«Установка ионного травления и осмирования»

Москва — 2010 г

ЗАДАНИЕ

на курсовой проект по курсу

«Основы проектирования систем автоматического управления оборудования электронных технологий».

Тема проекта: Установка ионного травления и осмирования.

1. Проработать описание работы машины, выбрать и обосновать состав его основных целевых функций, сервисных функций, функций коррекции цели.

2. Разработать комплексную принципиальную схему, как совокупность системы целевых механизмов, системы их энергообеспечения и системы управления, связанных материальными, энергетическими и информационными потоками.

3. Описать механический, энергетический и информационный интерфейс компонентов машины. Дать техническое задание и техническое предложение на САУ и основные элементы машины.

4. Разработать принципиальную электрическую схему элемента САУ или САУ в целом.

Содержание графической части.

1. Процессная модель машины..................................................1 л.
2. Комплексная принципиальная схема.......................................2 л.
3. Принципиальная электрическая схема....................................1 л.

Содержание расчетно-пояснительной записки.

1. Введение. Описание целевого, механического и энергетического интерфейса спроектированной технологической машины.
2. Описание процессной модели. Выбор и обоснование целевых, сервисных функций, и функций коррекции цели.
3. Техническое задание и техническое предложение на систему управления машины по приведенной в Приложении 1 форме.
4. Описание комплексной принципиальной схемы ФС. Обоснование структурно-компоновочного решения, выбор и согласование уровней потоков элементов.
5. Документы, сопровождающие комплексную принципиальную схему:
6. перечень элементов ПЭ;
7. перечень потоков и сигналов ПС;
8. технические задания на основные подсистемы и узлы машины ТЗ.
9. Информационный поиск датчиков и исполнительных элементов машины и ее САУ, описание целевого, механического, энергетического и информационного интерфейса этих элементов ОЭ.
10. Расчет и описание принципиальной электрической схемы.
11. Заключение.

Содержание

Введение…………………………………………………………..…4

1. Описание процессной модели………………………………......7

1.1. Загрузка подложки в рабочую камеру………………………...8

1.2.1. Процесс форвакуумной откачки…………………………….8

1.2.2. Процесс завершения форвакуумной откачки………..……..9

1.2.3. Процесс высоковакуумной откачки………………………...10

1.2.4. Процесс завершения высоковакуумной откачки…………..11

1.3.1. Регулировка давления при напуске рабочего газа…………11

1.3.2. Напуск рабочего газа………………………………………...12

1.4. Выбор сервисных функций……………………………………14

1.5. Выбор функции коррекции цели……………………………...14

2. Описание комплексной принципиальной схемы………………15

3.1. ТЗ на элементы САУ …………………………...…………......19

3.1.1. Процессорная плата CPU188-5LC ......……………………..19

3.1.2. Плата гальванической изоляции каналов…………………..21

3.1.3. Клеммные платы (TB10/TB20/TB26/TB34)……………….22

3.2. ТЗ на элементы вакуумной системы………………………….23

3.2.1. Пневмодроссель с обратным клапаном…………………….23

3.2.2. Обратный клапан для вакуума ……………………………..26

3.2.3. Пневмоцилиндр……………………………………………...27

3.2.4. Пневмоглушитель……………………………………………28

3.2.5. Турбомолекулярный насос………………………………….29

3.2.6. Механический насос…………………………………………31

3.2.7. Термопарный манометрический преобразователь…….…..32

3.2.8. Ионизационный преобразователь…………………………..33

3.2.9. Электромагнитный клапан…………………………….…….34

3.2.10. Регулятор расхода газа – РРГ-10…………………………..35

3.3. ТЗ на силовой модуль и источники питания…………………36

3.3.1. Силовой модуль М2Д-630…………………………………...36

3.3.2. Блок питания магнетрона……………………………………38

4. Расчет и описание электрической схемы………………………40

Заключение.........................................................................................41

Список литературы.......................................................................... 42

Введение

Автоматизация производства – это процесс в развитии машинного производства, при котором функции управления и контроля, ранее выполнявшиеся человеком, передаются приборам и автоматическим устройствам. Автоматизация производства - это основа развития современной промышленности, генеральное направление технического прогресса. Его целью является повышение эффективности труда, улучшение качества выпускаемой продукции, создание условий для оптимального использования всех ресурсов производства. Без управляющей электроники уже не может обойтись ни одна отрасль промышленности, особенно электронное машиностроение, где необходимо управление множеством технологических параметров при высочайшей точности и жестких требованиях к соблюдению технологии.

Рис. 1 Установка ионного травления и осмирования.

При конструировании необходимо:

• внимательно изучить и продумать все возможные варианты применения САУ в данной конструкции и выбрать оптимальный из этих вариантов, как по цене, так и по сложности изготовления и эксплуатации;
• обеспечить проектируемое оборудование более высоким сроком службы, то есть, чтобы его физическое и моральное старение настало как можно позже (для этого в конструкцию изделия заранее закладывают модули, которые легко можно заменить или доработать).

Целью данного курсового проекта является автоматизация процессов нанесения тонкопленочных покрытий на вакуумной установке ионного травления и осмирования, овладение навыками, методами и средствами комплексных разработок электронных компонентов оборудования САУ.