Диссертация (1104202), страница 14
Текст из файла (страница 14)
Достаточнобольшой разброс значений этого параметра, превышающий относительный разброс размеров наночастиц, можно объяснить различием в геометрии полученных транзисторов. В некоторых конфигурациях электродов наночастица можетбыть эффективно экранирована от электрического поля, создаваемого затвором.Исходя из вышесказанного можно заключить, что ёмкость острова транзистора в нашем случае складывается в основном из собственной ёмкости (0 )и взаимной ёмкости со стоком (1 ) и истоком (2 ) транзистора.
Для грубыхоценок можно предположить, что 1 ≈ 2 на основании близости наклоновразных сторон полученных кулоновских ромбов [6]. Учитывая малость размераострова в сравнении с размером электродов, можно приближённо считать, что0 ≈ 1 ≈ 2 Это позволяет оценить диаметр острова полученного транзистора на основе экспериментальных данных ≈ Σ /60 ≈ 3 − 6 нм. Данныйрезультат приближённо совпадает с диапазоном размеров использованных наночастиц (2 – 4 нм). Небольшое отличие этих величин может быть объясненовлиянием тиольной “шубы”, окружающей наночастицу [128], а также приближённостью приведённых выше оценок. Данная оценка подтверждает, что электронный транспорт в полученных образцах был обусловлен именно закреплёнными в области зазора золотыми наночастицами.Отдельным сложным вопросом является исследование стабильности электрических характеристик изготовленных одноэлектронных устройств.
Как показали электрические измерения, одноэлектронные транзисторы, не подвергающиеся значительному внешнему воздействию (термоциклирование или слишком высокое напряжения на электродах), показывают воспроизводимые электрические характеристики на протяжении как минимум 10 часов при поддержании температуры 77 К. Исследование поведения системы на больших временных масштабах в данной работе не проводилось.74Термоциклирование, то есть нагрев образца до комнатной температуры иего повторное охлаждение, приводит к случайному сдвигу наблюдаемой диаграммы стабильности вдоль оси .
Такая картина является типичной длявсех типов одноэлектронных устройств. Наблюдаемое явление можно объяснить, включая в рассмотрение многочисленные зарядовые ловушки окружающие остров транзистора. Они могут иметь разную природу: наночастицы, окружающие остров, дефекты и примеси в диэлектрике, поверхностные зарядовыесостояния. Перезарядка этих центров активируется термически, а при температуре 77 К их состояние может оставаться неизменным довольно долгое время, достаточное для проведения электрических измерений. Влияние описанныхпроцессов на электрическое поведение транзисторов при высоких температурахбудет обсуждаться в следующем параграфе.Во время измерений наночастица, являющаяся островом транзистора, находится в сильном электрическом поле ( ∼ 108 В/м).
Со стороны поля нанеё могут действовать силы, способные изменить её расположение. Взаимодействовать с полем частица может либо за счёт эффекта диэлектрофореза, либоза счёт кулоновского взаимодействия, в случае если частица находится в заряженном состоянии. Даже незначительное изменение положения частицы можетприводить к существенному изменению электрических характеристик системыв связи с экспоненциальной зависимостью тока от величины туннельного барьера. Электростатический заряд на наночастице может быть наведён внешнимполем, создаваемым затвором и окружением острова.Можно получить критические величины напряжений на электродах транзистора, приводящие к необратимым изменениям в электрическом поведениисистемы, на основании экспериментальных данных.
Максимальные напряжения, использованные во время измерений одноэлектронных транзисторов, составляют 1 В для напряжения между стоком и истоком транзистора и 50 Вдля напряжения на затворе. При этом случаи необратимых изменений характеристик под влиянием напряжения между стоком и истоком в этих пределахпри = 0 практически отсутствуют. В то же время, большое напряжение назатворе напротив часто могло приводить к таким изменениям. Это происходило при = 20 − 50 В в зависимости от образца. Проявлялись эти измененияв виде быстрого падения проводимости до величин, характерных для нанозазоров без наночастиц. Такое поведение можно интерпретировать следующимобразом. При = 0 электростатический заряд, наведённый на частицу, бли75зок к нулю, и поэтому созданное между стоком и истоком поле взаимодействуетс ней исключительно за счёт эффекта диэлектрофореза, что лишь дополнительно способствует поддержанию устойчивости частицы (см. раздел 3.1.2 даннойдиссертационной работы).
В случае высокого потенциала на затворе конфигурация поля меняется, кроме того наночастица может оказывается заряжена,поэтому характер взаимодействия наночастицы с полем меняется. И, в случаенедостаточно надёжного закрепления, она может переместиться в новое равновесное положение, определяемое текущей конфигурацией поля. В будущемдизайн одноэлектронного транзистора можно сделать более надёжным использованием дитиолов для их более надёжного закрепления в области зазора [129]3.3Высокотемпературный экспериментЗарядовая энергия изготовленных транзисторов превышает значение, полученное ранее в работе [55], где также подробно исследовался электронныйтранспорт в похожей на нашу планарной системе.
