Особенности энерговклада в пространственно ограниченные ВЧ индуктивные источники плазмы низкого давления (1097821), страница 9
Текст из файла (страница 9)
Увеличение засчет вклада мощности через емкостной канал концентрации электронов вышевеличины, при которой эквивалентное сопротивление достигает максимума,приводит к уменьшению вклада ВЧ мощности через индуктивный канал. В связи сэтим физически не оправдано сопоставление мод индуктивного ВЧ разряда снизкой и высокой концентрацией электронов с емкостной и индуктивной модами,т.к. наличие одного канала ввода мощности в плазму приводит к изменению долимощности, поступающей в плазму через другой канал.5. Разработанасамосогласованнаямодельпространственноограниченныхиндуктивных ВЧ источников плазмы низкого давления, учитывающая потери ВЧмощности во внешней цепи разряда и наличие независимого емкостного каналаввода мощности.
Модель позволяет рассчитать параметры плазмы и долюмощности, поглощенную плазмой на основании известных мощностей ВЧгенераторов,сопротивленияпитающихантенны,индуктивныйплощадииемкостнойобкладокканал,конденсатораэффективногоивеличиныквазистационарного приэлектродного скачка потенциала, геометрических размеровисточника плазмы, давления и величины внешнего магнитного поля.6. Разработаны рекомендации, позволяющие оптимизировать работу индуктивныхисточников плазмы низкого давления. Показано, что при давлениях выше 10мТорнаилучший способ организации разряда – это индуктивный разряд без магнитногополя, где превалирует столкновительный механизм поглощения ВЧ мощности.Понижение давления и роли столкновительных механизмов поглощения ВЧмощности приводят к необходимости усиления бесстолкновительного поглощенияВЧ мощности, что в области низких концентраций электронов возможно приусловии ЭЦР, а в области более высоких концентраций – при возбужденииобъемных геликоноподобной и квазипродольной косой ленгмюровской волн.
Вобласти низких давлений ВЧ мощность лучше вкладывается в источники большогорадиуса. Повысить эффективность ввода ВЧ мощности в источники малогорадиуса возможно при увеличении длины источника или при увеличении рабочейчастоты.7. Разработаны прототипы источников ионов для космических и наземныхтехнологий.Основные результаты диссертации опубликованы в следующих работах:1.Т.Б. Антонова, Г.Э. Бугров, Е.А. Кралькина, В.А.
Обухов. Исследование механизмаионизации и возбуждения Хе1 в газоразрядной плазме низкого давления. Рук. деп. вВИНИТИ N 7415-В88.Т.Б. Антонова, Г.Э. Бугров, Е.А. Кралькина, В.А. Обухов. Влияние быстрых2.электронов на свойства разряда в источниках ионов инертных газов низкого давления.Рук.
деп. в ВИНИТИ N 7414-В88.Л.А. Гончаров, Е.А. Кралькина, В.А. Обухов. Исследование параметров плазмы в3.ксеноновом разряде с расходящимся магнитным полем. В тр.1 Bс. н.-т.конф. "Методыдиагностики двухфазных и peaгирующих потоков". Алушта, 1988, с. 191Г.Э. Бугров, Л.А. Гончаров, Е.А. Кралькина, В.А. Обухов.
Study of non-monotonous4.EEDF in Xe low pressure dischargе. Proc.of XIX ICPIG, Belgrade, 1989, Cont. Pap.,p1,P.212Г.Э. Бугров, Е.А. Кралькина, В.А. Обухов, Е.С. Ситин. Экспериментальное5.исследование и численное моделирование процесссв в плазменном эмиттере ионовксенона с периферийным магнитным полем. Радиотехника и электроника, XXXIV,9.1989,стр 1952.T.B.Antonova, G.T.Bugrov, E.A.
Kralkina, V.A.Obukhov, J.Krempel-Heesse, J.Krumeich.6.Experimental Study of FEDF in inductively conpled Xe RF-discharge. Proc.of XI ESCAMPIGSt.-Peterburg 1992 Contrib. Paperes, p.113 - 114.А.Ф.Александров, Н.Ф. Воробьев, Е.А. Кралькина, В.А.Обухов, А.А.Рухадзе. Теория7.квазистатических плазменных источников. ЖТФ, 64, N11, стр.53 - 58А.Ф.Александров, Н.Ф. Воробьев, Е.А. Кралькина, Г.Э.Бугров, С.Г.Кондранин,8.В.А.Обухов, А.А.Рухадзе. Высокочастотные источники плазмы низкой мощности.Прикладная физика, 1995, No1, стр.
3 – 22.9.А.Ф.Александров, Т.Б.Антонова, Г.Э.Бугров, Н.Ф. Воробьев, Е.А. Кралькина, А.В.Калинин, С.Г.Кондранин, В.А.Обухов, А.А.Рухадзе. Экспериментальное исследованиесвойств ВЧ разряда, помещенного в магнитное поле. ФНТП-95 Материалы конференциитом.2, стр 224 – 225.А.Ф.Александров, Т.Б.Антонова, Г.Э.Бугров, Н.Ф. Воробьев, Е.А. Кралькина,10.С.Г.Кондранин, В.А.Обухов, А.А.Рухадзе. The low power HF ion source. Procceed.of XXIICPIG, 1995, Hoboken USA v.4.А.Ф.Александров, Т.Б.Антонова, Г.Э.Бугров, Н.Ф. Воробьев, Е.А.
