Для студентов по предмету Специальные предметыЗадание по расчету профиля интенсивности при контактной фотолитографииЗадание:Рассчитать профильЗадание по расчету профиля интенсивности при контактной фотолитографииЗадание:Рассчитать профиль
2014-05-282014-05-28СтудИзба
Задача: Задание по расчету профиля интенсивности при контактной фотолитографииЗадание:Рассчитать профиль
Описание
Задание по расчету профиля интенсивности при контактной фотолитографии
Задание:
Рассчитать профиль распределения интенсивности в микроизображении, формируемом контактной фотолитографией с параметрами, заданными в таблице, где W - ширина окна на фотошаблоне, z - микрозазор, λ - длина волны актиничного излучения
Структура домашнего задания.
1.Заданные условия (выбрать из прилагаемых вариантов)
2.Краткое описание последовательности выполняемых этапов.
3.Математическое обеспечение основных этапов должно включать следующие разделы:
3.1.Получите волновое уравнение (6.20), дифференцируя уравнение волны в тригонометрической (синусоидальной или косинусоидальной) и комплексной формах.
3.2.Покажите аналитически возможность перехода от волнового уравнения в общем виде для U(x,t) к уравнению для фазора U(x)
3.3.Докажите, что, переходя к приближению Френеля, в фазовом члене уравнения нельзя ограничиться аппроксимацией первого порядка.
3.4.Проведите переход от формулы 6.58 для амплитуды к формуле 6.59 для интенсивности.
3.5.Проанализировать, почему привыводе уравнения (6.49) для амплитудного члена выражения провести аппроксимацию первого порядка, а для фазового члена выражения необходимо провести аппроксимацию второго порядка
3.6.Проанализировать суть параметра, его получение и его влияние на результат расчета.
4.Программное обеспечение
5.Иллюстрации
5.1.Расчетная схема
5.2.Входное распределение интенсивности (на объекте)
5.3.Профиль распределения интенсивности в плоскости изображения.
При расчете учитывать точки изображения, лежащие в области геометрической тени на расстоянии, равном +/- 0,5 W.
Отчет оформляется в Word, формулы – в MathType.
Для расчета интегралов Френеля можно использовать соответствующие программные продукты или использовать прилагаемую таблицу этих интегралов.
Задание:
Рассчитать профиль распределения интенсивности в микроизображении, формируемом контактной фотолитографией с параметрами, заданными в таблице, где W - ширина окна на фотошаблоне, z - микрозазор, λ - длина волны актиничного излучения
Структура домашнего задания.
1.Заданные условия (выбрать из прилагаемых вариантов)
2.Краткое описание последовательности выполняемых этапов.
3.Математическое обеспечение основных этапов должно включать следующие разделы:
3.1.Получите волновое уравнение (6.20), дифференцируя уравнение волны в тригонометрической (синусоидальной или косинусоидальной) и комплексной формах.
3.2.Покажите аналитически возможность перехода от волнового уравнения в общем виде для U(x,t) к уравнению для фазора U(x)
3.3.Докажите, что, переходя к приближению Френеля, в фазовом члене уравнения нельзя ограничиться аппроксимацией первого порядка.
3.4.Проведите переход от формулы 6.58 для амплитуды к формуле 6.59 для интенсивности.
3.5.Проанализировать, почему привыводе уравнения (6.49) для амплитудного члена выражения провести аппроксимацию первого порядка, а для фазового члена выражения необходимо провести аппроксимацию второго порядка
3.6.Проанализировать суть параметра, его получение и его влияние на результат расчета.
4.Программное обеспечение
5.Иллюстрации
5.1.Расчетная схема
5.2.Входное распределение интенсивности (на объекте)
5.3.Профиль распределения интенсивности в плоскости изображения.
При расчете учитывать точки изображения, лежащие в области геометрической тени на расстоянии, равном +/- 0,5 W.
Отчет оформляется в Word, формулы – в MathType.
Для расчета интегралов Френеля можно использовать соответствующие программные продукты или использовать прилагаемую таблицу этих интегралов.
λ=0,405; z=6,25; W=4
Характеристики решённой задачи
Предмет
Просмотров
615
Скачиваний
82
Качество
Идеальное компьютерное
Размер
173,03 Kb
Список файлов
- W-4_z-625_L-0405
- DZ_po_ET_variant_12 (рубцов).xmcd 207,68 Kb
- W-4_z-625_L-0405.docx 109,07 Kb
Хочешь зарабатывать на СтудИзбе больше 10к рублей в месяц? Научу бесплатно!
Начать зарабатывать
Начать зарабатывать