Курсовая работа: Установка демпфирования СЗМ Solver Pro47
Описание
Расчетно-пояснительная записка
по курсовому проекту по дисциплине
«Системы автоматического управления технологическим оборудованием»
на тему:
«Установки демпфирования СЗМ Solver Pro47»
Москва
2009 г.
ЗАДАНИЕ
на курсовой проект по курсу «Основы проектирования систем автоматического управления оборудования электронных технологий».
Тема проекта: Установка демпфирования СЗМ Solver Pro
1. Проработать описание работы машины, выбрать и обосновать состав его основных целевых функций, сервисных функций, функций коррекции цели.
2. Разработать комплексную принципиальную схему, как совокупность системы целевых механизмов, системы их энергообеспечения и системы управления, связанных материальными, энергетическими и информационными потоками.
3. Описать механический, энергетический и информационный интерфейс компонентов машины. Дать техническое задание и техническое предложение на САУ и основные элементы машины.
4. Разработать принципиальную электрическую схему элемента САУ или САУ в целом.
Содержание графической части.
- Процессная модель………………………………….............1 л.
- Комплексная принципиальная схема....................................2 л.
- Блок энергоавтоматики………………..................................2 л.
Содержание расчетно-пояснительной записки.
- Введение. Описание целевого, механического и энергетического интерфейса спроектированной технологической машины.
- Описание процессной модели. Выбор и обоснование целевых, сервисных функций, и функций коррекции цели.
- Техническое задание и техническое предложение на систему управления машины по приведенной в Приложении 1 форме.
- Описание комплексной принципиальной схемы ФС. Обоснование структурно-компоновочного решения, выбор и согласование уровней потоков элементов.
- Документы, сопровождающие комплексную принципиальную схему:
- перечень элементов ПЭ;
- перечень потоков и сигналов ПС;
- технические задания на основные подсистемы и узлы машины ТЗ.
- Информационный поиск датчиков и исполнительных элементов машины и ее САУ, описание целевого, механического, энергетического и информационного интерфейса этих элементов ОЭ.
- Расчет и описание принципиальной электрической схемы.
- Заключение.
Содержание
Введение…………………………………………………………………………………………..5
Процессная модель…………………………………………………………………………….....7
Комплексная принципиальная схема……………………………………………………………8
Документы, сопровождающие КПС……………………………………………………………10
Расчет и описание электрической схемы………………………………………………………12
Последовательность прохождения сигнала в контроллере………………..…………………15
Электрическая схема блока преобразователя…………………………………………………18
Заключение………………………………………………………………………………………22
Список литературы……………………………………………………………………………...23
Реферат
к курсовому проекту
«Установка демпфирования СЗМ Solver Pro47»
Записка содержит страниц, рисунков, таблиц.
Ключевые слова:
СКАНИРУЮЩИЙ ЗОНДОВЫЙ МИКРОСКОП, ДЕМПФЕР, АКТИВНАЯ СИСИТЕМА ВИБРОИЗОЛЯЦИИ, СИСТЕМА ДЕМПФИРОВАНИЯ, комплексная принципиальная схема, процессная модель, Электрическая Схема
В данном курсовом проекте рассмотрена система автоматизированного управления установкой демпфирования СЗМ Solver Pro 47.
Рассмотрены основные узлы САУ и проведено проектирование принципиальной электрической схемы.
Графическую часть проекта составляют 5 листов, выполненных в среде KOMPAS V9. Расчетно–пояснительная записка составляет 23 листа выполненных в среде Microsoft Word 2003.
Графическая часть курсового проекта содержит:
- Процессную модель установки. Блок схему алгоритмов работы.
- Комплексную принципиальную схему установки.
- Электрическую принципиальную схему.
Введение
Современное прецизионное оборудование для микролитографии, анализа поверхности (сканирующие зондовые микроскопы), производства шаблонов печатных плат, юстировки лазеров использует системы виброзащиты от внешних воздействий для реализации точного позиционирования инструмента. Проблема виброзащиты может быть решена на основе принципиально новых демпферов на основе магнитоуправляемого эластомера (МЭ-демпфер), идея которых заключаются в использовании материала, меняющего при воздействии управляющего магнитного поля модуль упругости и относительную деформацию. На основе данного материала разработаны и исследованы экспериментальные образцы МЭ-демпфера, обладающий высокой точностью, быстродействием и диапазоном перемещений, и разработан испытательный стенд установки демпфирования СЗМ Solver Pro47. Уникальные свойства магнитоуправляемого эластомера позволяют обеспечить:
- малую погрешность линейного перемещения демпфера (£ 1мкм);
- малую постоянную времени (£ 0,06 с);
- диапазон линейных перемещений более 90 мкм и передаваемое усилие более 100 Н.
Испытательный стенд состоит из рамы, массивного основания, 3-х демпферов, 3-х штативов с закрепленными на них акселерометрами и сканирующего зондового микроскопа. Массивное основание (гранитная плита), располагающаяся на раме, необходимо для гашения вибраций большой амплитуды и частоты. Количество демпферов (3-е демпфера) обусловлено наличием 3-х опорных точек у сканирующего зондового микроскопа. Каждый из демпферов работает независимо, следовательно, микроскоп может совершать движение по 3-м степеням свободы. Демпферы крепятся с помощью болтового соединения к плите.
Микроскоп фиксируется на демпферах с помощью штативов, закрепленных на демпфере с помощью резьбового соединения.
Возмущающее воздействие фиксируется с помощью акселерометра; сигнал с датчика поступает в систему обратной связи (СОС): акселерометр – САУ – блок питания – демпфер, где он усиливается и в противофазе подается на демпфер, который, смещаясь в противоположную сторону, гасит ускорение, испытываемое штативом. Демпфер является основным элементом привода испытательного стенда установки демпфирования СЗМ Solver Pro47.
Технические характеристики МЭ-демпфера:
- Максимальная погрешность перемещения платформы по оси Z ……...…….1 мкм
- Диапазон перемещений по оси Z ……………………………………………..90 мкм
- Постоянная времени t …………………………………………………………0,06 с
- Максимальный ток в катушке I …………………………………………………..2 А
- Частота вибраций n ……………………………………………………………5-60 Гц
- Температура узла в рабочем состоянии t …………………………………...19-20 С°
Целью данного курсового проекта является автоматизация процесса демпфирования СЗМ, овладение навыками, методами и средствами комплексных разработок электронных компонентов оборудования САУ.
К механическому интерфейсу установки относятся:
- демпфер;
- микроскоп.
К энергетическому интерфейсу установки относятся:
- блок питания;
- ПК.
Задачи проекта:
- распределении функций машины между различными компонентами и обоснование этих функций;
- постановке четких технических заданий перед разработчиками отдельных компонентов;
- выполнении технической документации на электронные компоненты.
Характеристики курсовой работы
Список файлов
- Установка демпфирования СЗМ Solver Pro47
- ЗАДАНИЕ_.doc 26,5 Kb
- Презентация.ppt 12,39 Mb
- Прочти меня.txt 141 b
- РПЗ.doc 13,52 Mb
- Чертёж (1).cdw 72,04 Kb
- Чертёж (2).cdw 133,78 Kb
- Чертёж (3).cdw 67,29 Kb
- Чертёж (4).cdw 93,65 Kb
- Чертёж (5).cdw 297,62 Kb
Начать зарабатывать