Для студентов по предмету Промышленность, производствоТермическое окисление кремнияТермическое окисление кремния
2016-08-012016-08-01СтудИзба
Реферат: Термическое окисление кремния
Описание
Термическое окисление кремния
Содержание
- Содержание
- 1. Оборудование для термического окисления
- 2. Модель Дила-Гроува
- 3. Зависимость толщины окисла от времени окисления
- 4. Особенности роста тонких и толстых пленок двуокиси кремния
- 5. Свойства пленок SiO2
- Список литературы
Характеристики реферата
Тип
Предмет
Просмотров
77
Качество
Идеальное компьютерное
Размер
103,94 Kb
Список файлов
Комментарии
Нет комментариев
Стань первым, кто что-нибудь напишет!























