2-330-1399893727-11.-printsipialnaya_skhema_protsessa_ionno-luchevogo (782341)

Просмтор этого файла доступен только зарегистрированным пользователям. Но у нас супер быстрая регистрация: достаточно только электронной почты!

Текст из файла

11. А Принципиальная схема процесса ионно-лучевого травления, достоинства инедостатки.D420 – Ионное осаждение.Ионно-лучевой источник с горячим катодом: 1 – электромагнит, 2 – термокатод, 3 – анод, 4– рабочая камера, 5 – подложка.К материалам маски при ионном травлении предъявляются следующие требования:высокая разрешающая способность; термостойкость; минимальная скорость травленияпо отношению к скорости травления слоя.Общая часть из предыдущего.Особенности ионного травления:• Универсальность, возможно очищать от любых загрязнений поверхности любыхматериалов.• Низкая избирательность травления различных материалов из-за чисто физическогомезанизма процесса распыления, это затрудняет локальную обработку, так какматериал маски тоже травится.Достоинства ионного травления:• Приимущ.

Травление в направлении нормали к поверхности, что обеспечиваетхорошие результаты при локальной обработке, так как практически отсутсвуетбоковая составляющая скорости травленяи.• Безынерциальность, процесс травления прекращается сразу же после снятия собразцов потенциала.Недостатки ионного травления.• Низкие скорости травления (0.1-1нм/с)• Значительные радиационные воздействия, вызывающие разрушение контактныхмасок, деградацию электрофиз параметров структур и необходимость охлажденияобразцов при травлении..

Характеристики

Тип файла PDF

PDF-формат наиболее широко используется для просмотра любого типа файлов на любом устройстве. В него можно сохранить документ, таблицы, презентацию, текст, чертежи, вычисления, графики и всё остальное, что можно показать на экране любого устройства. Именно его лучше всего использовать для печати.

Например, если Вам нужно распечатать чертёж из автокада, Вы сохраните чертёж на флешку, но будет ли автокад в пункте печати? А если будет, то нужная версия с нужными библиотеками? Именно для этого и нужен формат PDF - в нём точно будет показано верно вне зависимости от того, в какой программе создали PDF-файл и есть ли нужная программа для его просмотра.

Список файлов решённой задачи