрабатываемых деталей; систему регенерации абразивного материала, включающую в себя циклон и бункер для абразивного материала; обрабатывающее сопло, управляемое вручную; и отличающаяся тем, что камера – проходного типа, имеет цепные транспортеры для подачи кассет с обрабатываемыми пластинами; количество сопел равно шести; имеется механизм сканирования, задающий шести, закрепленным на кронштейне, соплам возвратно-поступательное движение в вертикальной плоскости; бункер для абразива не является отдельным элементом установки, а монтируется внизу рабочей камеры и состоит из двух частей (съемной и неподвижной), на которых монтируется электровибратор, заборника абразивного материала и нагревательный элемент.