Курсовая работа: Установка пескоструйной резки кремниевых кристаллов
Описание
Расчетно-пояснительная записка
к курсовому проекту по теме
«Пескоструйная установка резки кремниевых кристаллов»
Москва, 2009 г.
Содержание.
1. Введение 3
2. Описание процессной модели. 5
2.1 Деление технологии на процессы. 5
2.2 Выбор сервисных функций. 7
2.3 Выбор функций коррекции цели. 7
3. Описание комплексной принципиальной схемы 8
4.Документы, сопровождающие КПС 9
4.1.Перечень элементов 9
4.2. Перечень потоков и сигналов 11
5. Информационный поиск датчиков и исполнительных элементов
машины и её САУ 12
5.2.ТЗ на сетевой модуль и источники питания. 15
6.Описание принципиальной электрической схемы. 18
7.Заключение. 19
8.Список использованной литературы. 20
1.Введение
В данной курсовой работе рассмотрим спроектированную установку абразивной резки кремниевых кристаллов. Опытно-промышленная пескоструйная установка резки предназначена для разделения полупроводниковых пластин, маскированных защитными металлическими экранами, на кристаллы (диски) путем воздействия на обрабатываемую поверхность потоком абразивных частиц. Обработка немаскированной поверхности пластин осуществляется в автоматическом режиме шестью струйными соплами, которые
формируют поток абразивных частиц. В зависимости от
размеров защитных экранов, на предприятии выполняется резка пластин на кристаллы-диски в диапозоне диаметров 1.5….3.4 мм с точностью ± 0.03 мм.
Основные параметры для кристаллов диаметром 1.5 мм и 2.0 мм (по номиналу):
- частота сканирования сопел 0.90…0.95 дв.х/с;
- скорость подачи кассеты с пластинами (0.16…0.22) 10-3 м/с;
- давление воздуха на входе сопел - (0.30 ±0.01) МПа;
Конечным результатом при работе на установке является диск с наклеенными кремниевыми кристаллами
Исходной заготовкой является кремниевая пластина, наклеенная на стеклянную пластину с нанесённым на неё маскирующим покрытием.
Механические свойства кремния ( высокая твёрдость и хрупкость), а также чрезвычайно высокая стоимость пластин из монокристаллического кремния накладывают ряд ограничений на технологию резки.Исходными заготовками являются пластмассовые кассеты с закреплёнными в них пластинами по ( 5 шт
Характеристики курсовой работы
Список файлов
- Установка пескоструйной резки кремниевых кристаллов
- Презентация.ppt 2,22 Mb
- Прочти меня.txt 141 b
- САУ.doc 1,93 Mb
- Чертёж (1).cdw 189,58 Kb
- Чертёж (2).cdw 105,71 Kb
- Чертёж (3).cdw 167,03 Kb
- Чертёж (4).cdw 66,46 Kb
Начать зарабатывать