К.В. Фролов - Технологии, оборудование и системы (1062200), страница 106
Текст из файла (страница 106)
В непрогреваемой арматуре прн давлении 103 - 10 э Па обычно используются уплотнители нз лепр отрезаемой резины 9024 (" черная" бензостойкая) либо 7889 (" серая" ). В прогреваемой арматуре при давлении 10 э - 10-3 Па используют либо уплотнители нэ термостойкой резины 51-1539, ИРП-1345, 51- 1735 (прогрев до 150'С), или ТК (прогрев до 300'С), либо металлические уплотнители из меди МБ, М1 (прогрев до 400'С). В случае использования сильфонных вводов движения и металлических медных уплотнителей арматура наэываепл цельнометаллической и, как правило, прогревается до 400'С с целью максимального снижения газовыделения. Она применяется в оборудовании, работающем при давлении до 10 2Е па в зависимости от средств откачки. Давления герметизации с использованием резиновых уллотнителей составляют 1 2 МПа, а для металлических пар (медь - коррозионно-стойкая сталь) - 15 — 30 МПа.
Ведущие зарубежные фирмы в области создания и выпуска вакуумной арматуры ЧАТ (Швейцария), ЧАВ)А)9 (США), 1,ЕУВО133 (Германия), ВАЕХЕИЗ (Лихтенппчйн) и др. в ВАКУУЬГНЫЕ КЛАПАНЫ, ЗАТВОРЫ И НАТЕКАТЕЛИ зрр 3.2.1. Технические характеристики кваивиев КВР Примечания: 1. Допустимый поток натекания 10 ге мз.Па.с'. 2. Средний ресурс 12.
104 циклов. качестве материала уплотнителей используют либо термостойкую резину типа виток, прогреваемую до 150'С, либо металлические уплотнители из меди (прогрев до 400 С). Основные эксплуатационные и конструктивные харакюристики югапанов и затворов следующие: диаметр условного прохода; диапазон рабочего давления; вакуумная проводимость в отрытом положении, определяемая отношением газового потока (2, проходящего через клапан или затвор, к разности давлений рг - )г2 во входном и выходном отверстиях; допустимый поток натекания через узел герметизации; время срабатывания (время полного открытия или закрытия); показатели надежности; средюш наработка на отказ и среднкй ресурс, выражающиеся в количестве циклов полных открытий и закрытий; температура прогрева; потребляемая электроэнергия или необходимое давление в пневмосетн; рабочее положение; масса-габаритные параметры.
При конструировании клапанов и затворов обязательно учитываются необходимые силы для герметизации уплотюпельного узла на седле, на преодоление трения в узлах, на преодолении воздействия атмосферного давление на уплотннтельный узел и на сильфон (если имеется). Кваиввы. Клапаны с ручным приводом типа КВР предназначены для перекрытия вакуумных систем при давлении 105 -10-э Па. Угловой клапан (рис. 3.2.22) состоит из корпуса 5 с двумя присоединительными фпан- цвми, сильфонного узла 3, изолирующего вакуумную полость клапана от атмосферы.
Для легкости хода шток 2 установлен на двух подшипниках. Один конец штока с трапецендальной резьбой ввернут в гайку 4, на лругой крепится маховичок 1. При вРащении маховичка гайка сильфонного узла получает возвратно- поступательное движение, открывая или закрывая ююпал. Материал основных деталей: корпуоасталь 08ПС, уплотнительного кольца - маслостойюш резина марки 9024. Выпускаются три типоразмера клапанов с )3г, равным 25, 63, 100 мм.
Основные технические харюсгеристики клапанов приведены в табл. 3.2.1 Рве. 3.2.22. Клевал угаевев КВР с руюми вряаевеи Глава 3.2 ВАКУУМНЫЕ И ГАЗОВЫЕ СИСТЕМЫ 320 Ряс. 3.2.23. Клаееем вгльаеиегазечесаее углеене КРУГ 3.2.2. Технические харавтериепшн влвшшев КРУТ Примечания: 1. Рабочее давление 103 - 10-и Па. 2. Допустимый поток натекания 5 10 и мз Па с 1. 3. Наработка на отказ (с прогревом в закрытом состоянии при 300'С) 50 циклов. Рес.
3.2.24. Клапан углеееа КВМ с елеатренепитиым евалелеи Цельнометаллические клапаны с ручным проводом типа КРУТ предназначены для комшюктования сверхвысоковакуумного оборудования, работающего при давлении 103 10'с Па. Внешний вид клапанов КРУТ-6,3 и КРУТ-10 показан на рис. 3.2.23. Главная их особенность - то, что они яюшются прогреваемыми в закрьпом положении до температуры 300'С. Присоединнтельные размеры фланцев соответствуют ГОСТ 26526-85. Основной конструкционный материалкоррознонно-стойкая сталь 12Х18Н10Т, материал уллотннтелей - мель Мбб, М1.
