Готовый курсовой проект по САУ, который был защищён в 2009-м году

Курсовой проект

На тему: «Установка совмещения и экспонирования контактного типа»

Расчетно-пояснительная записка

Москва 2009

Реферат

к курсовому проекту: «Установка совмещения и экспонирования контактного типа»

Записка содержит 30 страниц, 19 рисунков, 3 таблицы.

Ключевые слова:

УСТАНОВКА СОВМЕЩЕНИЯ, ЭКСПОНИРОВАНИЕ, ФОТОШАБЛОН, СИСТЕМА АВТОМАТИЗИРОВАННОГО СОВМЕЩЕНИЯ, КОМПЛЕКСНАЯ ПРИНЦИПИАЛЬНАЯ СХЕМА, ПРОЦЕССНАЯ МОДЕЛЬ, КРЕМНИЕВАЯ ПЛАСТИНА.

Графические работы в объеме 4 листов формата А1 выполнены на ПК с помощью программы АСКОН КОМПАС 3D v9. Записка выполнена с использованием программного продукта Microsoft Office Word 2003.

Целью данного курсового проекта является овладение навыками, методами и средствами комплексных разработок механических и электронных компонентов оборудования САУ, а также правилами и методами составления технического задания на программное обеспечение САУ.

Задачи проекта состоят в:

• распределении функций машины между различными компонентами и обоснование этих функций;
• постановке четких технических заданий перед разработчиками отдельных компонентов;
• выполнении технической документации на электронные компоненты.

В курсовом проекте рассмотрена система автоматизированного управления установкой совмещения с маской и экспонирования для кристального производства.

Рассмотрены основные узлы САУ и проведено:

• проектирование системы управления шаговыми двигателями;
• проектирование системы управления пневмоклапанами;
• расчет блока управления пневмоклапанами.

Оглавление

Реферат…………………………………………………………………………….3

1. Введение………………………………………………………………………...5

2. Описание процессной модели………………………………………………....7

3. Описание комплексной принципиальной схемы…………………………...13

4. Технические параметры элементов машины………………………………..16

5. Проектирование системы управления……………………………………….23

6. Расчет и проектирование блока управления клапанами……………………28

Заключение……………………………………………………………………….29

Список использованных источников…………………………………………...30

1. Введение

Оборудование для формирования микроизображений является самостоятельным классом сложного оптико-механического оборудования. В него входят установки для изготовления различного вида шаблонов, а также установки для переноса изображений шаблонов на подложки. В данном проекте рассмотрена установка совмещения и экспонирования контактного типа.

При контактной фотолитографии экспонирование ведется при непосредственном контакте подложки и фотошаблона (экспонирование с микрозазором также считается контактным методом литографии). При таком методе экспонирования возникает ряд проблем, которые влияют на качество полученного изображения. Данные проблемы можно классифицировать как дефекты изображения, которые могут привести к браку всего изделия, и погрешность изображения топологического рисунка, возникающая в результате оптических явлений.

Примером проблемы контактной литографии может служить не параллельность пластины и фотошаблона при экспонирповании. Для решения этой проблемы используется узел клиновой компенсации. В данной работе процесс клиновой компенсации автоматизирован за счет управления пневмоклапанами и серводвигателем с помощью микроконтроллера.

Фотолитография является одной из важнейших и наиболее сложных операций. Микро- и нанометровые размеры элементов, десятки и сотни тысяч элементов в каждом модуле, десятки и сотни модулей на каждой подложке, размеры которой превышают размеры отдельных элементов в десятки тысяч раз, - все это ставит задачу формирования таких изображений в ряд наиболее сложных проблем современной науки и техники. Эта задача еще более усложняется при второй и последующих литографиях, когда появляется необходимость совмещения топологических слоев.

Именно поэтому процесс совмещения является самым важным в процессе фотолитографии. Ошибка на этапе совмещения топологических слоев приводит к браку всей экспонируемой пластины.

Для уменьшения погрешности совмещения и улучшения воспроизводимости установки в данной работе спроектирована система для автоматического процесса совмещения. С этой целью в узле совмещения применяются шаговые двигатели, управляемые с помощью микроконтроллера.

Проектируемая установка предназначена для одностороннего совмещения и экспонирования кремниевых пластин с маской, в качестве которой применяется стеклянный фотошаблон. Установка оснащена датчиками, с помощью которых обеспечивается автоматизация процесса.

При работе установки все процессы загрузки и выгрузки фотошаблонов и пластин производятся полностью в ручном режиме.

Время экспонирования может выбираться следующим образом:

• обеспечение дозы излучения;
• обеспечение времени экспонирования.

При необходимости рассматриваемая установка может быть усовершенствована:

• установка может быть доукомплектована кассетной станцией;
• установка может быть доукомплектована механизмом предварительной ориентацией подложек;
• установка может быть доукомплектована роботом, для автоматической загрузки и выгрузки подложек.