Курсовая работа: Установка магнетронного напыления
Описание
Расчетно-пояснительная записка
к курсовому проекту по курсу
«Основы проектирования систем автоматического управления оборудованием электронных технологий »
на тему:
«Установка магнетронного напыления ».
Москва, 2010 г.
ЗАДАНИЕ
на курсовой проект по курсу
«Основы проектирования систем автоматического управления оборудования электронных технологий».
Тема проекта: Установка магнетронного напыления
1. Проработать описание работы машины, выбрать и обосновать состав его основных целевых функций, сервисных функций, функций коррекции цели.
2. Разработать комплексную принципиальную схему, как совокупность системы целевых механизмов, системы их энергообеспечения и системы управления, связанных материальными, энергетическими и информационными потоками.
3. Описать механический, энергетический и информационный интерфейс компонентов машины. Дать техническое задание и техническое предложение на САУ и основные элементы машины.4. Разработать принципиальную электрическую схему элемента САУ или САУ в целом.
Содержание графической части.
1.Процессная модель машины.....................................................1 л.
2.Комплексная принципиальная схема.......................................2 л.
3.Принципиальная электрическая схема..................................1 л.
1. Введение. Описание целевого, механического и энергетического интерфейса спроектированной технологической машины.
2. Описание процессной модели. Выбор и обоснование целевых, сервисных функций, и функций коррекции цели.
3. Техническое задание и техническое предложение на систему управления машины по приведенной в Приложении 1 форме.
4.Описание комплексной принципиальной схемы ФС. Обоснование структурно-компоновочного решения, выбор и согласование уровней потоков элементов.
5.Документы, сопровождающие комплексную принципиальную схему:
-перечень элементов ПЭ;
-перечень потоков и сигналов ПС;
-технические задания на основные подсистемы и узлы машины ТЗ.
6.Информационный поиск датчиков и исполнительных элементов машины и ее САУ, описание целевого, механического, энергетического и информационного интерфейса этих элементов ОЭ.
7.Расчет и описание принципиальной электрической схемы.
8.Заключение.
СОДЕРЖАНИЕ
Содержание ...................................................................................... .....................3
Введение ...................................................................................... ..........................4
1. Описание процессной модели ........................................................................7
1.1 Деление технологии напыления на процессы ................................7
1.2 Выбор сервисных функций ..............................................................14
1.3 Выбор функции коррекции цели ....................................................14
2. Описание комплексной принципиальной схемы ....................................15
3. Информационный поиск датчиков и исполнительных элементов машины и ее САУ ...............................................................................................17
3.1 ТЗ на элементы САУ ..........................................................................173.2 ТЗ на элементы установки .........................................................22
3.3 ТЗ на силовой модуль и источники питания ................................34
Заключение ...................................................................................... ...................36
Список литературы ............................................................................................37
Введение
Установка формирования каталитических слоёв предназначена для выращивания адгезионных и каталитических плёнок на пластинах диаметром 100-150 мм.
Установка предназначена для эксплуатации в составе линий полупроводниковых фабрик, на производственных участках промышленных предприятий, научно-исследовательских учреждений и лабораторий, на предприятиях малого и среднего бизнеса и других производственных учреждениях в условиях умеренно-холодного климата.
В основе работы установки лежит способ распыления материалов мишеней с использованием магнетронного распылителя, вакуумная система снабжена турбомолекулярным насосом и двумя спиральными безмасляными насосами.
Рис. 1 – Установка магнетронного напыления
Производственное оборудование становится всё более автоматизированным во многих сферах его применения. Без управляющей электроники уже не может обойтись ни одна отрасль промышленности, особенно электронное машиностроение, где необходимо управление множеством технологических параметров при высочайшей точности и жестких требованиях к соблюдению технологии.
При конструировании необходимо:
·внимательно изучить и продумать все возможные варианты применения САУ в данной конструкции и выбрать оптимальный из этих вариантов, как по цене, так и по сложности изготовления и эксплуатации;
·обеспечить проектируемое оборудование более высоким сроком службы, то есть, чтобы его физическое и моральное старение настало как можно позже (для этого в конструкцию изделия заранее закладывают модули, которые легко можно заменить или доработать).
Целью данного курсового проекта является автоматизация процессов нанесения тонкопленочных покрытий на малогабаритной вакуумной установке модульного типа, овладение навыками, методами и средствами комплексных разработок электронных компонентов оборудования САУ.
К механическому интерфейсу установки относятся:
·клапана;
·затворы;
·насосы
Характеристики курсовой работы
Список файлов
- Установка магнетронного напыления
- Исходник чертежа 1.cdw 123,33 Kb
- Исходник чертежа 3.cdw 333,54 Kb
- Исходник чертежа 4.cdw 367,61 Kb
- Презентация.ppt 3,78 Mb
- Прочти меня.txt 141 b
- САУ.doc 4,83 Mb
- Чертёж 1.jpg 714,16 Kb
- Чертёж 2.PDF 179,58 Kb
- Чертёж 3.jpg 950,1 Kb
- Чертёж 4.jpg 864,61 Kb
Начать зарабатывать