Готовая курсовая работа, которая была защищена в 2011-м году

На тему: «Лабораторная вакуумная установка для нанесения тонкопленочных покрытий»

Москва, 2011 г.

Реферат

Курсовой проект содержит 4 графических листа, выполненных в пакете AutoCAD 2007. Расчетно-пояснительная записка выполнена в Microsoft Word 2007, содержит 33 листов. В проекте разработана система автоматического управления установкой вакуумного нанесения тонкопленочного покрытия

1-ый лист (К6-1-06.00.00.000ПМ) содержит алгоритм протекания процессов работы установки.

2-ой и 3-ий листы (К6-1-06.00.00.000ФС) содержат комплексную принципиальную схему установки с указанием всех энергетических и управляющих сигналов, на листах так же представлено разбиение процесса напыления на подпроцессы.

На 4-ом листе (К6-1-06.00.00.000Э4) представлена принципиальная схема электрических соединений.

Содержание

1 Введение…………………………………………………………………………………………..4

2 Описание процессной модели…………………………………………………………………...5

2.1 Деление технологии напыления пленок методом магнетронного распыления на процессы……………………………………………………………………………………………5

2.2 Выбор сервисных функций…………………………………………………………..10

2.3 Выбор функций коррекции цели…………………………………………………….10

3 Описание комплексной принципиальной цели……………………………………………...11

4 Документы, сопровождающие КПС…………………………………………………………..12

4.1 Перечень элементов (ПЭ)…………………………………………………………….12

4.2 Перечень потоков и сигналов………………………………………………………..13

5 Информационный поиск датчиков и исполнительных элементов машины и ее САУ…….14

5.1 ТЗ на элементы САУ………………………………………………………………….14

5.2 ТЗ на элементы вакуумной системы………………………………………………...20

5.3 ТЗ на силовой модуль и источники питания………………………………………..28

6 Расчет и описание принципиальной электрической схемы…………………………………30

7 Заключение……………………………………………………………………………………...31

8 Список используемой литературы…………………………………………………………….32

1 Введение

Производственное оборудование становится всё более автоматизированным во многих сферах его применения. Без управляющей электроники уже не может обойтись ни одна отрасль промышленности, особенно электронное машиностроение, где необходимо управление множеством технологических параметров при высочайшей точности и жестких требованиях к соблюдению технологии.

При конструировании необходимо:

• внимательно изучить и продумать все возможные варианты применения САУ в данной конструкции и выбрать оптимальный из этих вариантов, как по цене, так и по сложности изготовления и эксплуатации;
• обеспечить проектируемое оборудование более высоким сроком службы, то есть, чтобы его физическое и моральное старение настало как можно позже (для этого в конструкцию изделия заранее закладывают модули, которые легко можно заменить или доработать).

Рис. 1 Лабораторная вакуумная установка для нанесения тонкопленочного покрытия.

Целью данного курсового проекта является автоматизация процессов нанесения тонкопленочных покрытий на лабораторной вакуумной установке, овладение навыками, методами и средствами комплексных разработок электронных компонентов оборудования САУ.

К механическому интерфейсу установки относятся: клапаны, затвор, вентиль, РРГ10, насосы, заслонка.

К энергетическому интерфейсу установки относятся: блоки питания, контроллер, ПК.