Главная » Просмотр файлов » Майсел Л. - Справочник - Технология тонких плёнок

Майсел Л. - Справочник - Технология тонких плёнок (1051257), страница 79

Файл №1051257 Майсел Л. - Справочник - Технология тонких плёнок (Майсел Л. - Справочник - Технология тонких плёнок) 79 страницаМайсел Л. - Справочник - Технология тонких плёнок (1051257) страница 792017-12-27СтудИзба
Просмтор этого файла доступен только зарегистрированным пользователям. Но у нас супер быстрая регистрация: достаточно только электронной почты!

Текст из файла (страница 79)

Однако этот метод приводил лишь к временному улучшению предельного вакуума до !О-э мм рт. ст., при этом в состав оста. точных газов входили в основном СО„Н,О и Оэ. Использование геттеро-ионного насоса вместо диффузионного ие приводит к заметному изменению рабочих характеристик разборных вакуумных систем. Так, Касузллу [79) с помощью ионно-распылитель- ного насоса и ловушки Мейсиера удалось снизить предельный вэнуум всего лишь до 2 ° !О ! мм рт. ст, Получившийся в результате состав атно.

сферы остаточных газов был таким же, что и в случае использования диффузионного насоса. Мейнард [29!) для откачки прогреваемой до 100' С внутренними нагревателями разборной системы применил ионно-испари. тельный насос. Ему удалось достигнуть разрежения около 3 ° 1О-г мм рт. ст., причем основными газами в остаточной атмосфере были СО, Хз, Аг, Нэ, СНз и НэО в соотношении, зависящем от рабочих условий. Некоторым преимуществом системы этого типа является отсутствие других, кроме метана, углеводородов.

Однако при наличии в системе тлеющего разряда или электронного луча даже небольшой обратный поток паров масла из диффузионного насоса может приводить к постепенному накапливанию пленок твердого полимера или сажи. Согласно определению рабочие характеристики разборных вакуумнмх систем зависят от отношения большой быстроты откачки к заметной скорости газовыделения. Вследствие использования в системе различнык конструкционных материалов выделение газов с разных участков системы неодинаково, в связи с чем распределение давления внутри колпака неоднородно, Не соответствующие реальным условиям низкие показания манометра можно получить, если иониззциониый датчик расположен в области,' где происходит преимущественно откачка газов, например, вблизи криопанели. В этом случае полученное нз поназаний прибора давление не соответствует интенсивности бомбардировки остаточными газани остальных частей системы, в том числе и подложки.

Таким образом, метод получения очень ннзних давлений за счет большой быстроты откачхи еа практике имеет существенные ограничения. Для достижения свервысокого вакуума интенсивности всех процессов газовыделения должны быть снижены по сравнению с теми, какие имеют место в описываемых динамических системах. Гл.

2. Техника высокого вакуума В, Сверхвысоковакуумиые системы Таблица 20 Влияние прогрева на уровень предельного вакуума в системе из пирекса [292) Предел»яма «акуум, мм рт.ет. тем«ература атжага, с Время атжага 8 10-т 4 10 5 .!О 2 10 2 недели 4 ч.

12 ч. Несколько повторных циклов Комнатная 125 225 425 Влияние температуры прогрева на уровень предельного вакуума было продемонстрировано Хнкмотом [292), который подвергал установку из пнрскса различным тепловым обработкам и наблюдал соответствующее изменение предельного вакуума. Его данные приведены в табл. 20. Про.

грев при сравнительно высоких температурах для снижения до минимума скорости газовыделения накладывает определенные ограничения иа возмггжцость использования некоторых вакуумных материалов. Кроме того, нагрев и последующее охлаждение увеличивают общую продолжительность вакуумного цикла. Обычно для получения предельного вакуума не. обходнмо затратить 1Π— 50 ч. Вследствие этого такие системы еще не находят себе применения а промышлевиости н используются пока для исследовательских работ, таких как изучение поверхностных явлений, фи»и.

ки плазмы и имитиации космического пространства. 1) Частично прогреваемые системы. Некоторые исследователи пытались примирять требования необходимости прогрева н удобства свободного доступа к внутренним элементам, появляющиеся прн применении для уплотнения корпуса с базовой плитой прокладок из эластомеров. Обычно такие системы откачиваются с помощью вращательных масляных и диф. фузионных насосов с охлаждаемыми отражателями. Корпус камеры, вы.

полнснный в форме цилиндра или колпака, может прогреваться, тогда как прокладка при этом поддерживается при температуре ниже предельной с точки зрения ее стабильности. О первой попытке такого рода сообщил Тапер с сотрудниками, которые, используя охлаждаемые водой нндиевые прокладки, могли обсзгаживать камеру при 425' С [293). Было получено предельное давление около 1О-а мм рт, ст. Анализируя этот эксперимент, Холланд показал, что при таких условиях газовыделение из не.

