2-331-1399893766-12.-printsipialnaya_skhema_protsessa_plazmo-khimiche (782342)

Просмтор этого файла доступен только зарегистрированным пользователям. Но у нас супер быстрая регистрация: достаточно только электронной почты!

Текст из файла

12. Принципиальная схема процесса плазмо-химического травления, достоинства и недостаткиСхема вакуумной камеры диодного типадля плазмохимического травлениянепосредственно в плазме1 — подача рабочего газа2 — вакуумная камера3 — электрод4 — откачной патрубок5 — пластина (подложка)6 — подложкодержатель7 — изоляционное покрытиеСхемавакуумнойкамерыдлярадикальногоплазмохимического травления1 — кварцевая камера; 2 — перфорированный цилиндр; 3 —кассета с пластинами (подложками);4 — ВЧ-индуктор; 5 —подача рабочего газа; 6 — откачной патрубокПреимущества:- минимальные размеры структуры – порядка 2 мкм.

Зазоры между электродами – до 1 мкм;- полная независимость от ориентации кристалла;- глубокое травление с большим аспектным отношением ширины структуры к её толщине.- высокая скорость по сравнению с ионным травлением- травление проводится при существенно меньших температурах (100–300 °С) по сравнению с обычнымгазовым травлениемНедостатки:- дорогое оборудование, требуется высококвалифицированный персонал;- повышенные требования к чистоте процесса;- медленный многооперационный метод, требующий отладки процесса.- наличие боковой скорости травления- ограниченное количество соединений для получения в плазме химически активных частиц,обеспечивающих образование летучих веществ- сложность химических реакций, протекающих в плазме и на обрабатываемой поверхности.

Характеристики

Тип файла PDF

PDF-формат наиболее широко используется для просмотра любого типа файлов на любом устройстве. В него можно сохранить документ, таблицы, презентацию, текст, чертежи, вычисления, графики и всё остальное, что можно показать на экране любого устройства. Именно его лучше всего использовать для печати.

Например, если Вам нужно распечатать чертёж из автокада, Вы сохраните чертёж на флешку, но будет ли автокад в пункте печати? А если будет, то нужная версия с нужными библиотеками? Именно для этого и нужен формат PDF - в нём точно будет показано верно вне зависимости от того, в какой программе создали PDF-файл и есть ли нужная программа для его просмотра.

Список файлов решённой задачи