Курсовая работа: Вакуумная установка двустороннего нанесения ВУНДер-2016
Описание
Московский ордена Ленина, ордена Октябрьской Революции
и ордена Трудового Красного Знамени
государственный технический университет имени Н.Э. Баумана
РАСЧЕТНО-ПОЯСНИТЕЛЬНАЯ ЗАПИСКА
к курсовому проекту
«Основы проектирования систем автоматического управления
оборудования электронных технологий »
на тему:
«Вакуумная установка двустороннего нанесения
ВУНДер-2016»
Москва, 2016г.
Оглавление
1 Вакуумная установка двустороннего нанесения "ВУНДер-2016" 3
2 Исполнительные устройства. 8
2.1 Список исполнительных устройств. 8
2.2 Список энергетических и информационных потоков к исполнительным устройствам. 12
3 Система электропитания и управления. 14
3.1 Устройства системы электропитания и управления. 14
4 Описание процессной модели установки. 17
5 Описание схемы соединений. 19
Список использованной литературы.. 21
Приложение А. Перечень файлов документации на комплектующие. 22
1. ADAM-5510EKW/TP Программируемый РС-контроллер с поддержкой Ethernet 22
3. ADAM-5056 - Модуль дискретного вывода на 16 каналов. 24
4. ADAM-5024 - Модуль аналогового вывода, 4 канала. 25
5. ADAM-5018 - 7-канальный модуль для подключения термопар. ... 26
6. 4-портовый модуль интерфейсов RS-232 ADAM-5090. 27
7. Многоканальный регулятор мощности OMRON G3ZA-4H203-FLK-UTU 28
8. Блок управления кварцевыми толщиномерами INFICON SQC-310-2-E-1 30
1.1 Краткое описание объекта разработки
В рамках настоящего курсового проекта предлагается разработать систему автоматического управления для вакуумной установки двустороннего напыления ВУНДер-2016.
Установка ВУНДер-2016 разрабатывается специально для потребностей производства изделий пьезотехники и должна встать на замену морально устаревших колпаковых вакуумных установок УВН-71.
В настоящее время установки УВН-71 используются в производстве пьезоэлектрических резонаторов на операции металлизации кристаллических элементов. Токопроводящие электроды заданной топологии формируются на поверхности пластин-пьезоэлектриков методом термического нанесения. Электроды наносят на обе стороны кристаллических элементов, для чего вакуумную камеру разгерметизируют и вручную переворачивают кассеты с подложками.
Технологический процесс производства пьезорезонаторов нового поколения включает в себя операцию по нанесению защитного покрытия поверх тонкоплёночных электродов магнетронным методом. На данный момент процессы нанесения электродов и защитных покрытий выполняются на разных вакуумных установках. При транспортировке кассет между операциями, а также во время ручного переворота, подложки многократно подвергаются воздействию атмосферного воздуха, что отрицательно сказывается на рабочих характеристиках получаемых резонаторов.
Для повышения чистоты технологического процесса было предложено объединить операции нанесения электродов и защитных покрытий в одну. В результате технико-экономического обоснования было принято не модернизировать старые УВН-71, а разработать новую установку. Технические требования, предъявляемые к новой установке, представлены в таблице 1.
Таблица 1 | |
Количество кассет 56х120 мм с подложками | 6 |
Частота вращения карусели, с-1 | 0,1..1,5 |
Диапазон температуры нагрева подложек, оС | 100-400 |
Производимые технологические операции: | - ионная очистка - нанесение подслоя - нанесение электрода - нанесение защитного покрытия |
Контроль процесса нанесения | по толщиномеру |
Возможность переворота кассет с подложками | есть |
Предельное давление, Па | 10-6 |
Время достижения предельного давления 5*10-4 Па, мин, не более | 50 |
Технологическая среда (масл./безмасл.) | безмасляная |
Режим управления технологическим процессом | автоматический |
Таким образом, для реализации технологического процесса установку ВУНДер-2016 предлагается оснастить следующими устройствами:
- источник ионов;
- термический испаритель;
Характеристики курсовой работы
Список файлов
- Вакуумная установка двустороннего нанесения ВУНДер-2016
- str.15.docx 16,01 Kb
- str.9-11.docx 24,73 Kb
- Задание.doc 33,5 Kb
- Лист (1).pdf 186,45 Kb
- Лист (2).pdf 157,57 Kb
- Лист (3).pdf 94,36 Kb
- Лист (4).pdf 771,63 Kb
- Лист (5).pdf 250,88 Kb
- Лист (6).pdf 355,2 Kb
- Презентация.ppt 1,53 Mb
- Прочти меня.txt 141 b
- САУ.docx 3,67 Mb
Начать зарабатывать