Содержание

Техническое задание.............................................................................................................3

Реферат...................................................................................................................................4

1. Введение.................................................................................................................................5
2. Описание процессной модели..............................................................................................6

2.1. Выбор сервесных функций............................................................................................9

2.2. Выбор функции коррекции цели.................................................................................10

2.3. Общие требования к алгоритму управления.............................................................10

1. Описание комплексной принципиальной схемы. Информационный поиск датчиков и исполнительных элементов машины и ее САУ, описание целевого, механического, энергетического и информационного интерфейса этих элементов..............................11

3.1. Вакууумная система...................................................................................................16

3.1.1. Диафрагменный насос XDD1..........................................................................16

3.1.2. Турбомолекулярный насос EXT75DX.............................................................17

3.1.3. Датчик вакуума APG100...................................................................................17

3.1.4. Датчик вакуума WRG........................................................................................18

3.1.5. Вакуумные электромагнитные клапаны IPV16EKA.......................................19

3.1.6. Вакуумный затвор 2ЗВЭ-100.............................................................................19

3.2. Газовая система.............................................................................................................21

3.2.1. Регулятор давления GCE....................................................................................21

3.3.2. Регулятор расхода газа РРГ-10..........................................................................21

3.3. Система энергообеспечения........................................................................................22

3.3.1. Описание блоков питания..................................................................................22

3.3.2. Регулятор мощности SPC 1...............................................................................25

3.4. Система управления....................................................................................................26

3.4.1. Модуль микроконтроллера CPU188-5.............................................................27

3.4.2. Панель релейной коммутации TBR-8..............................................................31

3.4.3. Плата гальванической изоляции каналов дискретного ввода TBI24/0........32

3.4.4. Контроллер TIC Instrument Controller..............................................................33

3.4.5. Терморегулятор ОВЕН ТРМ-101.....................................................................36

1. Заключение.........................................................................................................................37

Список литературы............................................................................................................38

Техническое задание

ЗАДАНИЕ

на курсовой проект по системам автоматического управления оборудования электронных технологий.

Тема проекта: «Термовакуумная установка»

1. Проработать описание работы машины, выбрать и обосновать состав его основных целевых функций, сервисных функций, функций коррекции цели.
2. Разработать комплексную принципиальную схему, как совокупность системы целевых механизмов, системы их энергообеспечения и системы управления, связанных материальными, энергетическими и информационными потоками.
3. Описать механический, энергетический и информационный интерфейс компонентов машины. Дать техническое задание и техническое предложение на САУ и основные элементы машины.
4. Разработать принципиальную электрическую схему элемента САУ или САУ в целом.

Содержание графической части.

Процессная модель машины..................................................1 л.

Комплексная принципиальная схема....................................2 л.

Схема соединений...................................................................1 л.

Содержание расчетно-пояснительной записки.

1. Введение.
2. Описание процессной модели. Выбор и обоснование целевых, сервисных функций, и функций коррекции цели.
3. Техническое задание и техническое предложение на систему управления машины по приведенной в приложении 1 форме.
4. Описание комплексной принципиальной схемы ФС. Обоснование структурно-компоновочного решения, выбор и согласование уровней потоков элементов.
5. Документы, сопровождающие комплексную принципиальную схему:
   • перечень элементов ПЭ;
   • перечень потоков и сигналов ПС;
   • технические задания на основные подсистемы и узлы машины ТЗ.
6. Информационный поиск датчиков и исполнительных элементов машины и ее САУ, описание целевого, механического, энергетического и информационного интерфейса этих элементов ОЭ.
7. Расчет и описание принципиальной электрической схемы.
8. Заключение

Реферат

Графические работы в объеме 4 листов выполнены на ПК с помощью программы АСКОН КОМПАС V12. Записка выполнена с использованием программного продукта Microsoft Word.

Целью данного курсового проекта является овладение навыками, методами и средствами комплексных разработок механических и электронных компонентов оборудования САУ, а также правилами и методами составления технического задания на программное обеспечение САУ.

Задачи проекта состоят в:

1. распределении функций машины между различными компонентами и обоснование этих функций;
2. постановке четких технических заданий перед разработчиками отдельных компонентов;
3. выполнении технической документации на электронные компоненты.

В проекте разработана система управления термовакуумной установкой.

Курсовой проект выполнен в следующем объеме: процессная модель (алгоритм работы системы управления установкой); комплексная принципиальная схема (КПС) установки, включающая разработку КПС механической части и КПС систем энергообеспечения и управления; схема соединений. В расчетно-пояснительной записке приведены необходимые пояснения, описания и отражены принципы построения САУ установки.

1. Введение

Одно из перспективных направлений в наноэлектронике связано с выращиванием нанотрубок и созданием на их основе различных устроойств.

Автоэмиттеры на основе углеродных нанотрубок (УНТ) перспективны при решении широкого класса задач связанных, например, с разработкой таких устройств, как: матричные автоэмиттеры для плоских экранов, катоды микрорадиоламп терагерцового диапазона частот, автоэмиттеры для экономичных индикаторов и осветителей, терабитных запоминающих сред и задач, связанных со считыванием информации в терабитных ПЗУ.

Актуальность использования автоэмиттеров в перечисленных устройствах обуславливается рядом их параметров: достаточно низкие рабочие напряжения при больших плотностях и значениях эмиссионного тока, устойчивость к радиационному излучению, очень широкий рабочий температурный диапазон.

Термовакуумная установка, изучаемая в проекте позволяет получать островковые пленки катализатора, а затем выращивать на них нанотрубки. Термовакуумная установка конструировалась на основе вакуумной печи Forum-100K.

Основные технические характеристики установки:

-Температурный диапазон 200-1200

-Количество программ пользователя 99

-Отклонение температуры в режиме выдержки 2

-Диапазон длительности шага 1…99 min

-Скорость нагрева 10…150 С/мин

-Разряжение в камере 10^-5 Па

-Рабочая влажность 35-80%

-Атмосферное давление 650-805 мм.рт.ст.

-Напряжение питания 220V

-Потребляемая мощность 1,5 кВт

-Габаритные размеры 30*33*58

-Масса (без насоса) 20 кг

Верхняя часть печи состоит из муфеля, теплоизоляционного столика, столика подъемного механизма, алфавитно- цифрового дисплея на ЖК, клавиатуры. В нижней части располагается вакуумная система, подключенная к вакуумному штуцеру, розетки питания, предохранителей, сетевого выключателя.