Диссертация (1090422), страница 26
Текст из файла (страница 26)
2005. P. 257–267.25)Plobl A., Krauter G. Wafer direct bonding: tailoring adhesion between brit-tle materials // Materials Science and Engineering. R. 25. 1999. P. 1-88.26)Haisma J., Spierings G. Contact bonding, including direct-bonding in a his-torical and recent context of materials science and technology, physics and chemistry.Historical review in a broader scope and comparative outlook // Materials Science andEngineering R.
37. 2002. P. 1-60.16727)Обреимов И.В, Трехов Е.С. Оптический контакт полированных стек-лянных поверхностей // ЖЭТФ. 1957. №2. С. 185-193.28)Качкин С.С., Лисицин Ю.В. Прочность соединения оптическим кон-тактом стеклянных деталей // ОМП. 1980. №3. С. 34-36.29)Лисицын Ю.В. Исследование контактного соединения полированныхоптических поверхностей // Дис.
к.т.н. Л. 1976. 193 с.30)Баганов М.И., Васильев И.В., Лисицын Ю.В., Путилин Э.С. Бесклее-вые соединения оптических деталей. Современное состояние. Перспективы развития // Научно-технический вестник. 2002. Вып. 5. С. 146-147.31)Лаврентьев В.В. Исследование фактической площади контакта поли-меров // Высокомолекулярные соединения. 1962.
№8. С. 1151-1154.32)Любовина Л.А. Механическая прочность оптического контакта прииспытаниях на отрыв // ОМП. 1967. №3. С 41-43.33)Журавлев Г.И., Лисицын Ю.В., Агафонов Э.П., Чаленко Н.С. О взаи-мосвязи разрушения с поверхностной энергией контактного соединения полированных оптических поверхностей // Докл. V Всес. симп.
по механоэмиссии и механохимии твердых тел. Таллин. 1975. Т. 1. С. 254-259.34)Качкин С.С., Листратова Г.В., Рыжакова В.А. Влияние масштабного ивременного факторов на механическую прочность оптического контакта // ОМП.1989. №3. С. 46-48.35)Казаков Е.Н., Лисицин Ю.В., Путилин Э.С. Определение расстояниямежду контактирующими высокоточными поверхностями оптических материалов// Докл. VII всес.
симп. по механоэмиссии и механохимии твердых тел. Ташкент.1981. Т. 2. С. 96-98.36)Ахматов А.С., Болотич И.П., Овчарова Р.Д. Исследование методомэллипсометрии оптического контакта прозрачных диэлектриков // ОМП. 1975.№8. С. 9-10.37)Золотарев В.М., Качкин С.С., Кураева Л.Н., Лисицын Ю.В. Спектро-скопическое исследование поверхностей стекла, соединенных оптическим контактом // ОМП. 1977. №6. С.
69-70.16838)Золотарев В.М., Кураева Л.Н., Качкин С.С., Лисицын Ю.В. Исследо-вание механизма контактного взаимодействия плоских поверхностей диэлектриков // ФТТ. 1978. №1. С. 177-181.39)Габуда С.П. Связанная вода. Факты и гипотезы // Изд-во «Наука». Но-восибирск.
1982. 159 с.40)Семибратов М.Н., Зубаков В.Г. и др. Технология оптических деталей// Учебник для оптических специальностей технических вузов. Под ред. Семибратова М.Н. Изд-во «Машиностроение». М. 1978. 415 с.41)Елхин П.М., Лисицын Ю.В., Поздняков О.Ф., Юдин В.С. Роль адсор-бированной воды в контактном взаимодействии полированных поверхностей оптического стекла // ФХС. 1986. №5. С.611-614.42)Елхин П.М., Журавлев Г.И., Лисицин Ю.В., Поздняков О.Ф., ЮдинВ.С. Масс-спектрометрическое исследование процесса разрушения оптическогоконтакта // Тез. докл. X юбилейного всес. симп.
по механоэмиссии и механохимиитвердых тел. Ростоа-на-Дону. 1986. С. 132.43)Поздняков О.Ф., Поздняков А.О., Регель В.Р. Экспериментальные ис-следования механической и термической стабильности межфазной области полимер-подложка // ФТТ. №5. 2005. С. 924-930.44)Журавлев Г.И. Лисицын Ю.В. Исследование электроадгезионных яв-лений в контактном соединении оптических стекол // Докл. VII всес. симп. по механоэмиссии и механохимии твердых тел. Ташкент. 1981. Т. 2.
С. 32-36.45)Holt R.B., Smith H.I., Gussenhoven M.S. Research on optical contactbonding // 1966. 43 p. URL: http://www.dtic.mil/dtic/tr/fulltext/u2/643285.pdf46)Tong Q., Gosele M. Wafer bonding and Layer Splitting for Microsystems //Adv. Matter. 1999. №11. P.
1409-1425.47)Tong Q., Cha G., Gafiteanu R., Gosele U. Low temperature wafer directbonding // Journal of microelectromechanical systems. Vol. 3. №1. P. 29-35.48)Суворов А.Л., Богданович Б.Ю. Технологии структур кремний на изо-ляторе // Монография. МИЭТ.
М. 2004. 407 с.16949)Качкин С.С. Роль воды в бесклеевом контактном соединении поверх-ностей неорганических диэлектриков // Оптический журнал. 1997. №7. С. 51-53.50)Петрова Л.В., Калюкова Е.Н. Химия воды // Учебное пособие для сту-дентов нехимических специальностей.
