Курсовая работа: Вакуумная установка напыления покрытий магнетронным методом

В год конца света по календарю Майя (2012) был выполнен и сдан данный курсовой проект

Установка Вакуумного напыления магнетронным Методом »

Москва, 2012 г

ЗАДАНИЕ

на курсовой проект по курсу «Основы проектирования систем автоматического управления оборудования электронных технологий».

Тема проекта: Установка вакуумного напыления магнетронным методом

1. Проработать описание работы машины, выбрать и обосновать состав его основных целевых функций, сервисных функций, функций коррекции цели.

2. Разработать комплексную принципиальную схему, как совокупность системы целевых механизмов, системы их энергообеспечения и системы управления, связанных материальными, энергетическими и информационными потоками.

3. Описать механический, энергетический и информационный интерфейс компонентов машины. Дать техническое задание и техническое предложение на САУ и основные элементы машины.

4. Разработать принципиальную электрическую схему элемента САУ или САУ в целом.

Содержание графической части.

1. Процессная модель машины..................................................1 л.
2. Комплексная принципиальная схема....................................2 л.
3. Принципиальная электрическая схема..................................1 л.

Содержание расчетно-пояснительной записки.

1. Введение. Описание целевого, механического и энергетического интерфейса спроектированной технологической машины.
2. Описание процессной модели. Выбор и обоснование целевых, сервисных функций, и функций коррекции цели.
3. Техническое задание и техническое предложение на систему управления машины по приведенной в Приложении 1 форме.
4. Описание комплексной принципиальной схемы ФС. Обоснование структурно-компоновочного решения, выбор и согласование уровней потоков элементов.
5. Документы, сопровождающие комплексную принципиальную схему:
6. перечень элементов ПЭ;
7. перечень потоков и сигналов ПС;
8. технические задания на основные подсистемы и узлы машины ТЗ.
9. Информационный поиск датчиков и исполнительных элементов машины и ее САУ, описание целевого, механического, энергетического и информационного интерфейса этих элементов ОЭ.
10. Расчет и описание принципиальной электрической схемы.
11. Заключение.

Реферат

к расчетно-пояснительной записке по курсовому проекту:

Системы автоматического управления технологического оборудования

Записка содержит 23 страницы, 13 рисунков.

Ключевые слова:

ВАКУУМНАЯ, НАПЫЛЕНИЕ, ВЧ МАГНЕТРОН, ИСТОЧНИК ИОНОВ

Графические работы в объеме 5 листов А1 выполнены на ПК с помощью программы Компас – 3DV13, AutoCADMechanical 2012.

Записка выполнена с использованием среды Word.

Целью данного курсового проекта является разработка системы автоматического управления установкой вакуумного напыления.

Задачей проекта является закрепление знаний и умений, полученных в лекционных курсах, а также приобретение навыков разработки структуры машины, как перечня подсистем и элементов машины, способа их объединения в систему и способа взаимодействия.

Курсовой проект содержит следующие подразделы:

1) Комплексная принципиальная схема (КПС) установки, включающая разработку КПС механической части, КПС системы питания и управления.

2) Процессная модель.

Проведен необходимый анализ подсистем установки, разработан алгоритм рабочего цикла установки.

Содержание

1 Введение. Описание установки..……………………………………………………………..5

2 Описание процессной модели.……………………………………………………………….7

3 Описание элементов установки……………………………………………………………..11

4 Система электропитания и управления……………………………………………………..20

Заключение……………………………………………………………………………………...22

Список литературы……………………………………………………………………………..23

1. Введение

Автоматизация различного вида оборудования применяется широкомасштабно не только на производстве, но и для лабораторных исследований. И в том, и в другом случае автоматизация позволяет облегчить работу оператора, сделать процессы управления и контроля более удобными и наглядными, а также существенно повысить точность соблюдения параметров проведения технологических процессов.

При проектировании САУ необходимо внимательно изучить и продумать все возможные варианты применения САУ в данной конструкции с целью выбора оптимального из них по нескольким критериям: степень автоматизации, сложность изготовления и эксплуатации, цена. Также при проектировании следует использовать элементы и модули, которые впоследствии можно будет без особых проблем заменить и доработать. Это несколько удорожает систему в целом на первоначальном этапе, но вполне окупается в процессе эксплуатации, поскольку через несколько лет не придётся полностью заменять систему по причине её полного морального или физического старения.

Целью данного курсового проекта является овладение навыками, методами и средствами комплексных разработок механических и электронных компонентов оборудования САУ.

В задачи проекта входят:

• распределение функций машины между различными компонентами и обоснование этих функций;
• постановка четких технических заданий перед разработчиками отдельных компонентов;
• выполнение технической документации на электронные компоненты.