К.В. Фролов - Технологии, оборудование и системы (1062200), страница 108
Текст из файла (страница 108)
610 г| Вреьи открытия или закрытия, с .. Менее 4 Средняя наработка на олгаз, циклы 104 Средний ресурс, циклы .................. 5.103 Затвор ЗЭПШ-400 является непрогреваемым, поэтому его характеристики такие же, как у непрогреваемой арматуры. ВАКУУМНЫЕ КЛАПАНЫ, ЗАТВОРЫ И НАТЕКАТЕЛИ 329 Рас. 3.2.35. Игелвитьш ватеквевгь с уучвмв арваавеи НРП-1,6 Для сверхвысоковакуумного оборудоваши разработаны цельнометюгличеакие клапаны и затворы с использованием жндкометаллических уплоппателей на основе эвтекгики индий - олово. Однако из-за технологнчесхнх и эксплуатационных трудностей этот тип арматуры не нашел широкого распространения и не был освоен в серийном производстве.
Среди зарубежных фирм наибольших успехов в разработке и создании вакуумных затворов достигла швейцарская фирма УАТ, которая вьлгускаат более десяти серий различных затворов. В табл. 3.2.10 приведены технические характеристики затворов типа ЗЭПШ, ЗЭПШТ, ЗППШТ. Наибольший интерес представляют собой цельноматаллические затворы серии 10 с диаметром условного прохода до 250 мм. Отечественные аналоги этих затворов огсугатвуют.
В них уплотнение заслонки по седлу осуществзиатся металлом, работающим в зоне упрупИ деформаций. Натекатели. Они служат д|и дозированнога напуака газов или плавного регулирования давления в вакуумных камерах электрофизнчеаких установок, технологического оборудования, в ионных источниках, в анюппических приборах. Наиболее широкое распространение получили игольчатые натекатели, принцип дейстюи которых основан на установлении определенного потока газа изменением положения конической иглы по отношению к седлу и проходному отверстию корпуса натекателя.
На рис. 3.2.35 показан вакуумный натекатель НРП-1,б с ручной подстройкой, предназначенный для плавного регулирования пОтака газа, напускаемОГО В Вакуумнуга камеру под давлением 105 - 10 4 Па. Основной материал натеквтеи - коррозионно-стойкая сталь 12Х18Н10Т, уплотнителей - вакуумная резина 7889. Натеквтель состоит из корпуса 1 а фланцами, верхней втулки 2 с газовыми каналами. Втулка через уплотнитель 3 с помощью наружных гаек крепится к корпусу. Под втулкой 2 в середине натекателя размещается седло 4, в котором перемещавши ипи 7, соединенная со штоком Ю.
Шток 6 перемещается в резьбовой втулке 5, соединенной с верхней втулкой посредством штифта 1й Уплотнитель штока выполнен в виде Фшурного сальника, размещенного под верхней крышкой. Рукоятка 9 связана со штоком фиксирующим винтом. Натекатель нелрогреваемый. Глава 3.2. ВАКУУМНЫЕ И ГАЗОВЫЕ СИСТЕМЫ Рве. 3.2.36. Бмстредеяетвневшя ватеввгею ИМБ-1 е алеатремапвтвмм арвеедем Технические характеристики натекаля НРП-1,6 Привод ..................................... Ручной Поток натекания, Памз.с ч ..... 510 е-10 з Средний ресурс, циклы ...........
Не менее 104 Габаритные размеры, мм .....,.. 60х30х80 Масса, кг ................................., 0,2 Натекатель с электромагнитным прююдом НМБ-1 (рис. 3.2.36) работает от источника постоянного тока напряжением 24 В. Натекатель состоит из корпуса 5 с фланц КМкр гор у гелем через спиральную пружину 3 соединен с подвижным сердечником. Основание электромагнита 9 через уплотнитевь 8 посредством резьбового соединения крепится к корпусу. К корпусу через уплотнитель крепится сменное седло 7 с отверстием диаметром 0,1 мм, 0,3 мм, 0,5 мм (в зависимости от требуемого газового потока). Соленоидная катушка 4 с магнитопроводом 1 и нарухсным магнитным экраном соединяется с корпусом с помощью гайки 10.
При подаче напряжения сердечник втягивается, деформируя пружину 3 и открывая поступление шза через микродиафрагму. При ~нагни напряжения сердечник под действием пружины движется в обратном направлении и уплотняет калиброванное отверстие седла. Если напрюкение питания подается от автоматического элекгронного устройства- генератора короткими импульсами длительноспю примерно 50 — 100 мс, то, изменяя сюмжность подачи импульсов, можно изменить усредненный газовый поток. Натекатель непрогреваемый.
Технические характеристики натекателя НМБ-1 Газовый поток, мз Па с ч 1,6-10 Е Время срабатывания, с ... 5 10 3 Основной конструкционный материал ..........,....... Сталь 12Х18Н10Т Материал уплотнители .... Резина 7889 Габаритные размеры, мм 70х40х80 Масса, кг ......................... 0,35 ВАКУУМНЫЕ КЛАПАНЫ, ЗАТВОРЫ И НАТЕКАТЕЛИ Рве. 3.2З7. Натеаатевв с еатеватювревевемм врваелма слева неправо: натсвагевь с льезсзлекгряческям лравсдом НПШ-1; мсдернизеревавимй натекатевь НМБ-1М; сверхемссксвакуумний ватекатевь с ззектромехаиичееквм приводом НБИ-1 При замене марки 7889 резины утикпнителей маркой 51-1735 вли ТК натеквмли НРП-1,6 и НМБ-1 станоюпся пригодными для напуска фтор- и хлорсодержащих газов, т.е.
