Курсовой проект по САУ (Системы автоматического управления), который был выполнен в 2015-м году

Московский ордена Ленина, ордена Октябрьской Революции

и ордена Трудового Красного Знамени

государственный технический университет имени Н.Э. Баумана

РАСЧЕТНО-ПОЯСНИТЕЛЬНАЯ ЗАПИСКА

к курсовому проекту

«Основы проектирования систем автоматического управления
оборудования электронных технологий »

на тему:

«Вакуумная установка двустороннего нанесения

ВУНДер-2016»

Москва, 2016г.

Оглавление

1 Вакуумная установка двустороннего нанесения "ВУНДер-2016" 3

1.2 Состав установки. 6

2 Исполнительные устройства. 8

2.1 Список исполнительных устройств. 8

2.2 Список энергетических и информационных потоков к исполнительным устройствам. 12

3 Система электропитания и управления. 14

3.1 Устройства системы электропитания и управления. 14

3.2 Список энергетических и информационных потоков, исходящих от системы электропитания и управления установки. 16

4 Описание процессной модели установки. 17

5 Описание схемы соединений. 19

Заключение. 20

Список использованной литературы.. 21

Приложение А. Перечень файлов документации на комплектующие. 22

1. ADAM-5510EKW/TP Программируемый РС-контроллер с поддержкой Ethernet 22

2. ADAM-5051S - 16-канальный модуль дискретного ввода с гальванической изоляцией и светодиодной индикацией. 23

3. ADAM-5056 - Модуль дискретного вывода на 16 каналов. 24

4. ADAM-5024 - Модуль аналогового вывода, 4 канала. 25

5. ADAM-5018 - 7-канальный модуль для подключения термопар. ... 26

6. 4-портовый модуль интерфейсов RS-232 ADAM-5090. 27

7. Многоканальный регулятор мощности OMRON G3ZA-4H203-FLK-UTU 28

8. Блок управления кварцевыми толщиномерами INFICON SQC-310-2-E-1 30

• Вакуумная установка двустороннего нанесения "ВУНДер-2016"

1.1 Краткое описание объекта разработки

В рамках настоящего курсового проекта предлагается разработать систему автоматического управления для вакуумной установки двустороннего напыления ВУНДер-2016.

Установка ВУНДер-2016 разрабатывается специально для потребностей производства изделий пьезотехники и должна встать на замену морально устаревших колпаковых вакуумных установок УВН-71.

В настоящее время установки УВН-71 используются в производстве пьезоэлектрических резонаторов на операции металлизации кристаллических элементов. Токопроводящие электроды заданной топологии формируются на поверхности пластин-пьезоэлектриков методом термического нанесения. Электроды наносят на обе стороны кристаллических элементов, для чего вакуумную камеру разгерметизируют и вручную переворачивают кассеты с подложками.

Технологический процесс производства пьезорезонаторов нового поколения включает в себя операцию по нанесению защитного покрытия поверх тонкоплёночных электродов магнетронным методом. На данный момент процессы нанесения электродов и защитных покрытий выполняются на разных вакуумных установках. При транспортировке кассет между операциями, а также во время ручного переворота, подложки многократно подвергаются воздействию атмосферного воздуха, что отрицательно сказывается на рабочих характеристиках получаемых резонаторов.

Для повышения чистоты технологического процесса было предложено объединить операции нанесения электродов и защитных покрытий в одну. В результате технико-экономического обоснования было принято не модернизировать старые УВН-71, а разработать новую установку. Технические требования, предъявляемые к новой установке, представлены в таблице 1.

Таким образом, для реализации технологического процесса установку ВУНДер-2016 предлагается оснастить следующими устройствами:

- источник ионов;

- термический испаритель;