Справочник по электротехническим материалам. Под ред. Ю.В.Корицкого и др. Том 2 (3-е изд., 1987) (1152096), страница 88
Текст из файла (страница 88)
Процесс вжнгання металлиэнруюших покрытий производится в печах с защитной газовой средой при температуре 1Й)0 — 1350'С с выдержкой при конечной температуре 20— Элекгроизоллиионнме неорганические пленки Разд. 24 РАВД ЕЛ.24 ЭЛГКП ОМЗОЛЯЦИОНПЫЕ НКО( ГАЯИЧКСКИЕ 1!ЛЕНКИ Л. Л. Одынег( 24.2. МЕТОДЫ ПОЛУЧЕНИЯ ЭЛ ЕКТРО ИЗ ОЛЯЦИ ОН НИХ НЕОРГАНИЧЕСКИХ ПЛЕНОК 24.1. ОБЩИЕ СВЕДЕНИЯ 30 мнн. Режим вжнгання устанавливается опытным путем. Вжнганне покрытия проводится в печах периодического действия илн толкательнмх пенах непрерывного действия з увлажненной нли азотно-зодородной среде прн отношении азота к водороду 2: 1 нлн 3 ! 1. Керамические материалы, содержащие в своем составе до. ствточное количество стеклофазы (фарфор, стеатнт н др.), можно металлизнронать пастами на основе тугоплавкнх металлов без специальных добавон, а керамические материалы, содержащие менее 5 !)э стеклофазы, необходимо металлнзировать пастами, в состав которых входят компоненты, обрааующне жнд.
кую фазу в процессе вжнгвння покрытия. В табл. 23.62 приведены составы для металлнзацнн вакуумплотных керамических материалов. Для увеличения толщины покрытия и облегчения пайки на молнбденовое покрытие методом вжнгання илн гальваническим путем наносится слой никеля (нторое покрытие). Список литературы 284. Электретекнические натерналм! Сираноч. ник)В, Б.
Березин, Н. С. Прохоров, Г. А. Рьаюе, А. М, Хайкин, М.! Энергоатоннадат, 1983. ВМ с. 23.2. Иннулин И. В., Кортнев В. В. Оборудование и технологии производства эаекероэчкннческнх конструкций. М.! Энергаа, 1969. 416 с. 23.3. Белинская Г. В., Вмдрнк Г. А. Текаологин электроэакуунной н радиотехнической керамики.М,! Энергия, 1977. 336 с. 23.4. Материаловедение н проблемы энергетики: Электронзоляционные неорганические пленки (ЭНП) в отличие от большинства остальных электронзоляцнонных материалов не получюотся в свободном состоянии, а образуются в процессе изготовления на подложке, являющейся элементом той илн иной электроилн радиотехнической конструкции.
По своим показателям: химической н радиационной стойкости, нвгревостойкости, электрической прочности — ЭНП превосходят почти все известные материалы. Методы получш1ня неорганических пленок весьма разнообразны, во все нх можно объединить в две группы; А — химические нлн электрохнмическне реакции вещества подложки с активным веществом среды — такими методамн могут быть получены оксидм, ю!Трндм, фторнды н другие соединения, образующиеся на поверхности металлов и полупроводников; Б — осажденнс пленок нз газовой нлн жидкой среди, не вступающей в реакцию с веществом подло!ккн, испарение, ионное распыление, газофазные реакции н др, Пер. с англ./Пол ред.
Г. Ф. Мучника. Мэ мир. 1982. 676 с. 28.6. Технологие эаектрокерамини)Г. Н. Масленникова, Ф. Я. Харитонов, Н. С. Костюкоэ, К.С.Пирон!э. Мс Энергии, 1974.!И4 с. 23.6. Масленнйееаа Г. И., Харитонов Ф. Я Дубов И, А, Технологический расчет э «еранике. М.! Стройиздат, 1984. 224 г 23.7, Балнееич В.
Л. Техническа» керамика. Ма 23.8. Прозрачные поликрнсталлическне нераьнь ческие материалы! Под рел. Г. А. Выдрика, Т. В. Солаэьеэой. Обзорная инфорнаниа. Сер. Электротехнические материалы. М.! Информэлектро, 1976. 49 с. 23.9, Пэвильский Р. я., Пиеинсннй Ю. Е. Прес- сование норошноэых керамйчесаих маса. Мс Ммзл. лУРГНН, 1983. 176 С. 23.10.
Абразиеаая н алмэзнаа обработка мать рналою Сераэочиик/Пол ред. А. Н. Реэиикоэа. Аь! Мэшаиострслнне, 1977. 892 с. 23.11. Исслелемнне и разработка материалов лл» реакторов термоядерного синтеза. Мс Йаука, 1981, !83 с. 2842. Синтез н исследование натериалон на со нове силикатов и других туюплаекнх соединений. Й. 1983. 298 с. 23.13. Лазарев В.
Б., Гобелен В. В., Шевлягин И.' С. Химические н ' физические 'свойства арестмх оксидов. Мс Наука, 1983. ЗЯ с. 23.!4. Кэстанен К. А., Геворкян Х. О. Керамические н стеклиииые дйэлектрннн в электронной технике. Ереэаи! Иэд-во АН Арн, ССР, !9М, Ю4 с. 23 !3 Электрические иэойэтсрй1Пол рез, Н. С. Косясксэа. Мс Энергоатоннздат, 1984. 296 с. Я!.16. Самсонов Г. В. Тугослаэкие соединению Сераэсчник ао свойствам н применению. Мс Металлургиэдэт, 1963. 398 с.
