2-323-1399893397-4.-magnetronnoe-raspylenie (782327)

Просмтор этого файла доступен только зарегистрированным пользователям. Но у нас супер быстрая регистрация: достаточно только электронной почты!

Текст из файла

К недостаткам МРС относятся.• сравнительно невысокий коэффициент использования материала мишени (около 25%для плоской мишени) и необходимость для его увеличения усложнения формы мишениили конструкции магнитной системы;• сравнительно невысокая однородность осаждаемой пленки по толщине нанеподвижную подложку за счет распыления материала из узкой зоны эрозии мишени,имеющей форму кольца или эллипса в виде V - образной канавки; повышениеравномерности пленки требует или возвратно-поступательного движения, илисложного перемещение магнитной системы;• наличие потока высокоэнергетических электронов создающих основную тепловуюнагрузку на подложку (до 60%), что требует изоляции подложкодержателя и установкиперед ним дополнительного анода;• наличие потока отраженных нейтрализованных ионов аргона с энергией в несколькосот электронвольт, требующее их термализации (уменьшения их энергии до тепловой ),когда осаждение пленок производится на тонкие радиационно-чувствительные слои,что обычно достигается выбором давления и расстояния мишень - подложка;• сравнительно высокое давление рабочего газа (аргона) (0,3 - 1,5 Па) требующее егоэффектной очистки для устранения загрязнения пленок.Достоинства• низкие температуры проведения процессов осаждения;• сохранение стехиометрии сложных соединений и сплавов;• простота автоматизации и интеграции с процессом ионной очистки поверхностиподложки;• длительный ресурс мишеней;• лучшая адгезия пленок;• упрощение и удешевление систем обеспечения высокой однородности пленок потолщине на подложках большого диаметра, и в случае реализации его в магнетронныхраспылительных системах (МРС) не уступает термо-вакуумному по скоростиосаждения..

Характеристики

Тип файла PDF

PDF-формат наиболее широко используется для просмотра любого типа файлов на любом устройстве. В него можно сохранить документ, таблицы, презентацию, текст, чертежи, вычисления, графики и всё остальное, что можно показать на экране любого устройства. Именно его лучше всего использовать для печати.

Например, если Вам нужно распечатать чертёж из автокада, Вы сохраните чертёж на флешку, но будет ли автокад в пункте печати? А если будет, то нужная версия с нужными библиотеками? Именно для этого и нужен формат PDF - в нём точно будет показано верно вне зависимости от того, в какой программе создали PDF-файл и есть ли нужная программа для его просмотра.

Список файлов решённой задачи