Курсовая работа: Автоматизированная вакуумная установка
Описание
ЗАДАНИЕ
на курсовой проект по курсу
«Основы проектирования систем автоматического управления оборудования электронных технологий».
Тема проекта: Автоматизированная установка вакуумного напыления
1. Проработать описание работы машины, выбрать и обосновать состав его основных целевых функций, сервисных функций, функций коррекции цели.
2. Разработать комплексную принципиальную схему, как совокупность системы целевых механизмов, системы их энергообеспечения и системы управления, связанных материальными, энергетическими и информационными потоками.
3. Описать механический, энергетический и информационный интерфейс компонентов машины. Дать техническое задание и техническое предложение на САУ и основные элементы машины.4. Разработать принципиальную электрическую схему элемента САУ или САУ в целом.
Содержание графической части.
1. Процессная модель машины..................................................1 л.
2. Комплексная принципиальная схема....................................2л.
3. Принципиальная электрическая схема..................................1 л.
1.Введение. Описание целевого, механического и энергетического интерфейса спроектированной технологической машины.
2.Описание процессной модели. Выбор и обоснование целевых, сервисных функций, и функций коррекции цели.
3.Техническое задание и техническое предложение на систему управления машины по приведенной в Приложении 1 форме.
4. Описание комплексной принципиальной схемы ФС. Обоснование структурно-компоновочного решения, выбор и согласование уровней потоков элементов.
5. Документы, сопровождающие комплексную принципиальную схему:
-перечень элементов ПЭ;
-перечень потоков и сигналов ПС;
-технические задания на основные подсистемы и узлы машины ТЗ.
6. Информационный поиск датчиков и исполнительных элементов машины и ее САУ, описание целевого, механического, энергетического и информационного интерфейса этих элементов ОЭ.
7. Расчет и описание принципиальной электрической схемы.
8. Заключение.
Содержание
Содержание. 3
Введение. 4
1. Описание процессной модели. 6
1.1. Запуск форвакуумной откачки. 7
1.2. Завершение форвакуумной откачки. 8
1.3. Запуск диффузионного насоса. 9
1.4. Высоковакуумная откачка. 11
1.5. Завершение высоковакуумной откачки. 12
1.6. Напуск рабочего газа. 12
1.7. Регулирование потока газа. 14
1.8. Запуск магнетронного распыления. 15
1.9. Контроль параметров пленки. 16
1.10. Завершение работы установки. 17
1.11. Выбор сервисных функций. 18
1.12. Выбор функций коррекции цели. 19
2. Описание комплексной принципиальной схемы.. 20
3. Информационный поиск датчиков и исполнительных элементов машины и ее САУ.. 23
ТЗ на элементы САУ.. 23
Заключение. 27
Литература. 28
Введение
Рассматривается автоматизация процессов нанесения тонкопленочных покрытий на установке вакуумного напыления модульного типа.
Установка вакуумного напыления модульного типа
Установка предназначена для нанесения в вакууме пленок и в настоящее время управляется в ручном режиме. Установка состоит из следующих составных частей:
·Насос вакуумный пластинчато-роторный 2НВР-5ДМ;
·Клапан напуска воздуха в насос (нормально-открытый);
·Диффузионный насос;
·Клапан вакуумный с электромагнитным приводом КВМ-25 (2 шт.);
·Блок управления;
·Вакуумметр теплоэлектрический блокировочный 13 ВТЗ-003 (2 шт.);
·Вакуумметр ионизационный цифровой блокировочный ВИЦБ-2/7-002;
·Линейка РРГ-3-1 (2шт.);
·Реле протока жидкости.
Вариант с магратроном:·Устройство питания =850В; 8А дЕМ3.508.611;
·Магратрон
·Панель управления дЕМ3.620.591.
Характеристики курсовой работы
Список файлов
- Автоматизированная вакуумная установка
- Лист (1).DWG 294,88 Kb
- Лист (1).cdw 125,95 Kb
- Лист (2).cdw 82,53 Kb
- Лист (3).cdw 114,54 Kb
- Прочти меня.txt 141 b
- САУ.doc 1,4 Mb
- презентация.ppt 2,42 Mb
Начать зарабатывать