отзыв на автореферат от Киреева (1102516)

Просмтор этого файла доступен только зарегистрированным пользователям. Но у нас супер быстрая регистрация: достаточно только электронной почты!

Текст из файла

отзыв на антореферат диссертации Неклюдовой П.А., представленной на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук, на тему: "Влияние внешних условий па физические процессы и параметры плазмы индуктивного ВЧ разряда" по специальности 01.04.03 — физика плазмы Плазма индуктивного ВЧ ~высокочастотного) разряда низкого давления является уникальной физико-химической системой, сочеттнощсй высокис химическую активность и конценграцию возоуждеыных заряженных и незаряженных частиц с низкой газовой температурой, Такие свойства плазмы индуктивного ВЧ разряда делают се особо привлекательной в качестве активной среды для: — обработки материалов в плазменных, плазмохимических н ионноплазменных технологиях при создании микро- и наноструктур, а также приборов и систем на их основе; - энергоэффективных ионных двигателей для космических аппаратов; — газоразрядных технологических источников света с максимальным выходом требуемого излучения.

В настояшее время инженерные разработки и практическая реализация процессов и устройств на базе плазмы индуктивных ВЧ разрядов значительно опережают фундаментальные исследования механизмов взаимодействия частиц и полей в плазме таких разрядах. Это затрудняет оптимизацию плазменных процессов и устройств особенно по полезно вкладываемой мошности и пе позволяет целенаправлешю создавать их новые разновидности с заранее определенными характеристиками. Поэтому работа„посвященная фундаментальным теоретическим и экспериментальным исследованиям влияния внепших параметров (рода инертного газа„давления, частоты, мощности, величины маппгпюго поля) на механизмы физических процессов и параметры шгазмы индуктивного ВЧ разряда, а также оптимизация их распределение по площади технологической обработки диаметром до 300 мм, является важной и актуальной в научном и практическом планах.

В качестве наиболее важных результатов работп ~ следует отметить: 1. Впервые выполнено комплексное и систематическое исследование параметров плазмы: энергетического распределения, эффективной температуры и концентрации электронов в технологическом ВЧ индуктивном источнике плазмы в диапазоне давлений инертных газов (0,1- 1000) мТор. Обнаружены немонотонные зависимости концентрации и эффективной температуры от давления.

2. Показано, что в индуктивном ВЧ разряде в аргоне и криптоне частота упругих столкновений электронов с атомами в диапазоне давлений (0,0! - 0,2) '1'ор ниже, чем в гелии. Это связано с тем, что энергия основной части медленных электронов в аргоне и криптонс лежит в области локального минимума сечений упругого рассеяния электронов на атомах. 3. На основании экспериментальных данных и математического моделирования проанализировано влияние емкостной составляющей импеданса разряда, рабочей частоты, давления и величины внешнего магнитного поля на эффективность поглощения ВЧ мощности плазмой индуктивного ВЧ разряда.

4. Найдены области резонансного поглощения ВЧ могцности плазмой при наличии внецшего магнитного поля. Показано, что в области резонанса ВЧ поля проникают вглубь плазмы и приводят к нагреву электронов в центральных областях разряда. 5. Найдены основные внещние факторы, влияющие на величины концентрации и эффективной температуры электронов, а также на пространственное распределение этих параметров по площади технологической обработки диаметром до 300 мм.

Новизна работы подтверждается полученными результатами исследований и моделирования, а„достоверностгч их повторениями и измерениями, а также совпадением результатов моделирования с экспериментальными данными, полученными с использованием современных методик и контрольно-измерител пых средств. Практическая ценность результатов работы заключае вся в возможности ик использования; - при моделировании, разработке, оптимизации и контроле новых ионно-плазменных технологических процессов обработки материалов и вакуумно-плазменного оборудования лля их реализации; при разработке энергоэффективных режимов работы ионных двигателей; - при разработке технологических газоразрядпгих источников света с максимальным выходом требуемого излучения.

По содержанию и оформлению автореферата можно сделать следующие замечания: 1. На стр. 11 в подписи к рис. 41'а) указано, что «зависимость эквивалентного сопротивления плазмы для всех рассмотренных инертных газов от концентрации электронов приведена при фиксированной частоте упругих столкновений электронов с атомами 3 10' с». Тогда как в последнем абзаце текста на стр, 11 указьпистся: «Рис. 4(а) убедительно демонстрирует, что частота столкновений электронов с атомами в диапазоне 3 1Π— 3 10 с однозначно определяет эквивалентное сопротивление 6 7,ч плазмы». Таким образом, непонятно есть ли диапазон частот на рис.

4(а)? Аналогичная ситуация с рис, 416). 2. На ряде рисунков, например рис 1~а) и 11б), нс указаны и не показаны погрешности приведенных экспериментальных результатов. 3. В связи с большим объемом комплексных и систематических исследований зависимости параметров плазмы от внешних факторов. проведенных в работе, для повышения ее значимости для практических приме~е~~й целесообразно офор~и~ь и привес~~ полученные р~~у~ь~аты в виде номограмм, указывающих максимальной диаметр зон 95"'о Начальник отдела системных исследований ООО «Перспективные плазменные технологии», ....з доктор технических наук, с,н.с.

"-~,/ "'" ..: ВЛО, Киреев С,Л. Князев Подпись Киреева В.10. удостоверяю Генеральный директор ООО «Перспективныс плазменные т равномерности параметров плазмы и набор внсцших факторов его обеспечивающий. Однако указанные недостатки не снижают ценности работы, которая содержит решение актуальной научно-техничсскои задачи по исследованию влияния внешних параметров ~рода инертного газа, давления, частоты, мощности, величины магнитного поля) на механизмы физических процессов и параметры плазмы индуктивного ВЧ разряда, а также по оптимизации их распределения по площади технологической обработки диаметром до 300 мм Содержание автореферата отражает научную новизну и практическую значимость диссертации, а результаты исследований опубликованы в 8 статьях в рецензируемых научных журналов из пере щя ВЛК РФ и 12 тезисах в сборнике трудов конференций.

Исходя из вышеизложенного, работа Неклгодовой П.А. удовлегворяет требованиям, предьявляемым ВАК к кандидатским диссертациям„а она заслуживает присвоения искомой степени кандидата физико-математических наук по специальности 01.04.08— физика плазмы. .

Характеристики

Тип файла PDF

PDF-формат наиболее широко используется для просмотра любого типа файлов на любом устройстве. В него можно сохранить документ, таблицы, презентацию, текст, чертежи, вычисления, графики и всё остальное, что можно показать на экране любого устройства. Именно его лучше всего использовать для печати.

Например, если Вам нужно распечатать чертёж из автокада, Вы сохраните чертёж на флешку, но будет ли автокад в пункте печати? А если будет, то нужная версия с нужными библиотеками? Именно для этого и нужен формат PDF - в нём точно будет показано верно вне зависимости от того, в какой программе создали PDF-файл и есть ли нужная программа для его просмотра.

Список файлов диссертации