Введение в электронные технологии (1074330), страница 6
Текст из файла (страница 6)
Излучение в диапазоне уь = 0,3...50 мкм называется тепловым, или температурным. Такой метод нагрева обладает рядом существенных достоинств: высокими скоростями нагрева и охла>кдения изделий, широкими пределами изменения температурных режимов, малой инерционностью и возможностью гибкого управления процессом„простотой управления и относительной компактностью на>.ревательных устройств, возможностью реализации процесса нагрева в различных средах, высокой чистотой процесса. Поскольку протекание процесса активнрования во многом обусловливает характер последующих сорбционных процессов, определение оптимальных условий перевода газопоглотителя в активное состояние является важной задачей.
Уже при температуре 473 К газопоглотитель переходит в активное состояние и начинает поглощать газы. При повышении температуры сорбционные способности газопоглотителей увеличиваются в несколько раз. Оптимальной можно считать температуру 1023...1073 К. Увеличение температуры выше 1173...1223 К приводит к уменыненню отдельных частиц в газопоглотителе, что уменьшает рабочую поверхность и ухудшает сорбционные свойства газопоглотителя. Продолжительность активирования во всем температурном диапазоне работы газопоглотителя рекомендуется выбирать равной 3 мин.
Но возможно использование газопоглотителей и после актнвирования в течение 2 мин. При этом скорость поглощения падает не более чем в 1,5 раза. Для газопоглотителей, устанавливаемых в ЭЛТ серийного н массового производства, можно рекомендовать следующий порядок активирования: а) нагрев газопоглотнтеля до температуры 1023 К в течение 40...60 с (в зависимости от способа нагрева); б) выдержку при этой температуре 2...3 мин. Точность поддер>канна температуры при активировании 150 'С; 32 в) охлаждение (оно происходит естественным образом). Общее время обработки составляет 3-4 мин. Описание либор а>>торной установки Экспериментальная установка, используемая в работе для активировання газопоглотителей, представляет собой однопозиционный полуавтомат. Принципиальная схема установки активировання показана на рис, 3.
Установка включает в себя: два одинаковых нагревательных блока, систему подачи напряжений на галогенные лампы и напряжения накала на подогреватель ЭЛТ, гнездо для установки ЭЛТ, трансформатор питания, реле времени. Рис. 3. Прининниальнаа емема установки актиаироааниа тазопаглотителей: 1 — ЭЛТ; 2 — галетеннаа лампа; 3 — эллинеоидный отражатель; 4 — даумкоординаз мый стелим; 5 — газенотлотитель, б — уетаиоаочнее гнездо; Нагревательный блок представляет собой эллипсондный отражатель с закрепленной в нем малогабаритной галогенной лампой, которая является источником инфракрасного излуче- ния.
Патрон лампы можно перемещать по оси отражателя, для того, чтобы можно было точно установить нить накала в фокусе отражательной системы. Отражатель вместе с лампой имеет возможность перемещаться по двум направлениям. Это необходимо для точной концентрации энергии излучения на газопоглотителе. В нагревательном блоке используется галогенная лампа типа КГМ 24В-150Вт.
Напряжение питания 220 В. При проведении лабораторной работы для измерения температуры применяется хромель-копелевая (ХК) термопара. Фиксирование температуры осуществляется самопишущим потенциометром КСП-4, который через термопару подсоединяется к газопоглотителям. Порядок вьиолиеиия роботы 1. Изучить правила техники безопасности (приложение 6) и расписаться в лабораторном журнале. 2.
Ознакомиться с теоретическими положениями, объясняющими сущность процесса активирования газопоглотителей. 3. Изучить конструкцию экспериментальной установки и ознакомиться с последовательностью работы на ней. 4. Получить задание на выполнение лабораторной работы. 5. Подготовить экспериментальную установку к работе. 6. Установить ЭЛТ в крепежное гнездо без стеклянной оболочки. 7. Установить расстояние мемеду нагревательными блоками и газопоглотителями Ьь 8, Нагревать газопоглотители до достижения стабильной температуры, отслеживая значение температуры по потенциометру.
