РПЗ (1058799), страница 6
Текст из файла (страница 6)
СедаковА. Ю., Смолин В. К. – Тонопленочные элементы в микроэлектронике:основы проектирования и изготовления/под ред. А. Ю. Седакова – М.: Радиотехника,2011. – 168 с.2. James J. Licari, Leonard R. Enlow – HYBRID MICROCIRCUIT TECHNOLOGYHANDBOOK Materials, Processes, Design,Testing and Production Second Edition–United States: Noyes Publications, 2008.
– 579 с.3. Панфилов Ю. В. – Курс лекций «Элионные технологии»4. Седаков А.Ю, Смолин В.К. Тонкопленочные элементы в микроэлектронике: основыпроектирования и изготовления /под ред А.Ю Седакова – М.: Радиотехника, 2011. – 168 с.5. С.В. Зеленцов, Н.В. Зеленцова – Учебно-методические материалы «Современнаяфотолитография» – Нижний Новгород – 2006. – 56 с.6. Сайт НИИТМ – niitm.ru7. Сайт компании «ЭСТО-вакуум» – esto-vacuum.ru8. Кузищева Д. М. Отчет по инженерному практикуму на тему Жидкостное и «сухое»травление в технологии ГИС9.
Рубцов М. А. Домашнее задание по курсу: «Техника эксперимента в электронике инаноэлектронике» Тема: «МОДЕЛИРОВАНИЕ ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО ПРОЦЕССА»10. Рубцов М. А. Домашнее задание по расчету профиля интенсивности при контактнойфотолитографии41.
![](https://s.studizba.com/z.php?f=/templates/si/i/noavatar.png&w=100&h=100&t=1"){kind=avatar}
