Курсовая работа: САУ установки пескоструйной резки пластин

В год конца света по календарю Майя (2012) был выполнен и сдан данный курсовой проект
Чертежи только в PDF

САУ установки пескоструйной резки маскированных кремниевых пластин »

Москва, 2012г.

Оглавление

Аннотация 3

Введение 4

1. Устройство экспериментальной установки пескоструйной резки 5

2. Выявление недостатков конструкции установки и пути их устранения 7

3. Механизм подачи рабочих сопел (механизм сканирования) 8

4. Транспортер цепной для подачи кассет 9

5. Система нагрева абразивного материала 10

6. Система вибрации бункера 11

7. Пневмосистема 12

7.1. Назначение и работа пневмосистемы установки 12

7.2. Описание элементов пневмосистемы 13

7.2.1. Редукционные клапаны 13

7.2.2. Распределители 13

7.2.3. Датчики давления 15

7.2.4. Расходомеры 16

7.2.5. Запорные вентили 17

7.2.6. Манометры 17

8. Процессы 18

1. Операция «Общий пуск» 19

2. Операция «Подача сжатого воздуха» 19

3. Процесс «Формирование струи абразивного материала» 19

4. Процесс «Настройка установки» 25

5. Процесс «Обработка пластин» 30

9. Система электропитания и управления SPU 32

9.1. Назначение и работа системы электропитания и управления 32

9.2. Система питания 34

9.2.1. Преобразователь переменного напряжения GWS 500-24 37

9.2.2. Программируемы источник питания GEN300-5-IEEE 37

9.2.3. Программируемый источник питания ZUP36-24/E/W 38

9.3. Система управления 40

9.3.1. Плата релейных выводов PCL-735 40

9.3.2. Универсальная клеменная плата PCLD-880 41

9.3.3. Многофункциональная плата сбора данных с высоким разрешением PCI-1710 43

9.3.4. Клеменная плата PCLD-8710 44

9.3.5. Реле G3NA-205B AC200-240 46

9.3.6. Промышленный компьютер iROBO-4000-51G3R 47

Заключение 49

Аннотация

В курсовом проекте по курсу «Основы проектирования систем автоматического управления оборудования электронных технологий» была разработана система питания и управления установки пескоструйной резки маскированных кремниевых пластин. Графические работы проекта в объеме 6 листов формата А1 выполнены на персональном компьютере в программе КОМПАС 3D V11.0.

Расчетно–пояснительная записка выполнена в среде Microsoft Office Word 2003 и содержит 49 страницы машинописного текста, 36 таблиц и 33 рисунков.

Курсовой проект содержит следующие подразделы:

1). Описание установки пескоструйной резки;

2). Выявление недостатков конструкции установки и пути их устранения;

3). Описание систем установки;

4). Описание алгоритмов работы установки;

5). Описание системы питания и управления установки;

В данной курсовой работе была изучена установка пескоструйной резки маскированных полупроводниковых пластин. Была проведена разработка ее системы питания и управления.

Введение

Процесс пескоструйной резки

На пластину предварительно наклеивается маска-трафарет из набора защитных металлических дисков. Кремний разделяется вдоль этой маски с помощью сжатого воздуха, подаваемого с абразивным порошком. На рис. 1 представлена принципиальная схема пескоструйной обработки пластины.

Для обработки маскированных пластин 8 (рис.1) в пескоструйной камере 4 используют струйно-абразивные сопла 9. Абразивный материал всасывается в каждое сопло 9 из бункера 6 по гибкому трубопроводу за счет разряжения, создаваемого струей сжатого воздуха, выходящего из патрубка 3 в корпус сопла.

Для предотвращения выноса из камеры абразивных частиц с отработанным потоком воздуха на входе вытяжной вентиляции 1 установлен фильтр-отражатель 10 потока абразива.