Выключить нагрев газопоглотителей. 9. После остывания газопоглотителей установить расстояние между нагревательными блокамн и газопоглотнтелями Ьз и затем Аз и провести нагревание до достижения стабильной температуры. 10. Определить оптимальное (фокусное) расстояние 24 между нагревательными блоками и газопоглотителями. 11. Установить на ЭЛТ стеклянную оболочку. 12. Установить фокусное расстояние Уе между нагревательными блоками и газопоглотителями. 13. Нагревать газопоглотители до достижения стабильной температуры, отслеживая значение температуры по потенциометру.
Выключить нагрев газопоглотителей. 14. Рассчитать скорости нагрева г„в кальвинах в секунду (К/с) при различных А; при отсутствии стеклянной оболочки у ЭЛТ и с оболочкой. 15. Результаты расчетов и экспериментальные данные представить в отчете по лабораторной работе (см. приложение 5). Контрольные волроеы 1. Объясните роль сорбционных процессов в технике высокого вакуума. 2. Какие материалы называют сорбентами? 3. Чем оценивается качество газопоглотителей? 4. 1ьзя чего нужен процесс активирования поверхности газопоглотителей? 5. Опишите процессы, происходящие при активировании газопоглотителей.
6. Какие методы используются для активироваиия газопоглотителей? 7. Объясните результаты экспериментальной части лабораторной работы. 34 ПРИЛОЖЕНИЕ 1 МГТУ нм. Н.Э, БАУМАНА КАФЕДРА МТ-11 ЛАБОРАТОРИЯ «МИКРОТЕХНОЛОГИЯ» Студент...................,..Группа МТ 11-6,........Дата .....„..... 200..г. ОТЧЕТ по лабораторной работе № 1 ОЦЕНКА РАЗРЕШАЮЩЕЙ СПОСОБНОСТИ ПРОЦЕССА ФОТОЛИТОГРАФИИ 1. Универсальньгй тестовый фотошаблон Клиновой растр Шкала отсчета дддд адд д д ~ ! д м д, д'дд дп ддя дд 2. Зависимость разрешения от времени экспонирования: дй', мм 3. Номер экспонирования по шкале «К1агоп»: 11а обороте листа привести ответы иа вопросы для самопроверки. ! ! Оптимальное время экспонирования: Максимальное разрешение: Разрешение без прнзкнма: Разрешение при экспонировании «эмульсией вверх»: Проявителзн Температура проявления; ПРИЛОжЕНИЕг МГТУ пм.
Н.Э. БАУМАНА КАФЕДРА МТ-11 ЛАБОРАТОРИЯ «МИКРОТЕХНОЛОГИЯ» Студент.....,................Группа МТ 11-6.........Дата .......,.... 200..г. ОТЧЕТ по лабораторной работе зчд 2 ОЦЕНКА ПОГРЕШНОСТЕЙ СОВМЕЩЕНИЯ ЗАГОТОВКИ ПЕЧАТНОЙ ПЛАТЫ И ФОТОШАБЛОНА Вскторограьдма 1';=... мм; В=... ьдьд Натуральиьн зиачеиия коордииатХ; = .. Нормированные значения коордиим Хд = 1; = а1. 1д= ...
мм 2. Матрица планирования н обработки результатов измерений: Номера модулей и значения координат расставить в соответствии со схемой расположения контрольных зон па заготовке 3. Результаты оценки совмещаемостн: [ ) 37 1. Схема располодкегдия контрольных Схема зоп па заготовке измерений Рассовмещение центров 1 1Ато = [ Угловой разворот! а„= [ Исказкающие погрешности р„= Случайные погрешности а[бх,) = . Р!11!! 1!!!(,!! 'д11!)1 $!!! !, '[1!!11! !1,111~ ,1Й!!~ пуо = "= — [ ру= [ [бу,) хд !р!! !!!!! !1 д1!!!1! 1!1!1! !~!1!!! ПРИЛОЖЕНИЕЗ ПРИЛОЖЕНИЕ 4 1, Результаты работы: 2.