7347. Самсонов Г. В.. Кулик О, И., полищук В. С. Получение и методы анализа ни!радое. Киев: Йаукоэа думке, !970. 317 с. 23.!8. Авлрееэсивй Р. А.. Спивак И. И. Наград креь!ние и материалы иа его основе. Мл Металлургия, 1984. 136 с. А-1. Термическое окисление. Практически все металлы н полупроводники, контактирующие с воздухом (кислородом), покрыты естественной оксндной пленкой, толщина которой прн обычных условиях не превышает нескольких нанометроз.
Существование такой пленки возможно потому, что реакция взанмодейст. вня металла с кислородом хМ+ — О,=М,О„ У 2 протехает с уменьшением свободной энергии, например для тантала на 1969 КДжг!моль, По. еле образования на металле нлн полупроводнике естественной оксндной пленки дальнейший ее рост может происходить только прн активации процесса окисления кахнм-либо пнешним фактором, например нагревом нлн электрнческнм полем. Окисление при невысоких температурах (менее 600 К) позволяет получать аморфные оксндные пленки толщиной около 5 — 10 ни. э 24.2 Методы величания неорганических пленок При более высоких температурах образуются аморфно-кристаллические пленки с низкими электрическими характеристиками. Сплошность термических плевок на металлах сохраняется лишь до определенной толщины, при превышении которой возникаюгцие в пленке напряжения вызывают ее растрескиванне.
Число веществ, на которых образуются сплошные (когерентные, однородные) пленки, весьма ограничена Прежде всего следует назвать тантал, ниобий, алюминий я кремний. Наиболее широкое применение получили термические пленки на кремнии. Они образуются в атмосфере сухого кислорода при Т= 1300-: !600 К; при окислении во влажном кислороде или парах воды температура может быть понижена до 800 К. Во всех случаях получаются аморфные пленки, имеющие структуру ближнего порядка, сходную со структурой кварцевого стекла. Химнчесная нлн топографическая неоднородность кремниевой подложки может вызвать появление в аморфном оксиде кристаллической фааы, имеющей структуру о-кристобалита, присутствие которой ухудшает элехтриче.
сине свойства пленки н может вызвать нарушение ее сплашяости. При окислении кремния, на поверхность которого предварительно нанесены оксиды фосфора Р,Оз или бора ВзОз, образуются пленки фосфорносиликатного или боросилиаатного стекла, обладающие достаточно хорошими элехтрическими характеристиками. При термической обработке кремния в атмосфере азота можно получить пленки ингрида кремния 5)зНь а в смеси кислорода и азота — оксинитридные пленки В),О„Н . А-2. Элеятрохимнчесное окисление. Одним из распространенных способов получения электроизоляционных оксидных пленон на металлах и полупроводниках является электро- химическое или анодное окисление. Если металл, покрытый естественной онсидной пленной, поместить в ячейку с электролитом, не растворяющим металл и его оксид, и поляризовать анодво, то начинается рост оксидного слоя.
Такие слои называют анодньснл оксиднами пленками (АОП). Источником кислорода при вводном окислении является вода (и лишь в незначительной степени анновы электролита, внедряющиеся в оксцдный слой). Суммарная электродная реакция образования оксида: хМ + уНтО = М„Он+ 22Н+ + 2ре. Эффективность тока или КПД этой реаяцин для болыпинства металлов, на которых образуются изоляционные АОП. близка к 100 зй. Металлы, на которых образуются диэлектрические АОП, называют вентнльнымн, так как система металл — АОП вЂ” электролит обладает односторонней проводимостью.
В большинстве своем АОП аморфны, исключение составляют лишь пленки на цирконил, которые чаще всего оказываются полнкристаллическнми. Верхний предел напряжения формовки П,з, до которого может быть окислен анод, ограничен так называемым напряжением искрения Уя,„р>11е прн котором на поверхности анода появляются искры, связанные, повидимому, с электрическим пробоем пленки. Напряжение искрения зависит от состава н концентрации электролита, в котором происходит окисление: с увеличением концентрации напряжение искрения понижается. Толщина Х АОП пропорциональна напряжению формовки; Х =- а()ф+ Х, где а — коэффициент формовки; Хз — толщина естественной пленяя. Коэффициент формовки (постоянная аноднрования) определяется природой металла и сравнитечьно слабо зависит от состава и концентрации электролита и плотности тока формовхи.
Для металлов 1!гА — гг1А переходных групп и алюмвния значения а лежат в интервале 1,0 — 2,5 нм/В. Для кремния, который обычно окнсляют в 0,1 моль/л растворах К)40„ в этиленгликоле илн л-метилацетамиде, а=0,14 им/В. Эффективность тока при этом окислении мала. Выбор элентролита для анодного окисления определяется природой металла н химическом стойкостью его оксида.
![](https://s.studizba.com/z.php?f=/templates/si/i/noavatar.png&w=100&h=100&t=1"){kind=avatar}