химическистойкиии. Серийно выпускаются комбинированные натекатели НВ-1, в конструкции которых сочетаются и электромагнитный, и игольчатый варианты. Натекатель снабжен элекгрониым устройством, обеспечивающим импульсный режим пншния злектромапппной части натехлтеля, а итольчашя часть служит для ручной настройки уровня рабочето давления. Натеквтель непрозреваемый.
Технические характеристики натекателя НВ-1 Газовый пото~ мз.Па с' ......... 5 10'-2 10 з Потребляемая мошность, Вт ... 50 Наработка на отказ, циклы ..... 10з Ресурс, циклы ............„.„„,.„... 104 Габаритные размеры, мм ...,.... 148х80х58 В сверхвьюоковакуумном автоматическом оборудовании применяются цельномсталлическяе натекатели с элексромеханическим и пьезоэлектрическим приводами, которые показаны на рис. 3.2.37. Сверхвьюоко вакуумный нате катель с электромеханическим приводом НБИ-1 представляет собой цельнометаллический втсльчатьй натекатель унтового типа, в котором в качестве присоединительных фланцев исполь- зованы фланцы с 1)у = 10 мм (с металлическими уллотнителями) типа "Конфлат".
За основу зсюктропривода азат вьтсокоскоростной микродвишзель ДПР с редукюром. Технические характеристики натекателя НБИ-1 Гюовый поток, из Пас' ............ 10 2- 10 а Температура протрева натекателя (в открытом состоянии), 'С ....... До 400 Габаритные размеры, мм .. 235х155х72 Масса, кг .........,,..........,...,...... 2,1 В натекателе с пьезоэлектрическим нриводом НПШ-1 в качестве уплотняюшей пары применены шарик из коррозионно-стойкой стали 12Х18Н10Т и седло из стали ХВГ. Соединение натеквтеля с шзонапускной камерой - штуцерное. Технические характеристики натекателя НПШ-1 Газовый поток, мь Па с с ......... 5 10 2-2.10 ь Температура прогрева корпуса, С „„„, „....„„.„„„„„„,.„„„„„,. До 300 Напряжение питания, В ..........
500 Время цолното открьпия или закрытия, мс ............................ 3 Габаритнью размеры, мм ......... 210х90х60 На базе электромагнитных натекателей НМБ-1М (модернизированных) и итсльчатото натекателя НБИ-1 разработана чеперехквнальная газонапускная автоматизированная система с микропроцессорным управлением. Глава 3.2.
ВАКУУМНЫЕ И ГАЗОВЫЕ СИСТЕМЫ О, Э 100 ВО 60 40 20 0 10-12 10 4 104 104 р, Па 10 4 Рве. 3.2.Ш. Звввсвмесгь вгвеительввя ввгрыаявеш $ вт Ввввевва Р в арвюыввеввых (сввмаме ввввя) в вабвратврвых (ытрахввме ввввв) вааауииеграю 1- мынвтвых эвектрорюрэхвых иопазаппслпых; 2- тепловых; 5- электронных лсввэаллевных; 4 - ввзхествмх; 5 - лмрсрмационнык; б - эзсисспиы; 1- рвхвелэетслвых вснлэелленвых 2.2.4.
метОды и средсгВА измерения ИАРАметров ВАееумнык и ГАЗОВых српд Вэкуумыетры. Общие положения. Классификация. Давление в вакуумных системах измеряют манометрами. Манометры, предназначенные дви измерения давления, меньшего атмосферного, называют вакуумметрами. Вакуумметры классифицируют по принципу действия и методу измерения давлеюи.
На рис. 3.2.38 приведена зависимость относительной погрешности от давления, измеряемого вакуумметрами различных классов. По методу измерений вакуумметрм делят на две группы: 1) основанные на прямых и 2) основанные на косвенных измерениях давления. К первой группе относят вюсуумметры, основанные на непосредспюнном измерении давления, как отношения силы к плошади чувствительного элемента. Зто жидкостные грузопоршневые и деформационным вакуум- метры, характеризующиеся независимостью показаний от рода газа.
Наименьшее давление, которое можно измерип вакуумметрами этой группы, 10 2 Па. Ко второй группе относят вакуумметры, принцип дейстюи которых основан на использовании зависимости некоторых физических процессов от давления. Такие вакуумметры измеряют физические величины, связанные с давлением определенными функциональными зависимостями (сила тока, напряжение, ЗДС, частота и др.). Зто иониэацпонные, вязкостные, редиометрические и тепловые вакууммегры, их показаюи зависят от рода иза Основным элементом вакуумметра является измерительный преобразователь давления.
![](https://s.studizba.com/z.php?f=/templates/si/i/noavatar.png&w=100&h=100&t=1"){kind=avatar}