Кралькина,11.С.Г.Кондранин, В.А.Обухов, А.А.Рухадзе. Study of the properties of low Pressure low powerHF-discharge located in an external magnetic field. Procceed.of XXI ICPIG, 1995, HobokenUSA v.4.A.F. Alexandrov, T.B. Antonova, G.E. Bugrov, N.Vorobliev, A.F. Kalinin, S.Kondranin,12.E.A. Kralkina, V.Obukhov, A.Rukhadze. The revealing of optimal regimes of HF low powerinput in limited magnetoactive plasma for development of HF ion thruster of the new type.
24-thInternational electric propulsion conference. Moscow, Russia, 1995.13. A.F. Alexandrov, T.B. Antonova, G.E. Bugrov, N.Vorobliev, G.Noci, N.Kutufa,S.Kondranin, E.A. Kralkina, V.Obukhov, A. Rukhadze. The low power HF ion thruster. 24-thInternational electric propulsion conference. Moscow, Russia,1995, p. 1 - 15.Г.Э.Бугров, С.Г.Кондранин,14. А.Ф.Александров, Т.Б.Антонова, Н.Ф.Воробьев,Е.А.Кралькина, В.А.Обухов, Г.А.Попов, А.А.Рухадзе. Способ получения ионов и источникионов для его осуществления. Патент РФ 2095877.E.A. Kralkina, S.G.
Kondranin, S.K Koh, H.G. Jang, W.K. Choi, H.-J. Jung,15.T.B. Antonova, G.E. Bougrov, V.B. Pavlov, A.A. Rukhadze, A.F. Alexandrov. Characteristics ofLow Power HF 10-cm Technological Ion Source. Proceedings of XXIII Internation Conferenceon Phenomena in Ionized Gases, 17-22 July 1997, Toulouse – France, pp III-88.K.P. Shamrai, A.F. Alexandrov, G.E. Bougrov, V.F. Virko, V.P.
Katiukha, S.K Koh,16.G.S. Kirichenko, E.A. Kralkina, A.A. Rukhadze. Quasistatic Plasma Sources: Physical Principles,Modelling Experiments, Application Aspects. Proceedings of XXIII Internation Conference onPhenomena in Ionized Gases, 17-22 July 1997, Toulouse – France.S.K . Koh, H.G. Jang, W.K. Choi, H.-J.Jung, .G.
Kondranine, E.A. Kralkina. Design and17.test of the new partially ionized beam source. Review of Scientific Instruments. Vol. 67, No.12, December 1996, pp 4114-4116.T. Antonova, G. Bougrov, А. Bougrova, Won-Kook Choi, L. Goncharov, Hyung Jin Jung,18.Seoh-Keun Koh, S. Kondranin, E.A. Kralkina, E. Sitin, V.
Obukhov. Study of Electron EnergyDistribution Functions (EEDFs) in Three DC Low-Pressure Plasma Sourse. Jpn. J. Appl. Phys.Vol. 37 (1998) pp 6906 – 6915.Won-Kook Choi, Hyung Jin Jung, Seoh-Keun Koh, S. Kondranin, E.A. Kralkina,19.L.M.Volkova, A.M.Devyatov, T.B.Antonova, G.E.Bougrov, N.F.Vorobjev. Determination of theneutral particles spatial distribution from intensity of plasma radiation. J.
of Korean PhysicalSociety v.32, N2, 1998, pp.280-285.Won-Kook Choi, Hyung Jin Jung, Seoh-Keun Koh, S. Kondranin, E.A. Kralkina,20.T.B.Antonova, G.E.Bougrov, N.F.Vorobjev. The мathematical simulation of excitation processesin xenon low-pressure plasmas J. of Korean Physical Society v.32, N2, 1998, pp.195-199Г.Э.Бугров, К.В. Вавилин, С.Г.Кондранин, Е.А.
Кралькина, В.Б.Павлов.21.Экспериментальное исследование параметров плазмы в источнике ионов с холоднымкатодом. Х Конференция по физике газового разряда. Рязань, 2000 стр. 121.Г.Э.Бугров, К.В. Вавилин, Е.А. Кралькина. Разработка плазменного реактора малой22.мощности. Х Конференция по физике газового разряда. Рязань, 2000 стр. 123А.Ф.Александров, Г.Э.Бугров, К.В.
Вавилин, Е.А. Кралькина, В.Ю. Сергиенко, И.Б.23.Тимофеев, Б.И. Тимофеев. Исследование возможности модификации поверхностиполимеров при их обработке в разряде при атмосферном давлении. Х Конференция пофизике газового разряда. Рязань, 2000. стр. 193.24.G.E. Bugrov, S.K. Kondranin, E.A. Kralkina, V.B . Pavlov, K.V. Vavilin. Study of plasmaparameters in the “cold cathode” ion source. Proc.of XI ESCAMPIG, August 2000 Hungary.A.F.Alexandrov, G.E.Bougrov, E.A.Kralkina, A.A.Rukhadze, K.V.Vavilin. Development25.of RF low power plasma reactor prototypes. Proc.of XV ESCAMPIG, August 2000 Hungary.26.