Электронный транспорт через наночастицы размером около 5.2 нм, изучавшихся в той работе, носил коррелированный характер при температурах до 160 К при зарядовой энергии острова около 48 мэВ. Зарядовая энергия большей части созданных в рамках даннойработы одноэлектронных транзисторов выше более чем в два раза, что позволяет надеяться на работу этих устройств при комнатной температуре.Высокотемпературные измерения проводились в следующем порядке. Сразу после низкотемпературных измерений ( = 77 ) зонд с образцом приподнимался из жидкого азота? что приводило к его медленному нагреву.
Текущаятемпература образца контролировалась с помощью терморезистивного тонкоплёночного платинового датчика. Измерения проводились при 10 значенияхтемпературы, равномерно распределённых по интервалу 77 – 250 К. Для каждого значения температуры проводилось измерение вольт-амперной характеристики при фиксированном значении = 0, а также измерение характеристикиуправления при = 100 мВ.
Изменение температуры за время одного измерения не превышало 2 К.На рис. 3.9 а, б представлены результаты таких измерений одного из образцов при трёх различных температурах из этого диапазона (77, 130 и 220 К).76Этот образец является одноэлектронным транзистором, основанным на одиночной наночастице золота, что подтверждается его электрическими измерениямипри температуре 77 K (рис. 3.9 в). На рисунке видно, что электрические характеристики изменяются по мере увеличения тепловых флуктуаций в согласиис известными теоретическими моделями [6]. Их энергия позволяет электронамтуннелировать через транзистор, преодолевая кулоновскую блокаду.
На вольтамперных характеристиках (рис. 3.9 а) это выражается как увеличение проводимости при малых напряжениях . При достаточно высоких температурахпоявляется ненулевая дифференциальная проводимость даже при = 0, икоррелированное туннелирование на ВАХ проявляется только в виде пониженного значения / при малых . На характеристиках управления (рис.
3.9 б)с увеличением температуры падает глубина модуляции. Под глубиной модуляции имеется в виду величина = ( − )/ , вычисляемая на основании максимального ( ) и минимального ( ) значения модуля тока нахарактеристике управления при фиксированном напряжении между стокоми истокомТемпература 220 К. является максимальной, при которой удалось уверенно наблюдать режим коррелирования туннелирования в одноэлектронных транзисторах в наших экспериментах. Главным критерием реализации этого режимаэлектронного транспорта в данном случае является наличие воспроизводимойосциллирующей характеристики управления. При этом, в наших экспериментах область пониженного значения / при малых , свидетельствующая окоррелированном транспорте электронов через экспериментальную структуру,наблюдалась на некоторых образцах даже при температурах выше 220 К.
Нарис. 3.10 представлена вольт-амперная характеристика образца, демонстрировавшего такое поведение при температуре 300 К. На основании низкотемпературных измерений транзисторов, демонстрирующих такие ВАХ, можно оценитьразмер их острова. Эта процедура была описана в предыдущем параграфе данной главы. Оценка позволяет сделать вывод, что островом в таких структурахявляются наночастицы с меньшим диаметром из диапазона 2 – 4 нм.Однако характеристики управления всех таких образцов при температурах выше 220 К являются сильно “зашумленными” и невоспроизводимыми. Уровень шума (амплитуда выбросов тока и количество спонтанных сдвигов характеристик) при измерении характеристики управления (плавном изменении ),оказывается заметно выше, чем при измерении вольт-амперной характеристи77a)б)в)Рисунок 3.9 — Электрические характеристики одного из образцов: (а) —вольт-амперные характеристики при различных температурах, (б) —характеристики управления при тех же температурах, (в) — диаграммастабильности при 77 К.ки (плавном изменении ).
Такое поведение, наиболее вероятно, связано с зарядовым состоянием окружающих остров транзистора зарядовых ловушек. Впредыдущем параграфе уже обсуждалось возможное влияние изменяющегосязарядового состояния окружения на транзистор в результате термоциклирования образца. Изменяющееся напряжение на затворе является дополнительнымфактором, стимулирующим смену состояния зарядовых ловушек.
Наиболее вероятно, что уменьшение электростатического влияния окружения на островтранзистора позволит уверенно наблюдать коррелированное туннелированиеэлектронов при температурах выше 220 К. Проверка данной гипотезы можетбыть проведена в будущем. Известный способ заметного уменьшения влиянияокружения — создание нависания исследуемого одноэлектронного транзисторанад подложкой [130]. Обычно этого достигают жидкостным травлением материала подложки.
В нашем случае проведение такого процесса после завершения изготовления довольно затруднительно в связи с плохой стабильностьюсистемы, поэтому создавать нависание электродов необходимо до проведения78Рисунок 3.10 — Вольт-амперные характеристики одного из транзисторов при77 и 300 К.процесса электромиграции. Создание такого подвешенного одноэлектронноготранзистора может стать темой отдельного исследования.В завершение подведём основные итоги главы 3. Разработан метод контролируемого встраивания малых наночастиц золота (2 -– 4 нм) из раствора внанозазор между металлическими электродами с помощью эффекта диэлектрофореза.















