Автореферат (1025358), страница 4
Текст из файла (страница 4)
вдва раза меньше определённого в работе допустимого предела СКО σ dдоп ≤ 0,006 мкмпогрешности измерения глубины микрорельефа ЗГ. В случае пренебрежениявлиянием случайных искажений формы профиля отличие значений глубиныпрофиля ДР, полученных на основе косвенных измерений, от значений, полученных14на основе прямых измерений, достигает величины 0,0078 мкм, превышающейдопустимый предел СКО погрешности измерения.Присравнениирезультатовпрямыхикосвенныхизмеренийпространственного периода установлено, что разница между измереннымизначениями не превышает величины 0,004 мкм, что в 2,5 раза меньше допустимогозначения СКО σ Tдоп ≤ 0,010 мкм погрешности измерения пространственного периода.На основании результатов первого этапа экспериментальных исследованийсделан вывод об адекватности принятого математического описания явлениядифракции с учётом случайных искажений формы профиля ДР, а такжеправильности выведенных математических зависимостей.На втором этапе экспериментальных исследований была проведена оценкапоказателей точности макетного образца ОЭП.
В качестве контролируемыхобразцов использовались выпускаемые серийно ЗГ и мастер-матрицы ЗГ.Из результатов второго этапа исследований следует, что отличие среднихзначений пространственного периода, полученных в эксперименте на основеметодов прямого и косвенного измерений, не превышает величины 0,003 мкм, т.е.меньше допустимого значения СКО погрешности измерения пространственногопериода.
Установлено, что максимальное отличие средних значений глубинырельефа, полученных в эксперименте на основе методов прямого и косвенногоизмерений, достигает величины 0,0056 мкм, которая не превышает допустимогозначения СКО σ dдоп ≤ 0,006 мкм погрешности измерения глубины.На основании полученных результатов второго этапа экспериментальныхисследований сделан вывод о том, что макетный образец ОЭП, удовлетворяеттребованиям по точности измерений. Этот факт подтверждает правильностьположений разработанной в диссертации методики проектирования ОЭП,предназначенных для контроля ЗГ и мастер-матриц ЗГ на основе метода косвенныхизмерений.ОСНОВНЫЕ РЕЗУЛЬТАТЫ ДИССЕРТАЦИИВ диссертации получены следующие научные и практические результаты:1.
Предложен критерий принятия решения о качестве ЗГ на основе сравнениязначений параметров профиля микрорельефа дифракционных решётокконтролируемого и эталонного образцов ЗГ.2. Введено понятие случайных искажений профиля микрорельефадифракционных решёток и принято модельное описание искажений какоднородного гауссова случайного поля.3. В рамках скалярной теории дифракции впервые получены аналитическиевыражения, описывающие зависимости распределения интенсивности в главныхмаксимумах дифракционной картины при наличии случайных искажений профилямикрорельефа дифракционных решёток. Адекватность принятого математическогоописания подтверждена в процессе экспериментальных исследований.4.
Разработана методика оценки параметров профиля микрорельефадифракционных решёток ЗГ на основе прямых измерений, позволяющая обосноватьдопустимые значения погрешностей ОЭП, используемых при оценке параметров ЗГ.155. Разработан метод оперативного контроля качества ЗГ на основе косвенныхизмерений глубины и пространственного периода профиля микрорельефадифракционных решёток ЗГ.6.
Предложена методика контроля качества ЗГ, основанная на прямых икосвенных измерениях параметров профиля микрорельефа ДР, позволяющаяконтролировать качество ЗГ на всех стадиях технологического процессаизготовления.7. Предложены оригинальные функциональные схемы и разработанаметодика проектирования ОЭП контроля качества ЗГ, эффективность которойподтверждена в ходе экспериментальных исследований макетного образца ОЭП,разработанного по данной методике.ПУБЛИКАЦИИ, СОДЕРЖАЩИЕ ОСНОВНЫЕРЕЗУЛЬТАТЫ ДИССЕРТАЦИИ1.
Корреляционный алгоритм оценки качества мастер-матриц защитныхголограмм / В.В. Колючкин [и др.] // Естественные и технические науки. 2012.№ 5. С. 317–320. (0,4 п.л. / 0,2 п.л.)2. Оценка качества микрооптических и дифракционных элементов спомощью корреляционной оптической и электронной микроскопии /В.В. Колючкин [и др.] // Естественные и технические науки.
2012. № 6.С. 354–356. (0,6 п.л. / 0,3 п.л.)3. Применение методов инвариантного корреляционного распознаванияобразов для контроля качества мастер-матриц защитных голограмм /В.В. Колючкин [и др.] // Мир техники кино. 2013 № 1. С. 34–38. (0,6 п.л. / 0,4 п.л.)4. Оптико-электронное устройство для контроля качества дифракционных иголографических элементов: патент РФ № 157473 / В.В.
Колючкин [и др.]заявл. 17.04.2015; опубл. 11.11.2015. (0,5 п.л. / 0,3 п.л.)5. Kolyuchkin V.V., Odinokov S.B., Tsyganov I.K. The quality inspection methodfor master-matrices of security holograms // Physics Procedia. 2015. Vol. 73.P. 313–319. (0,5 п.л. / 0,4 п.л.)6. Метод когерентного контроля глубины поверхностного микрорельефаголограммных и дифракционных оптических элементов / В.В.
Колючкин [и др.] //Компьютерная оптика. 2015. Т.39, № 4. С. 515–520. (0,7 п.л. / 0,5 п.л.)7. Kolyuchkin V.V., Odinokov S.B. The influence of diffraction gratings reliefnoise on the intensity distribution in diffraction orders // Journal of Physics: ConferenceSeries. 2016. Vol. 737(1). P. 012070-1–012070-5. (0,4 п.л. / 0,3 п.л.)16.
![](https://s.studizba.com/z.php?f=/templates/si/i/noavatar.png&w=100&h=100&t=1"){kind=avatar}