A.F. Alexandrov, G.E. Bougrov, S.K. Kondranin, E.A. Kralkina, V.B. Pavlov,A.A. Rukhadze, K.V. Vavilin. Development of Low Power 13.56MHz Ion Source Family.Proceedings of XXV International Conference on Phenomena in Ionized Gases, 17-22 July 2001Nagoya, Japan vol. 1 pp.33-34.27. А.Ф.Александров, Т.Б.Антонова, Г.Э.Бугров, С.Г.Кондранин, Е.А.Кралькина,А.А.Рухадзе. Газоразрядное устройство. Патент РФ 2121729.28. A.F. Alexandrov, G.E.
Bougrov, S.K. Kondranin, E.A. Kralkina, V.B. Pavlov,A.A. Rukhadze, V.Yu. Sergeenko, I.B. Timofeev, K.V. Vavilin. 13.56MHz discharge atatmospheric pressure & its possibilities for material surface modification. Proceedings of XXVInternational Conference on Phenomena in Ionized Gases, 17-22 July 2001 Nagoya, Japan vol. 1pp.35-36.G.E.Bugrov, S.K.Kondranin, E.A.Kralkina, V.B.Pavlov, and K.V.Vavilin. Development of29.“cold cathode” ion source family. Proceedings of XXV International Conference on Phenomenain Ionized Gases, 17-22 July 2001 Nagoya, Japan vol. 4, pp.97-98.G.E.Bugrov, S.K.Kondranin, E.A.Kralkina, V.B.Pavlov, K.V.Vavilin, Heon-Ju Lee.30.Development and test of ion source with small orifice cold cathode.
J. of Korean VacuumScience & Technolojy, 5, pp.19-24 (2001).A.F.Alexandrov, G.E.Bougrov ,I.K. Kerimova, S.K. Kondranin, E.A.Kralkina, V.B.31.Pavlov, V.J. Plaksin, A.A. Rukhadze, K.V. Vavilin. The Inductive Discharge Plasma ParametersCalculation in Conditions of External Magnetic Field. Proceedings of the 30-th International(Zvenigorod) Conference of Plasma Physics and Controlled Fusion. Zvenigorod, Russia,February 24-28, 2003. Contributed papers, T3.A.F.Alexandrov, G.E.Bougrov ,I.K. Kerimova, S.K. Kondranin, E.A.Kralkina, V.B.32.Pavlov, V.J. Plaksin, A.A.
Rukhadze, K.V. Vavilin. An Absorption of RF Power by InductiveDischarge Plasma Placed in External Magnetic Field Experimental Study. Proceedings of the 30th International (Zvenigorod)Conference of Plasma Physics and Controlled Fusion. Zvenigorod,Russia, February 24-28, 2003. Contributed papers, T4.A.F.Alexandrov, G.E.Bougrov ,I.K. Kerimova, S.K. Kondranin, E.A.Kralkina, V.B.33.Pavlov, V.J. Plaksin, A.A. Rukhadze, K.V. Vavilin. Self-consistent model of RF inductive plasmasource located in the external magnetic field. Lomonosov Readings, MSU, Physical Faculty,April 18–25, 2003, Annotation, pp.
90–92.A.F.Alexandrov, G.E.Bougrov ,I.K. Kerimova, S.K. Kondranin, E.A.Kralkina, V.B.34.Pavlov, V.J. Plaksin, A.A. Rukhadze, K.V. Vavilin. RF discharge at medium and high pressureand its possibilities for material surface modification. III International Symposium ThermoChemical Processes in Plasma Aerodynamics.
St. Petersburg, Russia, July 2003.A.F.Alexandrov, V.B. Pavlov, E.A.Kralkina, V.P. Savinov, V.Yu. Sergeenko, I.B.35.Timofeev, G.E. Bugrov, K.V. Vavilin, V.Yu. Plaksin, Yong Son Mok Heon-Ju Lee. RF Dischargeat Atmospheric Pressure and the Effects on Material Surface Property. The 5-th InternationalSymposium on pulsed Power and Plasma Applications (ISPP-2004). October, 18-20, 2004.KERI, Chang-Won, Korea.А.Ф. Александров, Г.Э. Бугров, К.В. Вавилин И.К.
Керимова, С.Г. Кондранин,36.Е.А. Кралькина, В.Б. Павлов, В.Ю. Плаксин, А.А. Рухадзе. The Self-Consistent Model of“Helicon” Plasma Source. IV International Conference Plasma Physics and Plasma Technology.Minsk, Belarus, September 15-19, 2003. Contributed papers 1.33.А.Ф. Александров, Г.Э.
![](https://s.studizba.com/z.php?f=/templates/si/i/noavatar.png&w=100&h=100&t=1"){kind=avatar}
