Обработка и получение монокристаллического кремния - лекции
1 Изготовление монокристаллических кремниевых подложек
2 Кремниевые пластины как объект производства
3 Электрические параметры
4 Геометрические параметры
5 Получение и механическая обработка монокристаллического кремния
6 Этапы производства кремния
7 Механическая и химико-механическая обработка кремниевых слитков и пластин