Диссертация (1104202), страница 3
Текст из файла (страница 3)
Неравенство (1.1) фактически представляет из себя требование малости квантовыхфлуктуаций. — это электростатическая зарядовая энергия острова транзистора. Неравенство (1.2) — это требование малости тепловых флуктуаций всистеме. Зарядовая энергия острова зависит от её полной электрической ёмкости Σ . Полная ёмкость включает в себя собственную ёмкость 0 ∼ 20 ,зависящую от линейного размера объекта , на основе которого создан одноэлектронный транзистор, а также взаимную ёмкость острова со всем окружением ′ , включающую в себя взаимную ёмкость острова со стоком, истоком и затвором транзистора.
Для задачи о которой пойдёт речь ниже взаимную ёмкостьможно грубо оценить как ′ ∼ 20 , учитывая обязательное близкое расположение острова к стоку и истоку транзистора и сравнительно большое расстояниедо затвора. Более точная оценка в большинстве случаев может быть выполнена с учётом конкретной геометрии устройства. Таким образом, для работыодноэлектронного транзистора при комнатной температуре из неравенства (1.2)получаем условие на размер острова транзистора ≪ 5 нм.
Это означает, чтов качестве острова транзистора необходимо использовать объект размером смалую молекулу или отдельный атом.Впервые идея о создании электронного элемента на основе одиночной молекулы была высказана в 1974 году в знаменитой теоретической работе Авирама и Ратнера [19], где обсуждается возможность использования простой органической молекулы в качестве диода. Экспериментальные работы по даннойтематике появились значительно позднее, лишь в 90-е годы XX века.
Такаязадержка связана со значительными техническими трудностями при попыткевключения столь малого объекта в измерительную электрическую цепь. Существуют две основные технические проблемы: сложность создания электродов снанометровым зазором между ними, невозможность манипулирования отдельными объектами такого масштаба и, соответственно, невозможность их точногопозиционирования. ≫ =13В данной главе диссертационной работы представлен обзор существующих на сегодняшний день техник создания устройств на основе одиночных молекул, молекулярных кластеров и примесных атомов в кристаллической решётке.
Также рассмотрены результаты экспериментов с созданными устройствамипри высоких температурах. Устройства на основе молекулярных объектов преимущественно создаются по принципу “снизу-вверх”, когда используются предварительно синтезированные молекулы или наночастицы, встраиваемые затемв подготовленую отдельно систему электродов. Поэтому технология созданияодномолекулярных устройств естественным образом разделяется на два этапа:1. Cоздание системы планарных металлических электродов.2. Встраивание молекулярного объекта, служащего островом формируемого транзистора, в нанозазор между элекродами.Технологии создания одноэлектронных элементов на основе примесныхатомов чаще всего используют обратный подход “сверху-вниз”, когда из предварительно подготовленного кристалла травлением или иными методами формируется интересующая структура.
Поэтому методики формирования подобныхструктур будут рассмотрены в отдельном параграфе.1.1Методы механического создания зазора1.1.1Зондовый методИсторически первые эксперименты по изучению электронного транспорта через одиночные молекулы были проведены с помощью иглы сканирующеготуннельного микроскопа [20], [21], которая выполняла роль одного из электродов, соединяющих молекулу с измерительной аппаратурой. В качестве второгоэлектрода в таком эксперименте используется подложка. Перед экспериментомна проводящую подложку наносятся наночастицы, молекулярные кластеры илисамоорганизующийся слой молекул.
Далее задача сводится к поиску на поверхности интересующих объектов путём снятия вольт-амперных характеристик.Именно с помощью этого метода был впервые продемонстрирован коррелированный транспорт электронов через одиночные молекулы при комнат14ной температуре [20], а немного позднее был создан первый одноэлектронныйтранзистор, работающий при 300 К [16]. Схематически этот транзистор проиллюстрирован на рис. 1.2.
На поверхности образца был предварительно созданизолированный от подложки золотой электрод, выступающий в качестве затвора транзистора. Далее образец покрывался мономолекулярной плёнкой из смеси стеариновой кислоты и карборановых металлорганических кластеров [22].Кластеры размером 2 нм, зафиксированные в матрице стеариновой кислоты,выступали в роли острова транзистора.1 MΩLB filmVGSTMtip321clustermoleculesVt400 nmРисунок 1.2 — Схематичное изображение высокотемпературногоодноэлектронного транзистора на базе иглы СТМ; 1 — подложка из графита,2 — изолирующий слой, 3 — золотая плёнка, выступающая в качестве затвора.[16]..Зондовые методы до сих пор широко используют для непосредственногоисследования проводимости через разного рода органические молекулы [23]—[28]. Сегодня это довольно распространённый научный инструмент. В наши дничаще для этих задач используется игла атомно-силового микроскопа, а измерения зачастую проводят с погружённым в растворитель образцом.