УлГТУ. Ульяновск. 2004. 48 с.51)Кузнецов А.М. Адсорбция воды на металлических поверхностях //Соросовский образовательный журнал. 2000. №5. С. 45-51.52)Никитина Л.Н. Таблицы равновесного удельного влагосодержания иэнергии связи воды с материалами // Под ред. Лыкова А.В.
Госэнергоиздат. М.-Л.1963. 176 с.53)Ершова Г.Ф., Зорин З.М., Чураев Н.В. ИК-спектры поглощения поли-молекулярных адсорбционных слоев воды на поверхности кварца // Коллоидныйжурнал. 1979. №1. С. 19-23.54)Айлер Р. Химия кремнезема // Перевод Л.Т. Журавлева, под ред. В.П.Пряшникова. Изд-во «Мир».
М. 1982. Ч. 2. 712 с.55)Алесковский В.Б. Химия надмолекулярных соединений // Изд-во С.петербургского ун-та. СПб. 1996. 256 с.56)Чукин Г.Д. Химия поверхности и строение дисперсного кремнезема //Типография «Палладин» ООО «Принта».
М. 2008. 172 с.57)Сергеев Л.В., Байгожин А., Фаттахов С.Г. Адгезия органических по-лимеров к силикатному стеклу. II. Образование органосилоксановых пленок и ихвзимодействие с поверхностью оптического стекла // Высокомолекулярные соединения. 1962. №7. С. 977-980.58)Сайко Д.С., Ганжа В.В. и др. Адсорбционные слои воды на поверхно-сти тонких пленок алюминия // ЖТФ. 2009. №12. С. 86-91.59)ГОСТ ИСО 14644-1-2002. Чистые помещения и связанные с нимиконтролируемые среды. Часть 1. Классификация чистоты воздуха // Изд-во«Стандартинформ».
М. 2006. 20 с.60)Vallin O., Eineforse B., Hedlund C., Thornell G. Direct bonded quartz res-onators // International frequency control symposium and PDA exhibition. Seattle.2001. P. 345-348.17061)Грехов И.В., Костина Л.С. и др. Прямое сращивание кремниевых пла-стин с одновременным формированием диффузионных слоев // ЖТФ. 2001. №6.С. 45-51.62)Грехов И.В., Костина Л.С. и др. Прямое сращивание пластин карбидакремния с регулярным рельефом на интерфейсе // Письма в ЖТФ. 2006.
№10. С.76-81.63)Аргунова Т.С., Витман Р.Ф. и др. Снижение уровня упругих напряже-ний в структурах, полученных прямым сращиванием кремния // ФТТ. 1999. №11.С. 1953-1962.64)Takeuchi Y., Miyagawa O., Kawai T., Sawada K., Sata S. Non-adhesivedirect bonding of tiny parts by means of ultraprecision trapezoid microgrooves // Microsystem technologies. 2001. №7. P. 6-10.65)Reid S., Cagnoly G. et al.
Influence of temperature and hydroxide concen-tration on the setting time of hydroxy-catalysis bonding // 2006. 7 p.URL: http://www.ligo.org/pdf_public/reid02.pdf66)Vaggel A.A., Enge D. et al. Hydroxide catalysis bonding of silicon carbide// journal of the European Ceramic Society. 2008.
Vol. 28. P. 303-310.67)Balaban B., Preston A., Mueller G. Hydroxide-catalysis bonding for space-based optical systems. 2006. 14 p.URL: http://www.phys.ufl.edu/REU/2006/reports/balaban.pdf68)Moriceau H. A bright future for direct wafer bonding // CLEFS CEA. 2005.№52. P. 44-46.69)Виноградов А.Н., Запотылько Н.Р., Катков А.А., Матвеев Е.В. Осо-бенности оптического контакта в лазерной гироскопии // Сборник материалов«Всероссийской конференции молодых специалистов, ученых и студентов памятиглавного конструктора, академика АН СССР В.И. Кузнецова». М., 2013. С. 52-53.70)Виноградов А.Н., Запотылько Н.Р., Катков А.А., Матвеев Е.В.
Про-блемы оптического контакта при соединении элементов гелий-неоновых лазеров// Оптический журнал. 2014. №4. С. 61-67.17171)Буин А.П. Влияние изменения температуры на деформацию деталей,установленных на оптический контакт // ОМП. 1959. №3. С. 33-37.72)Smart R.N., Ramsey J.V. On the production and use optical contact bond //Notes on experimental technique and apparatus. 1964. Vol. 41. 514 p.73)Запотылько Н.Р., Катков А.А., Полехин И.Н. Влияние неплоскостно-сти оптических поверхностей на качество бесклеевого контактного соединениядеталей // Труды XII межвузовской научной школы молодых специалистов «Концентрированные потоки энергии в космической технике, электроники, экологии имедицине».
М. 2011. С. 194-199.74)Анненков Ю.М., Ивашутенко А.С. Перспективные материалы и тех-нологии в электроизоляционной и кабельной техники // изд-во Томского политехн. ун-та. 2011. 212 с.75)Славуцкая И.В. Технология производства лазерных гироскопов за ру-бежом // Экспресс-обзор. 1986. №5. С.
1-28.76)Сигаев В.Н., Михайленко Н.Ю. Наноструктурированные стекломате-риаллы и их применение в современной технике // учебно-методич. комплекс в 2т. РХТУ им. Д.И. Менделеева. М. 2010. Т. 1. 148 с.77)Алексеева И.П., Голубков В.В., Карапетян Г.О., Чуваева Т.И. Изуче-ние процесса кристаллизации литиевоалюмосиликатного стекла с добавками ZrO2// ФСХ. №3. 1979.
![](https://s.studizba.com/z.php?f=/templates/si/i/noavatar.png&w=100&h=100&t=1"){kind=avatar}
