РПЗ (1058482), страница 4
Текст из файла (страница 4)
При технологическоманализе изделия были рассмотрены некоторые области применения данного метода ивыявлены основные требования к поверхности изделия. Была создана модельмикрорельефа подложкив форме пирамиды, произведенрасчеткоэффициентараспыления и построены графики зависимости. Расчет графических моделей показал, чтооптимальным является наклон ионного пучка в 20о по отношению к подложке. Рассмотренпринцип ионно-лучевого травления и выбор оптимального режима для полирования.Произведен анализ основных методов сканирования поверхности атомно-силовогомикроскопа и проведено сканирование поверхности экспериментальных подложек до ипослеэксперимента.составленамодель,Результатыэкспериментапроведеннаянабылиадекватность.статистическиобработаны:Экспериментявляетсявоспроизводимым, а результаты не отличаются от равномерного распределения.27Список литературы1.
Бериш Р. Распыление твердых тел ионной бомбардировкой. Пер. с англ. . – М.:Мир, 1984. – 336с.2. Броудай И., Мерей Дж. Физические основы микротехнологии. Пер. с англ. – М.:Мир, 1985. – 496с.3. Панфилов Ю. В., Ковалев Л.К., Блохин В.Г. и др. Под общ. ред. Ю.В.Панфилова.Технологии, оборудование и системы управления в электронном машиностроении /Т.III-8 Энциклопедии «Машиностроение».- М.: Машиностроение, 2000.- 744с.4. Группа компаний NT MDT http://www.ntmdt.ru/5. Популярный сайт фундаментальной науки http://elementy.ru/6.
Продукты фирмы Tydex http://tydexoptics.com7. Свободная энциклопедия - Википедия http://ru.wikipedia.org8. Физико-технологический институт Российской академии наук http://www.ftian.ru28.
![](https://s.studizba.com/z.php?f=/templates/si/i/noavatar.png&w=100&h=100&t=1"){kind=avatar}
