Курсовая работа: Установка совмещения и экспонирования контактного типа
Описание
Курсовой проект
На тему: «Установка совмещения и экспонирования контактного типа»
Расчетно-пояснительная записка
Москва 2009
Реферат
к курсовому проекту: «Установка совмещения и экспонирования контактного типа»
Записка содержит 30 страниц, 19 рисунков, 3 таблицы.
Ключевые слова:
УСТАНОВКА СОВМЕЩЕНИЯ, ЭКСПОНИРОВАНИЕ, ФОТОШАБЛОН, СИСТЕМА АВТОМАТИЗИРОВАННОГО СОВМЕЩЕНИЯ, КОМПЛЕКСНАЯ ПРИНЦИПИАЛЬНАЯ СХЕМА, ПРОЦЕССНАЯ МОДЕЛЬ, КРЕМНИЕВАЯ ПЛАСТИНА.
Графические работы в объеме 4 листов формата А1 выполнены на ПК с помощью программы АСКОН КОМПАС 3D v9. Записка выполнена с использованием программного продукта Microsoft Office Word 2003.
Целью данного курсового проекта является овладение навыками, методами и средствами комплексных разработок механических и электронных компонентов оборудования САУ, а также правилами и методами составления технического задания на программное обеспечение САУ.
Задачи проекта состоят в:
- распределении функций машины между различными компонентами и обоснование этих функций;
- постановке четких технических заданий перед разработчиками отдельных компонентов;
- выполнении технической документации на электронные компоненты.
В курсовом проекте рассмотрена система автоматизированного управления установкой совмещения с маской и экспонирования для кристального производства.
Рассмотрены основные узлы САУ и проведено:
- проектирование системы управления шаговыми двигателями;
- проектирование системы управления пневмоклапанами;
- расчет блока управления пневмоклапанами.
Оглавление
Реферат…………………………………………………………………………….3
1. Введение………………………………………………………………………...5
2. Описание процессной модели………………………………………………....7
3. Описание комплексной принципиальной схемы…………………………...13
4. Технические параметры элементов машины………………………………..16
5. Проектирование системы управления……………………………………….23
6. Расчет и проектирование блока управления клапанами……………………28
Заключение……………………………………………………………………….29
Список использованных источников…………………………………………...30
1. Введение
Оборудование для формирования микроизображений является самостоятельным классом сложного оптико-механического оборудования. В него входят установки для изготовления различного вида шаблонов, а также установки для переноса изображений шаблонов на подложки. В данном проекте рассмотрена установка совмещения и экспонирования контактного типа.
При контактной фотолитографии экспонирование ведется при непосредственном контакте подложки и фотошаблона (экспонирование с микрозазором также считается контактным методом литографии). При таком методе экспонирования возникает ряд проблем, которые влияют на качество полученного изображения. Данные проблемы можно классифицировать как дефекты изображения, которые могут привести к браку всего изделия, и погрешность изображения топологического рисунка, возникающая в результате оптических явлений.
Примером проблемы контактной литографии может служить не параллельность пластины и фотошаблона при экспонирповании. Для решения этой проблемы используется узел клиновой компенсации. В данной работе процесс клиновой компенсации автоматизирован за счет управления пневмоклапанами и серводвигателем с помощью микроконтроллера.
Фотолитография является одной из важнейших и наиболее сложных операций. Микро- и нанометровые размеры элементов, десятки и сотни тысяч элементов в каждом модуле, десятки и сотни модулей на каждой подложке, размеры которой превышают размеры отдельных элементов в десятки тысяч раз, - все это ставит задачу формирования таких изображений в ряд наиболее сложных проблем современной науки и техники. Эта задача еще более усложняется при второй и последующих литографиях, когда появляется необходимость совмещения топологических слоев.
Именно поэтому процесс совмещения является самым важным в процессе фотолитографии. Ошибка на этапе совмещения топологических слоев приводит к браку всей экспонируемой пластины.
Для уменьшения погрешности совмещения и улучшения воспроизводимости установки в данной работе спроектирована система для автоматического процесса совмещения. С этой целью в узле совмещения применяются шаговые двигатели, управляемые с помощью микроконтроллера.
Проектируемая установка предназначена для одностороннего совмещения и экспонирования кремниевых пластин с маской, в качестве которой применяется стеклянный фотошаблон. Установка оснащена датчиками, с помощью которых обеспечивается автоматизация процесса.
При работе установки все процессы загрузки и выгрузки фотошаблонов и пластин производятся полностью в ручном режиме.
Время экспонирования может выбираться следующим образом:
- обеспечение дозы излучения;
- обеспечение времени экспонирования.
При необходимости рассматриваемая установка может быть усовершенствована:
- установка может быть доукомплектована кассетной станцией;
- установка может быть доукомплектована механизмом предварительной ориентацией подложек;
- установка может быть доукомплектована роботом, для автоматической загрузки и выгрузки подложек.
Характеристики курсовой работы
Список файлов
- Установка совмещения и экспонирования контактного типа
- Презентация.ppt 3,07 Mb
- Прочти меня.txt 141 b
- САУ.doc 1,13 Mb
- Чертёж (1).cdw 239,07 Kb
- Чертёж (2).cdw 230,45 Kb
- Чертёж (3).cdw 101,34 Kb
- Чертёж (4).cdw 172,11 Kb
Начать зарабатывать