Фролов Е.С. - Вакуумная техника (1037534), страница 21
Текст из файла (страница 21)
4.16 — 4.23 приведены не. которые наиболее важные вакуумные характеристики материалов. Отжи г в вакууме прн Т'= 693 К Травление,. промывка в бензоле и ацетоне ПРомывка в бснзине и ацетоне Отжиг в вакууме при Т == 693 К Травление, промывка в бензоле н ацетоне Промывка в бензоле и ацетоне Тоавление, промывка в бензоле и ацетоне Промывка в бензоле н ацетоне Вокррлвме а»болат лов»рвов» 95 94 Продолжение табл. 4.16 Таблица 4.19 Гааосодермавве, Па. мс)кт Длвтель. вость пред.
верательаой откачка, ч Удельный потоя тааоеыделевва, Па. »9(мт. с) Предварательваа абработка матервала Метервал Нт 2 2 2 2 2 1О (4 „. 9) 10- (6,5 ... 8,0) 1О е 1,3.10 е 6. 1О-е (4,6 ... 6,5) 1О ° 1,24 10 в 1О 1О 2,67 1О ' 9 3.10-в Т а б л и ц а 4.20 Температура. К 'Мате- рвал Темпе. Ратура. К 1,35 !О а 9,3 10а !О 1О Мате. рвал в. Па мь)(ме. с) Па. »2)(ме. с) Гаа Т а б л н ц а 4.17, Таблица 4.18 Н, ' Коррозиоинсьстойкая.
Алюминий Никель Вольфрам Тантал Молибден, Резина ,вакуум. иая лля уплотне- ния Пол исти рол Полиэтиленовая пленка Целлофан Ткань Петрннова: МАТЕРИАЛЫ ВАКУУМИЫХ СИСТЕМ П Р н м е ч а н н е. д' — удельнай поток, определпемай проницаемостью (пвн йр 10( П ) Обман эмднннн и наненфннаянн 97' млтнриллы нлкррмиых систем Продолжение табл. 4.23 Продолжение табл. 4.21 Т а б л и ц а 4.21 Температура, К Температуре, К е'.
Пн. н')! ич с) .нт ! *. ) Таэ Мете- ранн Мате- рнал Гав ТемпеВатпе. К Козффнаневэ Хнффузнн, мОс ,82.!0 'е 49 !О э ,38 10 э 6,6.10 ' 11 10 з ,76 10 е '35,!о-а ,06 10 а ,88 !О а ,86 10 а Металл Теэ ло -1 ло -1 3,4 10 те Коррозионно" стойкая сталь 1023 Не кло -1 ло -2 Н, Кварц Нз кло 7-! 34 !О э 25 !О-э 85 10 е .ло -1 (!О"11 9 10'з ло -1 ,8 10 'е Ч,О 1О 'е Не кло 9-! Не ,5 10 'е 27 1О э кло '9-2 кло 0-1 298 973 !223 1323 2.10 зе 2,5 1О тэ 4.10-1э 1,4.10 11 кло 8-3 кло 9-2 Таблица 4 22 Двзленнэ„ Пн Па.
м'./(мн. с) Темнерв1 тура, К ° Материал Гвэ Г л а в а 5. Вакуумные герметннные соедннення 6.1. 061цие сведении и, классификации 473 673 473 673 373 673 373 673 373 673 473 673 423 673 423 673 423 623 423 623 523 723 573 723 10 э 5,9 10 э 1,172 10 'е !.!8! 1О э 1,14 10 '1 1,39 !0 э 7,6 1О тв 1.10 э . 6,05 10 тэ 7,25 10 та 3, ! . 1)у.и 8,5 1О тт 6,4 1О тз 1, !О-)е 4,О.!О- 8,0 !О 11 2,7 10 1э 2,0 10 '1 7,1 1О 11 2,0 10 '1 2,3 !О"тэ 1 10 ы 5,3.10 з 1810ы Воз-~ Керами- ~ !173 ~ 4,2.10-1з дух ! ка П р и и е ч а н и е. Для кварпа значения 4' получены при Лр = 1О' Па, для керамики — прн Лр =.
1 Па, остальные значения — при Лр = !О' Па. Таблица 423 Коэффициенты диффузии газов в металлах и сплавах По конструхтивиым признакам ва. куум-плотные герметичные соединения подразделяют на три группы: неразьемные, разъемные и подвижные. Неразъемные вахуум-плотные соединения получают сваркой, пайкой, склеиванием и герметизацией зпоксялными смоламн.
К разъемным ст"осят штуцерные, штуцерно-ниппель"ые и фланцевые соединения, уплотзенвые резиновыми или металличе- П/Р Е. С. Фроловн скими прокладками, расплавляемыми металлами.уплотнителяии, а также герметичные муфговые соединения. В подвижных соединениях для уплотнения используют жидкие металлы, масла, прокладки иа антнфрикционных вакуумио-плотных материалов, манжеты, шлифованные н притертые контактные поверхности. Выбор вила соединения, способа его конструктивной реализации и ма. териала определяется назначением соединения. При атом основиымн крите.
