2-332-1399893831-13.-prichiny_obrazovania_pogreshnosti_razmer ov_mi (782343)

Просмтор этого файла доступен только зарегистрированным пользователям. Но у нас супер быстрая регистрация: достаточно только электронной почты!

Текст из файла

13. Причины образования погрешности размеров микроструктур при ионно-плазменном, ионнохимическом и плазмо-химическом методахтравления+++αlmVtмаскаδlsслойизделиеа)δмаскаслойlsизделиеб)Рис.27 Схема формирования погрешности ионного (а)и ионно-химического (б) травленияПогрешность травления, т.е. отклонениеполучаемых размеров от размеров маски,зависит от показателей изотропности травления.Строгая направленность обработки ускореннымичастицамиспособствуетуменьшениюпогрешностиразмеровблагодаряпреимущественномутравлениюперпендикулярно поверхности (Рис.27 а).Травлениеэлектрическинейтральнымичастицами, не имеющими преимущественногонаправления движения, вызывает появлениепогрешности размеров обработки за счетизотропного травления как перпендикулярноповерхности, т.е. в глубь материала, так ипараллельно ей, т.е.

под маску (Рис.27 б).При ионном травлении погрешность размеров обработки может появиться при неправильновыбранной толщине маски. Если толщина маски намного больше толщины вытравливаемого слоя, тораспыляемые атомы осаждаются на боковые стенки маски и изменяют ее размеры (длину, ширину илидиаметр окна). При этом соответствующие размеры обрабатываемого слоя уменьшаются.

Если толщинамаски меньше или равна толщине обрабатываемого слоя, то материал маски может стравиться быстрее,чем материал слоя и его размеры могут стать больше требуемых.К материалам маски при ионном травлении предъявляются следующие требования: высокаяразрешающая способность; термостойкость; минимальная скорость травления по отношению к скороститравления слоя..

Характеристики

Тип файла PDF

PDF-формат наиболее широко используется для просмотра любого типа файлов на любом устройстве. В него можно сохранить документ, таблицы, презентацию, текст, чертежи, вычисления, графики и всё остальное, что можно показать на экране любого устройства. Именно его лучше всего использовать для печати.

Например, если Вам нужно распечатать чертёж из автокада, Вы сохраните чертёж на флешку, но будет ли автокад в пункте печати? А если будет, то нужная версия с нужными библиотеками? Именно для этого и нужен формат PDF - в нём точно будет показано верно вне зависимости от того, в какой программе создали PDF-файл и есть ли нужная программа для его просмотра.

Список файлов решённой задачи