Технические характеристики клапанов приведены в табл. 3.2.2. Клапаны КВМ с злектромапппным приводом являютоя клапанами углового типа, нормально-закрьпыми, они предназначены для комплектования непрогреваемого вакуум- ~ ного оборудования, работающего при давле-' нии 10з- 10 з Па. Клапан КВМ (рис. 3.2.24) состоит из корпуса с двумя присоединнтельными флан-! цами, корпуса элекгромапнпа, катушк, якоря, ' заслонки и пружины. Под действием возникающего магнитного поля при вювочении катушки якорь втягивается, преодолевая силу пружины, и поднимает заслонку. Клапан закрываежя пружиной при прекращении подачи тока в цепь, катушки электромагнита.
Присоединнтельные ~ фланцы соответствуют ГОСТ 24835-81. Технические харюггер исти ки югал апов даны в табл. 3.2.3. ВАКУУМНЫЕ КЛАПАНЫ, ЗАТВОРЫ И НАТЕКАТРЛИ 321 3.2.3. Технические хараатериствкв клаааиов КВМ Примечания: 1. Потокнатекзния 10гмзПа.с г. 2. Питание электромыпига: напряжение сети 220 В, часппа 50 Гц. 3.
Средний ресурс 6.104 циююв. 4. Материал уллопппелей - резина 9024. Рве. 3.2.25. Клеваам угловые КВУМ е мматроыегввтоьгм араеедом (Эу разве 1б, 25, 4б, 63 ам) е быетреммьеавыав флеваеаыма ееелааеавеаа "Хомут" Для питания клапанов имеютса устройства управления клапанов. Клапаны КВУМ с злекгромапппным приводом, внешний вид которых приведен на рис. 3.2.25, также предназначены дяя комплектования непрогреваемого оборудования, работающего при давлении 105 - 10 3 Па. Особенность клапанов - высокое быстродействие. Корпуса клапанов - литые из алюминиевого сплава АЛ9.
Нормально-закрытый клапан КВУМ (рис. 3.2.26) состоит из корпуса 4, соединенного через уплотиительную прокладку 6 с корпусом 10 электромагнита Х На якоре 11 электр омапппа закреплены уплотните льный узел 13 и уплотнитель 12 Между торцами корпуса, элехтромагнита и узлом 13 размещена возвратная пружина 3. В корпусе 4 установлено седло 2, герметично уплотненное прокладкой 1.
Лля контроля положения клапана в элекгромагннте предусмотрен магнитоулраюшемый контакт 7. Рве. 3 2.26. Клевая КВУМ 1! За» 760 Глии 3.2. ВАКУУМНЫЕ И ГАЗОВЫЕ СИСТЕМЫ згг Для открытик клапана на катушку электромагнита 9 подается импульс пускового напряжения, и якорь 8 с уплотнигельным узлом 13 поднимаеюя, сжимая пружину 3. Затем пусковое напряжение автоматически снижается до значения, достаточного для удержангш шсоря в открытом положении клапана. Закрытие происходит при отключении электромагнита. При этом прудкина 3 принимает якорь с диском к седлу 2 с силой, необходимой для герметизации.
Технические характеристики клапанов типа КВУМ приведены в табл. 3.2.4 3.2.4. Технические харзитериспыи влавашы КВУМ КВУМ-16 Характеристика 63 160 0,12 Диаметр условнсго прохода, мм Проводимость, дмзус Время срабатывыпш, с Сила тока в электромапппе, А: 16 25 16 0,1 10 0,1 0,12 5,3 6,8 4,0 при пуске 15 2,5 104 2,5 10з 125х70х190 2,4 10 1,5 104 1,5.10з 145х90х230 5 10 7,5 10з 7,5 104 185х120х310 13 17 3 104 3 105 105х55х160 1,2 П р и м е ч а н и я: 1. Допустимый поток натекания через узел герметизации тарели 10.э мз.Па-о'. 2.
Материал уплотнитслей - резина 9024. 3.2.5. Техвичесвие харавтеристнки влашвов КМПН Примечания: 1. Допустимый поток натекания 10 з Па.мз.с'. 2. Напряжение питания 220 В. 3. Материал уплотнителей - резина 7889. Рае. 3.2.27. Кзааав арахшмея ааауеааея КМПН-1В е ззеатреиап~вгаым врааеваи при удерзкании Число вюпочений в минуту Средняя наработка на отказ, циклы Ресурс, циклы Габаритные размеры, мм Маоса, кг Клапаны КВУМ комплектуют специальными блоками питания и управления. Для напуска газа в вахуумные системы и установки служат клапаны КМПН (клапаны магнитные проходные напускные) с электромагнитным приводом (рис.
3.2.27). Рабочее давление 10К 10-4 Па. Зтн клапаны шишотся проходными и нормально-закрытыми. При отключении электроэнергии сердечник соленоида клапана под действием внутренней пружины возвращается в исходное положение и проходное отверстие перекрывается. Технические харысгеристнки клапанов КМПН-1,6 и КМПН-10 приведены в табл. 3.2.5. ВАКУУМНЫЕ КЛАПАНЫ, ЗАТВОРЫ И НАТЕКАТЕЕИ згз Рве. 3.2.28. Клэвввы углевме КПУ е злеатреавевматвчееввм вревмем (1)г реме 25, 48, 63 мм) Рме. 3.2.29.