риями служат: степень вакуума, ра- илкиимныи гкрмигичныи ооидининии 98 Омзрязм ммдвнеяэр бочая температура, условия взаимодей. ствия с окружающей ерцдой, влияние излучений. В зависимости от степени вакуума применяют уплотнения для низкого, среднего, высокого и сверхвысокого вакуума. В вакуумных системах, подвергаемых обезгаживанию при Т = 723 ... 773 К, иеразъемные вакуумные соединения. выполняют сваркой или пайкой высокотемпературнымн припоями, для разъемных соединений применяют металлические уплотнения илн термостойкие вакуумные резины с местным охлаждением. Низкотемпературные не- разъемные соединения выполняют свар.
кой, пайкой и склеиванием. В вакуумных герметичных соединениях наиболее часто применяют следующие сочетания материалов: металл — металл, металл — 'стенло, стек. ло — стекло, метал.ч — керамика, стек. ло — керамика. Качество уплотнения определяется допускаемйм потоком натекания, составляющим для сварных соединений металл — металл и металл — стекло соответственно 5 1О ' н 8 10 " Па.мз/с.
Для динамической вакуумной системы допускаемый удельный поток натекаиия д, Па мз/(с и), предельное давление р, Па, скорость откачки 3, мэ/с, и длина соединения /., м, связаны зависимостью д ъ:, рЗ/й. Для изолированных вакуумных сн. стем допускаемый удельный поток натекання определяется допускаемым повышением давления в единицу времени (орИ), объемом сосуда У и длиной уплотнени~, ь: дъ. (йр/о!) (И/.). Допускаемые значения удельного потока натекания, Па и /(с.см), для наиболее распространенных вакуумных соединений приведены ниже: Высоковакуумное уплотне. ние с меднымн прокладками 3.10 э Уплотнение на основе зластомерных прокладок ... 6 1О з Сверхвысоковакуумное уплотнение,,,...
1,5 1О хз 5.2. Сварные соединения Способы сварки, используемые в вакуумной технике, можно разделить иа дне группы, а/ А й/ Рнс. Б.!. Виды пр»плавления при дуговой сварке: а — глубокое, узкий шов !оостонзамз ток, прямая поляраость): б —. неглубокое, шаракяй шов !постояннма ток, ооратизз аоаяраость!: в — среднее !переменнма ток! Первая группа объединяет способы сварки плавлением, осуществляемой нагревом кромок сварнваемых деталей до расплавления и соеднненвем нх без механического воздействия. К этой группе относится газовая, дуговая, злектронно-лучевая, лазерная и плааменная сварка.
Вторая группа объедн. няет способы сварка давлением, осуществляемой сжатвем свариваемых деталей с нагревом или без него. К этой группе относятся различные видь1 контактной и холодной сварки. Для получения вакуумно-плотных соединений в вакуумной технике наиболее распространена дуговая сварка в защитных газах, Для дуговой сварки используют плавшцнеся и неплавя. щиеся электроды. В последнем случае шов образуется из присадочного ме.
талла или вследствие оплавления стыковых кромок. Дуговую сварку ведут как постоянным, так и переменным током. При сварке постоянным током ис. пользуют две схемы подсоединения детали и электрода к источнику пита. иия; прямой и обратной поляряостз. В первом случае электрод явлнетсн катодом, деталь — анодом, во втором — наоборот. Так как большая часть тепловой энергии выделяется иа положительном полюсе, дуговая ' сварка постоянным током по схеме прямой полярности характеризуется глубоким проплавлением и узхим швом (рнс.
5.1, а). Такой способ целесообразен для сварки массивных деталей. Сварка по схеме обратной ! полярности характеризуется неглубоким проплавленнем и широким швом ! (рис. 5.1, б), поэтому рекомендуется для соединения тонкостенных деталей. Сварка постоянным током предпочти.: гьна для иемагнитных металлов и сплавов. При дуговой сварке переменным ом образуется узкий сварной шов едней глубины (рис. 5.1, з). При дуговой сварке в защитных газах теп- ловая энергия выделяется в виде дуги переменного тока, горящей между а~ума неплавящимися электродами в ~рсдс водорода, и переносится иа сварнваемый металл в результате дис- социация и рекомбинации молекуляр- ного водорода. Молекулярный водо- род, подаваемый через держатель элек- тродов, днссоциирует в дуге до ато- марного водорода, который рекомби- нирует при контакте с более холодным свариваемым металлом.
При этом тем- пература в зоне сварки может дости- гать 4273 К. Дуговую сварку в среде водорода применяют для соединения трудио- сварнваемых материалов, в том числе алюминия и хрома, однако этот способ непрвгоден для получения вакуумно- плотных соедиаеннй сплавов, содер- жащих никель и склонных к раство- рению водорода с последующим обра- зованием трещин н пор (например, сталь 12Х!8Н!ОТ).