СтудИзба » ВУЗы » Студент » Файлы Студент » Задачи » Специальные предметы » Задачи по Френелю (Микро- и наноэлектроника) » Задание по расчету профиля интенсивности при контактной фотолитографииЗадание:Рассчитать профиль

Задание по расчету профиля интенсивности при контактной фотолитографииЗадание:Рассчитать профиль

ВУЗ Для всех ВУЗов
Семестр Задачи
Предмет Специальные предметы
Категория Задачи по Френелю (Микро- и наноэлектроника)
Дата 28 мая 2014 в 18:48 Размер 173,03 Kb
Просмотров 560 Скачиваний 81
Качество Идеальное компьютерное Комментариев 0
Рейтинг
0
Автор zzyxel +3165
Файл проверен администрацией в том числе на вирусы с помощью EsetNod32.
Описание файла:
Задание по расчету профиля интенсивности при контактной фотолитографии

Задание:
Рассчитать профиль распределения интенсивности в микроизображении, формируемом контактной фотолитографией с параметрами, заданными в таблице, где W - ширина окна на фотошаблоне, z - микрозазор, λ - длина волны актиничного излучения

Структура домашнего задания.
1. Заданные условия (выбрать из прилагаемых вариантов)

2. Краткое описание последовательности выполняемых этапов.

3. Математическое обеспечение основных этапов должно включать следующие разделы:
3.1. Получите волновое уравнение (6.20), дифференцируя уравнение волны в тригонометрической (синусоидальной или косинусоидальной) и комплексной формах.
3.2. Покажите аналитически возможность перехода от волнового уравнения в общем виде для U(x,t) к уравнению для фазора U(x)
3.3. Докажите, что, переходя к приближению Френеля, в фазовом члене уравнения нельзя ограничиться аппроксимацией первого порядка.
3.4. Проведите переход от формулы 6.58 для амплитуды к формуле 6.59 для интенсивности.
3.5. Проанализировать, почему привыводе уравнения (6.49) для амплитудного члена выражения провести аппроксимацию первого порядка, а для фазового члена выражения необходимо провести аппроксимацию второго порядка
3.6. Проанализировать суть параметра, его получение и его влияние на результат расчета.

4. Программное обеспечение

5.
Иллюстрации
5.1. Расчетная схема
5.2. Входное распределение интенсивности (на объекте)
5.3. Профиль распределения интенсивности в плоскости изображения.

При расчете учитывать точки изображения, лежащие в области геометрической тени на расстоянии, равном +/- 0,5 W.

Отчет оформляется в Word, формулы – в MathType.

Для расчета интегралов Френеля можно использовать соответствующие программные продукты или использовать прилагаемую таблицу этих интегралов.

λ=0,405; z=6,25; W=4


Данный файл также доступен в разделе "курсовые/домашние работы", в предмете "специальные предметы" в общих файлах.

Похожие файлы
Как разобраться в китайских пластинах и что такое NP-1
Технология нанесения композитных упрочняющих покрытий
История Electroclash
Микрофрезерный станок сверления и изготовления прототипов печатных плат
Кредит как основной источник привлечения финансовых ресурсов

Для добавления файла нужно быть зарегистрированным пользователем. Зарегистрироваться и авторизоваться можно моментально через социальную сеть "ВКонтакте" по кнопке ниже:

Войти через
или

Вы можете зарегистрироваться стандартным методом и авторизоваться по логину и паролю с помощью формы слева.

Не забывайте, что на публикации файлов можно заработать.