прогретой части площади поверхности на несколько порядиов величины 298 Согласно определению, данному в работе [288), это такие есистемы», которые конструируются из материалов с малыми скоростями газовыделения и могут быть обезгажены яо такой степени, при которой с помощью насоса средней производительности может быть получен вакуум не хуже 10-а мм рт, ст.

Оптимальной операцией, с точки зрения максимального по величине н наиболее быстрого во врсмени снижения скорости газовыделения, является отжиг всех внутренних элементов системы или, по крайней мере, ее камеры. Еще одно достоинство прогрева связано с теи, что при последующем за ним охлаждении происходит адсорбцин остаточных газов до полного насыщения поверхности, в результате чего быстрота откачнн системы временно увеличивается.

5. Конструкции и рабочие характеристики вакуумных систем превышает количество шюа, выделенного стенками камеры, и что наличие даже относительно небольших иепрогреваемых поверхностей полностью исключает возможность достижения сверхвысокого вакуума. Фаркас н сотрудники [212! сконструировали большие (750 Х 1300 мм") камеры из нсржзощощсй стали с прокладками из бугилового каучука.

Выделение и проникновение газа через эластомер поддерживались иа достаточно пивком уровне за счет охлаждения его фреоном, сьь равд. ЗЛ, 4). Лаже при эпизодическом прогреве камеры скорости газовыделение с ее стенок были уменьшены настолько, что прн обычном отношении эффективной быстроты откачки к объему камеры удавалось снижать давление до 1О 'з мм рт. ст. Лополпительная откачка с помощью криогенного гелиевого насоса приводила к дальнейшему снижению предельного давления до 5 1О-'з мм рт.

ст. Используя охлаждение прокладки из эластомера фреоном ( — 25' С) Адлер [295! в камере из нержавеющей стали, прогренаемай до 400' С, получил вакуум 2 10-'з мм рт. ст. Такое же предельное давление позучил Л. де Кссрнатони [236! в металлической камере, уплотненной двуми кольцевыми круглыми прокладками из витона А. Камера прогревалась до 300' С температура эластомера с помощью охлаждаемого водой змеевика поддерживалась на уровне 150' С.

Лля откачки систем с охлаждаемыми прокладками требуется почти такое же время, что и для систем, прогреваемых полностью. Следовательно, и этот принцип не может быть использован для проведения коротких технологических циклов напыления тонких пленок, хотя в принципе и прогрев, и охлаждение можно проводить очень быстро. Системы, приспособлепные для работы с охлаждаемыми водой прокладками нз внтона А (!О 'э мм рт. ст.) и с допускающими прогрев всей системы металлическими прокладками (1О 'з мм рт. ст,), описаны Рейсингером [296!. 2) Полностью прогреваемые системы. Эта категория включает в себя «системы, сконструированные таким образом, что в них могут прогреваться не только корпус, но и базовая плата вместе с ее уплотнением, а также .

и все элементы, подсоединенные ниже этой платы». Основная трудность втой задачи связана прежде всего с прогревом соединений, Можно использовать стеклянные системы иа основе спаев стекла с металлом или стекла со стеклом. Однако применение таких систем ограничено из-за относительно небольших характерных для них размеров н сложности процедуры их вскрытия и герметизации. Такие системы можно сделать также разбор- ными, если использовать для уплотнения металлические прокладки, см.

равд. 4Б, 3). Тнп корпуса вакуумной камеры определяется в первую очередь выбором метода соединения. Пивные стеклянные соединения обусловливают использование небольших стеклянных колб или ламп, тогда как на основе соединений с металлическими прокладками можно создавать универсальные металлические камеры больших диаметров (для исследовательских работ). Лля отжига камера, базовая плита и асе подсоединяемые к ней компоненты накрываются электрическими печами. В прщ греваемых системах одинаково часто применяются как диффузионные, так и геттеро-ионные насосы. Варианты конструкций таких систем обсуждаются в работе Зафирополоса и де Теддео [297). Использование диффузионного насоса и таких системах требует более тщательяого устройства отражателей и ловушек, чем это требуется для стандартных оперативных папылительных установок. Лля увеличения быстроты откачки и улучшения предельного вакуума широко практикуется дополнительная откачка с помощью криопанелей или геттерных насосов. Как оказалось, очень эффективным способом задержки обратной миграции масла из насоса является установка на высоковакуумной стороне колпака титано-геттерного насоса последовательно с цеолитовой ловушкой [298!.