С помощьюэтого инструмента были экспериментально продемонстрированы различные механизмы электронного транспорта через одиночные молекулы [29], а также подробно исследовано влияние на электронный транспорт выбранного типа линкеров, обеспечивающего химическую связь молекулы с электродами (обычнозолотыми) [30]—[32].Основные сложности при изучении электронного транспорта через одиночные молекулы зондовым методом является невозможность жёстко зафикси15ровать иглу в нужном положении. В связи с температурным дрейфом пьезоэлемента, позиционирующего зонд, время измерений оказывается сильно ограничено. По этой причине измерения проводимости одиночных молекул сегодня ивовсе не проводятся при стационарном положении иглы. Обычно она приводится в плотный контакт с подложкой, а затем отодвигается от неё.
Измерения идутпараллельно. Когда игла перестаёт касаться подложки, то ток идёт параллельно через несколько молекул. Дальнейшее движение иглы приводит к скачкообразному уменьшению проводимости, вызванному разрывом химическим связеймежду молекулами и атомами золота. Проблема воспроизводимости результатарешается путём набора большой статистики. В случае использования такой техники можно автоматически провести тысячи измерений за разумный интервалвремени.1.1.2Механически контролируемый разрыв соединенияНаряду с зондовой, существует также вторая популярная методика создания зазора с помощью активного механического устройства, контролирующегоего размер.
Метод подразумевает контролируемый механический разрыв предварительно сформированного на поверхности образца золотого нанопровода спомощью деформации (изгиба) подложки (рис. 1.3). В англоязычной литературе методика сокращённо называется MCBJ (Mechanically Controlled BreakJunction). При подготовке образца подложка под местом ожидаемого разрывананопровода заранее стравливается. Во время эксперимента образец закрепляется по краям, а подпирающий его снизу по центру стержень приводит к изгибу подложки и разрыву нанопровода на её поверхности.
Изгиб регулируетсяпьезоэлектрическим микродвигателем. За счёт геометрии образца, смещениестержня на несколько нанометров приводит к смещению электродов порядкапикометров [33], позволяя очень точно регулировать величину зазора.Изначально эта техника была разработана для изучения точечных металлических контактов [34], а также туннельного транспорта в сверхпроводящихSIS структурах [35]. В пионерской работе, где эта методика впервые была использована для исследования молекул, изучалась простая молекула 1,4-бензолдитиола [36]. Эта молекула представляет из себя бензольное кольцо с двумя16Рисунок 1.3 — Иллюстрация принципа создания электродов молекулярноготранзистора методом механического разрыва соединения [28]..тиольными группами, связывающимися химически с электродами транзистора.
Длина такой молекулы всего лишь около 6 Å, что не является проблемойдля данного метода.На сегодняшний день данная методика также активно применяется в научных исследованиях [37], [38]. Например, её возможности понадобились в таких уникальных исследованиях, как исследования механизмов переноса теплав молекулярных проводниках [39]. Стабильность полученных таким способомэлементов значительно выше, нежели в случае использования иглы зондовогомикроскопа. Однако в целом сложности двух методов довольно близкие.Несмотря на то, что описанные выше методы являются наиболее популярными в фундаментальных исследованиях одиночных молекул, они бесперспективны с точки зрения практического применения одномолекулярных устройствпо ряду причин.
Эти методы крайне сложно масштабировать для создания наподложке даже нескольких одномолекулярных элементов, не говоря уже о создании на их основе более сложного устройства. Кроме того, необходимостьнепрерывной работы активного механического устройства, требование на наличие виброразвязки, а также сложная геометрия структур делает крайне затруднительным их использование даже для тех задач, где требуется всего один одно17электронный транзистор в качестве чувствительного сенсора. Но наибольшуюсложность представляет упомянутая выше нестабильность созданных структур, связанная с невозможностью жёстко закрепить иглу зондового микроскопаили стержень, ихгибающий подложку, в нужном положении.Поэтому далее будет представлен обзор существующих методик создания наиболее практически значимых планарных электродов одномолекулярныхтранзисторов.1.2Создание планарных электродов молекулярного транзистора1.2.1Возможности современной литографииПланарная реализация одноэлектронного транзистора подразумевает, чтоэлемент будет сформирован в плоскости на поверхности диэлектрической подложки.
В сравнении с зондовыми методиками здесь появляется дополнительнаясложность, решению которой будет посвящена глава 2 данной диссертационнойработы, связанная с трудностью воспроизводимого изготовления электродов сзазором менее 5 нм стандартными литографическими методами. Величина около 7 нм на сегодняшний день является предельно достижимой для наиболее часто используемой в лабораториях при создании планарных наноструктур электронно-лучевой литографии [40]. При этом имеется в виду литография высокогоразрешения, используюшая специальный резист.















