Курсовая работа: Установка вакуумного нанесения тонких пленок методом магнетронного распыления
Описание
1.Аннотация…………………………………………………………………………2
2.Введение. ……………………………………..……………………………..…….3
3.Описание комплексной принципиальной схемы………………………..……...7
4.Описание процессной модели…………………….……………………………..9
5.ТЗ и ТП на САУ установкой…………………………………………………....12
6.Информационный поиск элементов САУ……………………………………..18
7. Расчет и описание принципиальной электрической схемы…………….…...46
8.Заключение……………………………………………………………….....…..47
9..Список литературы…………………………………………………….……....48
Приложения……………………………………………………………………....49
- Аннотация
Курсовой проект содержит 6 графических листов, выполненных в программе Компас-3D V13. Расчетно-пояснительная записка выполнена в Microsoft Word 2010, содержит 49 листов и 29 рисунков. В проекте разработана система автоматического управления установкой вакуумного нанесения тонких пленок методом магнетронного распыления.
1-ой и 2-ий листы содержат алгоритм работы установки, разбитый на подпроцессы и схема блочного соединения САУ
3-ий и 4-ый листы содержат комбинированную функциональную схему установки с указанием всех энергетических и управляющих сигналов и перечнем всех элементов.
На 5-ом листе представлена монтажная электрическая схема соединений САУ.
На 6-ом листе представлен интерфейс программы управления установкой.
Основной целью курсового проектирования является закрепление знаний, полученных при изучении дисциплины САУ, применение их на практике в процессе разработки документации на САУ установки вакуумного нанесения тонких пленок методом магнетронного распыления. Поставлена задача разработки максимально эффективной САУ с учетом особенностей установки и протекающих процессов.
Установка вакуумного нанесения тонких пленок методом магнетронного распыления относится к установкам периодического действия и предназначена для формирования чувствительного слоя SnO2 газового сенсора. Заготовки – стеклянные пластины со слоем диоксида кремния (Sio2), представляют собой параллелепипеды размером 48х30х1 мм. В основе работы установки лежит способ распыления материалов мишеней с использованием магнетронного распылителя, вакуумная система снабжена турбомолекулярным и спиральным насосами. Заготовки устанавливаются на подложкодержатель в вакуумной камере установки. Подложкодержатель получает вращательное движение от мотор-редуктора через привод. Это вращение необходимо для равномерного нанесения покрытия на всю рабочую область заготовки. Общий вид установки представлен на рис. 1.
Характеристики курсовой работы
Список файлов
- Установка вакуумного нанесения тонких пленок методом магнетронного распыления
- Задание.docx 20,69 Kb
- Презентация.ppt 5,29 Mb
- Прочти меня.txt 141 b
- САУ.docx 7,46 Mb
- Титульный лист.docx 14,32 Kb
- Чертёж (1).cdw 614,88 Kb
- Чертёж (1).jpg 1,22 Mb
- Чертёж (2).cdw 186,43 Kb
- Чертёж (2).jpg 2,08 Mb
- Чертёж (3).cdw 164 Kb
- Чертёж (3).jpg 1,42 Mb
- Чертёж (4).cdw 274,2 Kb
- Чертёж (4).jpg 1,57 Mb
- Чертёж (5).cdw 484,95 Kb
- Чертёж (5).jpg 1,83 Mb
- Чертёж (6).cdw 649,6 Kb
- Чертёж (6).jpg 1,58 Mb
Начать зарабатывать
zzyxel