Результаты работы: 38 39 МГТУ им. Н.Э, БАУМАНА КАФЕДРА МТ-11 ЛАБОРАТОРИЯ«ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕТЕХНОЛОГИИ» Студент......................Группа МТ 11-б.......,.Дата ..........., 200..г. ОТЧЕТ по лабораторной работе № 3 НАНЕСЕНИЕ ТОНКИХ ПЛЕНОК МЕТОДОМ ТЕРМОВАКУУМНОГО ИСПАРЕНИЯ 2. Расчет толщины пленки по теоретической зависимости и по ре- зультатам измерений на микроскопе МИИ-4: 3.
На обороте листа приведите ответы на контрольные вопросы. МГТУ им. Н.Э. БАУМАНА КАФЕДРА МТ-11 ЛАБОРАТОРИЯ «ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ» Студент......................Группа МТ 1 1-6.........Дата ......,..... 200..г. ОТЧЕТ по лабораторной работе № 4 НАНЕСЕНИЕ ТОНКИХ ПЛЕНОК МЕТОДОМ ХИМИЧЕСКОГО ОСАЖДЕНИЯ ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ 1. Химические реакции, протекающие при осаждении пленки: 3. Расчет толщины пленки по теоретической зависимости и по ре- зультатам измерений на микроскопе МИИ-4: 4. Иа обороте листа приведите ответы на контрольные вопросы. ПРИЛОЖЕНИЕ 6 Студент... ОТЧЕТ МГТУ им. Н.Э. БАУМАНА КАФЕДРА МТ-11 ЛАБОРАТОРИЯ «ТОНКОПЛЕНОЧНБ1Е ТЕХНОЛОГИИ» ...,.Группа МТ !1-6....,....Дага .......,.... 200..г. по лабораторной работе № 5 АКТИВИРОВАНИЕ ГАЗОПОГЛОТИТЕЛЕИ ИК-НАГРЕВОМ !.
Зависимость температуры поверхности газопоглогителя от вре- мени для разных расстояний нагреватель — газопоглотител!и 2. Расчет скорости нагрева гц (в кельвинах) поверхности газопо- глотителя при различных Ц, при отсутствии стеклянной оболочки на ЭХ!Т и с оболочкой; 3. На ооороте листа приведите ответы на контрольные вопросы. 40 ПРАВИЛА ТЕХНИКИ БЕЗОПАСНОСТИ !. Проводить лабораторную работу на оборудовании можно только в присутствии учебного мастера или преподавателя.
2. Перед началом работы необходимо прочитать указания по технике безопасности в паспорте установки. 3. Особое внимание следует обратить на защиту от поражения электрическим током: не прикасаться к открытым токовводам в рабочие камеры оборудования. Необходимо соблюдать осторожность прн переналадке, При обнаружении неисправностей следует обращаться к преподавателю или учебному мастеру. СОДЕРЖАНИЕ ОСНОВЫ ПРОЦЕССА ФОТОЛИТОГРАФИИ............,........,.. Работа № 1. Оценка разрешагощей способности контактной фотолитографии ..........,....................,....,.................
Работа № 2. Оценка погрешностей совмещения заготовки печатной платы н фотошаблона ............................... НАНЕСЕНИЕ ТОНКИХ ПЛЕНОК В ВАКУУМЕ,.................. Работа № 3. Изучение процесса нанесения тонких пленок методом термовакуумного испарения ...,......,........,...... Работа № 4. Изучение процесса нанесения тонких пленок методом химического осаждения из газовой фазы .....
АКТИВИРОВАНИЕ ГАЗОПОГЛОТИТЕЛЕг1........,..............„ Работа № 5. Изучение процесса активирования газопоглотителей ИК-нагревом ...,...,......„......,...........,..., ...,. Приложения .........,.......... „, ...14 ... 19 .. 22 .
![](https://s.studizba.com/z.php?f=/templates/si/i/noavatar.png&w=100&h=100&t=1"){kind=avatar}