Гл. 2. Техннка,высекав вакуума Таблнца 21 Небольшие системы нз пнрекса Преобладающие кпм. прилиты пстатакимх глспп Автор сообщения и литература Прсаслькма вакуум, мм рт. ст. Температура огжигк, со Венема [53! Янг н Хесснон [299] Стейнрнссер [50! Сннглетон ]59) ° С(0 1О- ги — 1О !о- ' 5!О 450 250 350 4!О Н, СО, СО СО, СОэ, Нэ Нэ, СОэ, СО Следующая группа систем, данные о рабочих параметрах которых представлены а табл. 22, сконструированы на основе раэборных соеднненнй с металлнческнмя прокладкамн н откачнваются с помощьюднффузноннык пзромасляных насосов с отражателямн н выморажпааюшнмн ловушками. В качестве прокладок в ннх прнменяются алюмннневая проволока [215)„ йюльга кз того жв матернзла [300] н медный лнст [58).

Характеристики

Тип файла
DJVU-файл
Размер
14,02 Mb
Тип материала
Высшее учебное заведение

Список файлов книги

Свежие статьи
Популярно сейчас
Почему делать на заказ в разы дороже, чем купить готовую учебную работу на СтудИзбе? Наши учебные работы продаются каждый год, тогда как большинство заказов выполняются с нуля. Найдите подходящий учебный материал на СтудИзбе!
Ответы на популярные вопросы
Да! Наши авторы собирают и выкладывают те работы, которые сдаются в Вашем учебном заведении ежегодно и уже проверены преподавателями.
Да! У нас любой человек может выложить любую учебную работу и зарабатывать на её продажах! Но каждый учебный материал публикуется только после тщательной проверки администрацией.
Вернём деньги! А если быть более точными, то автору даётся немного времени на исправление, а если не исправит или выйдет время, то вернём деньги в полном объёме!
Да! На равне с готовыми студенческими работами у нас продаются услуги. Цены на услуги видны сразу, то есть Вам нужно только указать параметры и сразу можно оплачивать.
Отзывы студентов
Ставлю 10/10
Все нравится, очень удобный сайт, помогает в учебе. Кроме этого, можно заработать самому, выставляя готовые учебные материалы на продажу здесь. Рейтинги и отзывы на преподавателей очень помогают сориентироваться в начале нового семестра. Спасибо за такую функцию. Ставлю максимальную оценку.
Лучшая платформа для успешной сдачи сессии
Познакомился со СтудИзбой благодаря своему другу, очень нравится интерфейс, количество доступных файлов, цена, в общем, все прекрасно. Даже сам продаю какие-то свои работы.
Студизба ван лав ❤
Очень офигенный сайт для студентов. Много полезных учебных материалов. Пользуюсь студизбой с октября 2021 года. Серьёзных нареканий нет. Хотелось бы, что бы ввели подписочную модель и сделали материалы дешевле 300 рублей в рамках подписки бесплатными.
Отличный сайт
Лично меня всё устраивает - и покупка, и продажа; и цены, и возможность предпросмотра куска файла, и обилие бесплатных файлов (в подборках по авторам, читай, ВУЗам и факультетам). Есть определённые баги, но всё решаемо, да и администраторы реагируют в течение суток.
Маленький отзыв о большом помощнике!
Студизба спасает в те моменты, когда сроки горят, а работ накопилось достаточно. Довольно удобный сайт с простой навигацией и огромным количеством материалов.
Студ. Изба как крупнейший сборник работ для студентов
Тут дофига бывает всего полезного. Печально, что бывают предметы по которым даже одного бесплатного решения нет, но это скорее вопрос к студентам. В остальном всё здорово.
Спасательный островок
Если уже не успеваешь разобраться или застрял на каком-то задание поможет тебе быстро и недорого решить твою проблему.
Всё и так отлично
Всё очень удобно. Особенно круто, что есть система бонусов и можно выводить остатки денег. Очень много качественных бесплатных файлов.
Отзыв о системе "Студизба"
Отличная платформа для распространения работ, востребованных студентами. Хорошо налаженная и качественная работа сайта, огромная база заданий и аудитория.
Отличный помощник
Отличный сайт с кучей полезных файлов, позволяющий найти много методичек / учебников / отзывов о вузах и преподователях.
Отлично помогает студентам в любой момент для решения трудных и незамедлительных задач
Хотелось бы больше конкретной информации о преподавателях. А так в принципе хороший сайт, всегда им пользуюсь и ни разу не было желания прекратить. Хороший сайт для помощи студентам, удобный и приятный интерфейс. Из недостатков можно выделить только отсутствия небольшого количества файлов.
Спасибо за шикарный сайт
Великолепный сайт на котором студент за не большие деньги может найти помощь с дз, проектами курсовыми, лабораторными, а также узнать отзывы на преподавателей и бесплатно скачать пособия.
Популярные преподаватели
Добавляйте материалы
и зарабатывайте!
Продажи идут автоматически
6480
Авторов
на СтудИзбе
304
Средний доход
с одного платного файла
Обучение Подробнее