отзыв на автореферат от Абдуллина и Желтухина (1102515)

Просмтор этого файла доступен только зарегистрированным пользователям. Но у нас супер быстрая регистрация: достаточно только электронной почты!

Текст из файла

•ftВ диссертационный совет Д 501.001.66при МГУ им. М.В.ЛомоносоваОТЗЫВна автореферат диссертации Неклюдовой Полины Алексеевны «Влияние внешнихусловий на физические процессы и параметры плазмы индуктивного ВЧ разряда»,представленной на соискание ученой степени кандидата физико-математических наукпо специальности 01.04.08 - физика плазмыВЧ индуктивный (ВЧИ) разряд в настоящее время широко применяется в технических устройствах и в технологических целях.

В качестве примеров можно привести получение нанопорошков, модификация поверхности материалов, напыление и осаждение покрытий, для спектроскопических исследований, ВЧ ионные двигатели и др.Одной из насущных задач применения ВЧИ разрядов является управление и оптимизация режимов поддержания разряда: получение максимальной мощности разряда приминимальных затратах энергии, получение достаточно протяженных участков однородной плазмы.Диссертация Неклюдовой П.А.

посвящена исследованию влияния внешних условий поддержания разряда (давления и рода газа, мощности ВЧ генератора, рабочейчастоты, индукции внешнего магнитного поля, емкостной составляющей разряда) напространственное распределение концентрации электронов, ФРЭЭ, эффективнойэлектронной температуры, интенсивности свечения плазмы.Анализ изложенных в автореферате результатов исследований показывает, что поставленные в работе цели достигнуты. В частности, получены закономерности и предложены механизмы изменения перечисленных выше параметров плазмы от условий поддержания разряда. Определен диапазон частот столкновений электронов с атомами, в котором эквивалентное сопротивление плазмы при фиксированной концентрации электронов не зависит от рода газа.

Экспериментально установлено, что при давлениях до10 мТорр функция распределения электронов является неравновесной в связи с присутствием в скин-слое быстрых электронов, что подтверждено также результатами численныхрасчетов. Обнаружены области резонансного поглощения ВЧ мощности при наложениивнешнего поля.По автореферату есть замечания.1) На странице 8 говорится следующее: "Для уменьшения времени счета масса ионов взята равной 2000 массам электронов". Не вполне понятно, каким образом отношение1масс ионов и электронов может повлиять на время расчета, так как последний фактор, нанаш взгляд, зависит от количества частиц в ячейках, но не от отношения их масс. Крометого, отношение масс ионов и электронов - это конкретная физическая величина, зависящая от рода газа. Произвольное ее установление может поставить под сомнение адекватность модели.2) В автореферате часто употребляется термин "частота столкновений электронов сатомами", в том числе в выводах по работе, без уточнения, о каких столкновениях идетречь - упругих или неупругих.

В принципе, понятно, что имеются в виду упругие столкновения, поскольку на странице 11 упоминаются именно они. Тем не менее, на нашвзгляд, было бы корректнее употребить более точную терминологию.Данные замечания ни в коей мере не преуменьшают значимость выполненной работы для науки и практики, они носят, скорее, редакционный характер.В целом считаем, что диссертация полностью соответствует требованиям ВАК, а еёавтор заслуживает присуждения ученой степени кандидата физико-математических наукпо специальности 01.04.08 - физика плазмы.Проректор по научной работеКазанского Национального исследовательскоготехнологического университета,заведующий кафедрой плазмохимических , 0 ^и нанотехнологий высокомолекулярных мд.т.н., профессорГлавный научный сотрудник кафедры плазмохи:и нанотехнологий высокомолекулярных материаловКазанского Национального исследовательскоготехнологического университета,д.ф.-м.н., доцентиmИ.Ш.АбдуллинВ.С.Желтухин.

Характеристики

Тип файла PDF

PDF-формат наиболее широко используется для просмотра любого типа файлов на любом устройстве. В него можно сохранить документ, таблицы, презентацию, текст, чертежи, вычисления, графики и всё остальное, что можно показать на экране любого устройства. Именно его лучше всего использовать для печати.

Например, если Вам нужно распечатать чертёж из автокада, Вы сохраните чертёж на флешку, но будет ли автокад в пункте печати? А если будет, то нужная версия с нужными библиотеками? Именно для этого и нужен формат PDF - в нём точно будет показано верно вне зависимости от того, в какой программе создали PDF-файл и есть ли нужная программа для его просмотра.

Список файлов диссертации