Курсовая работа: Установка формирования алюминиевого покрытия на экранах ЭОП

Курсовой проект

На тему: «Установка формирования алюминиевого покрытия на экранах ЭОП »

Расчетно-пояснительная записка

Москва 2011 г.

ЗАДАНИЕ

на курсовой проект по курсу «Основы проектирования систем автоматического управления оборудования электронных технологий».

1. Проработать описание работы машины, выбрать и обосновать состав его основных целевых функций, сервисных функций, функций коррекции цели.

2. Разработать комплексную принципиальную схему, как совокупность системы целевых механизмов, системы их энергообеспечения и системы управления, связанных материальными, энергетическими и информационными потоками.

3. Описать механический, энергетический и информационный интерфейс компонентов машины. Дать техническое задание и техническое предложение на САУ и основные элементы машины.

4. Разработать принципиальную электрическую схему элемента САУ или САУ в целом.

Содержание графической части.

1. Процессная модель машины..................................................1 л.
2. Комплексная принципиальная схема....................................2 л.
3. Принципиальная электрическая схема..................................1 л.

Содержание расчетно-пояснительной записки.

1. Введение. Описание целевого, механического и энергетического интерфейса спроектированной технологической машины.
2. Описание процессной модели. Выбор и обоснование целевых, сервисных функций, и функций коррекции цели.
3. Техническое задание и техническое предложение на систему управления машины по приведенной в Приложении 1 форме.
4. Описание комплексной принципиальной схемы ФС. Обоснование структурно-компоновочного решения, выбор и согласование уровней потоков элементов.
5. Документы, сопровождающие комплексную принципиальную схему:
6. перечень элементов ПЭ;
7. перечень потоков и сигналов ПС;
8. технические задания на основные подсистемы и узлы машины ТЗ.
9. Информационный поиск датчиков и исполнительных элементов машины и ее САУ, описание целевого, механического, энергетического и информационного интерфейса этих элементов ОЭ.
10. Расчет и описание принципиальной электрической схемы.
11. Заключение.

Содержание

1.Техническое задание………………………………………………………2

2.Реферат……………………………………………………………..………4

3.Введение……………………………………………………………………5

4.Описание процессной модели…………………………………………….6

4.1 Выбор сервисных функций……………………………………………..11

4.2 Выбор функций коррекции цели……………………………………….11

4.3.ТЗ на управляющую программу………………………………………..11

5. Описание комплексной принципиальной схемы установки…………..12

5.1 Система управления……………………………………………………..17

5.2 Вакуумная система………………………………………………………25

5.3 Камера технологическая………………………………………………...30

5.4 Система энергообеспечения…………………………………………….36

6. Заключение…………………………………………………………….......40

7. Список литературы………………………………………………………..41

2. Реферат

Графические работы в объеме 4 листов выполнены на ПК с помощью программы AutoCAD 2011. Расчетно–пояснительная записка составляет 39 листов выполненных в среде Microsoft Word 2010.

Целью данного курсового проекта является овладение навыками, методами и средствами комплексных разработок механических и электронных компонентов оборудования САУ, а также правилами и методами составления технического задания на программное обеспечение САУ.

Задачи проекта состоят в:

• распределении функций машины между различными компонентами и обоснование этих функций;
• постановке четких технических заданий перед разработчиками отдельных компонентов;
• выполнении технической документации на электронные компоненты.

Курсовой проект выполнен в следующем объеме: процессная модель (алгоритм работы системы управления установкой); комплексная принципиальная схема установки, включающая разработку КПС механической части и КПС систем энергообеспечения и управления; схема соединений. В расчетно-пояснительной записке приведены необходимые пояснения, описания и отражены принципы построения САУ установки.

1. Введение

Основной целью курсового проектирования является закрепление знаний, полученных при изучении дисциплины САУ, применение их на практике в процессе разработки документации на САУ установки формирования алюминиевого покрытия на экране ЭОП. В основе данной установки лежит УВН фирмы «PFEIFFER ». Основным отличием спроектированной установки является наличие нагревательной системы, которая позволяет совмещать в одной установке операции нанесения алюминия и выжигания органической пленки, тем самым сокращается время общего цикла производства ЭОП.

Технические требования:

1.Напряжение питания 50 Гц, 380 В/ 220 В

2.Сопротивление системы заземления не более 4 Ом

Технические характеристики:

1.Предельное давление в камере 10^-5 Па

2. Рабочее давление в камере 5*10^-4 Па

3.Напряжение питания ЭЛП 7кВ, ток 20А

4.Частота вращения подложкодержателя 15об/мин

5.Температура выжигания органической пленки 455С

7.Габаритные размеры 1800х1100х1500

8.Масса 300кг