Готовый курсовой проект по САУ, который был защищён в 2009-м году

Курсовой проект

«Система автоматического управления установкой для проявления фоторезиста»

Расчетно-пояснительная записка

Студент: Пересыпкин С.В.

Группа: МТ11-111

Руководитель проекта: Тахаутдинов Р.Ш.

Москва, 2009 г.

ЗАДАНИЕ

на курсовой проект по системам автоматического управления оборудования электронных технологий.

Студент: Пересыпкин С.В. ____________________ гр. МТ11-111

(подпись)

Руководитель проекта: Тахаутдинов Р.Ш. ______________________

(подпись)

Тема проекта: «Горизонтальная установка проявления фоторезиста »

1. Проработать описание работы машины, выбрать и обосновать состав его основных целевых функций, сервисных функций, функций коррекции цели.

2. Разработать комплексную принципиальную схему, как совокупность системы целевых механизмов, системы их энергообеспечения и системы управления, связанных материальными, энергетическими и информационными потоками.

3. Описать механический, энергетический и информационный интерфейс компонентов машины. Дать техническое задание и техническое предложение на САУ и основные элементы машины.

4. Разработать принципиальную электрическую схему элемента САУ или САУ в целом.

Содержание графической части.

1. Процессная модель машины..................................................1 л.
2. Комплексная принципиальная схема....................................2 л.
3. Принципиальная электрическая схема..................................1 л.

Содержание расчетно-пояснительной записки.

1. Введение. Описание целевого, механического и энергетического интерфейса спроектированной технологической машины.
2. Описание процессной модели. Выбор и обоснование целевых, сервисных функций, и функций коррекции цели.
3. Техническое задание и техническое предложение на систему управления машины по приведенной в Приложении 1 форме.
4. Описание комплексной принципиальной схемы ФС. Обоснование структурно-компоновочного решения, выбор и согласование уровней потоков элементов.
5. Документы, сопровождающие комплексную принципиальную схему:
6. перечень элементов ПЭ;
7. перечень потоков и сигналов ПС;
8. технические задания на основные подсистемы и узлы машины ТЗ.
9. Информационный поиск датчиков и исполнительных элементов машины и ее САУ, описание целевого, механического, энергетического и информационного интерфейса этих элементов ОЭ.
10. Расчет и описание принципиальной электрической схемы.
11. Заключение.

Реферат

к курсовому проекту: «Система автоматического управления установкой для проявления фоторезиста»

Записка содержит 24 страницы, 13 рисунков, 1 таблица.

Ключевые слова:

ПРОЯВЛЕНИЕ, Фотолитография, МОКРЫЕ ПРОЦЕССЫ, ГОРИЗОНТАЛЬНЫЕ УСТАНОВКИ ПРОЯВЛЕНИЯ, МИКРОКОНТРОЛЛЕР, КОМПЛЕКСНАЯ ПРИНЦИПИАЛЬНАЯ СХЕМА, ПРОЦЕССНАЯ МОДЕЛЬ, ЭЛЕКТРИЧЕСКАЯ СХЕМА.

Графические работы в объеме 4 листов формата А1 выполнены на ПК с помощью программы АСКОН КОМПАС 3D v9. Записка выполнена с использованием программного продукта Microsoft Office Word 2003.

Целью данного курсового проекта является овладение навыками, методами и средствами комплексных разработок механических и электронных компонентов оборудования САУ, а также правилами и методами составления технического задания на программное обеспечение САУ.

Задачи проекта состоят в:

• 
  
  • распределении функций машины между различными компонентами и обоснование этих функций;
  • постановке четких технических заданий перед разработчиками отдельных компонентов;
  • выполнении технической документации на электронные компоненты.

В курсовом проекте рассмотрена система автоматизированного управления установкой проявления фоторезиста для производства печатных плат.

Рассмотрены основные узлы САУ и проведено:

• проектирование системы управления асинхронным электродвигателем;
• проектирование системы управления электромагнитными клапанами;
• проектирование системы контроля температуры, уровня и pH раствора проявления.

Содержание

1. Введение. 5

2. Общее описание работы установки. 6

3. Описание процессной модели. 7

4. Функции системы.. 9

5. Система энергообеспечения. 10

6. Перечень информационных сигналов системы управления. 11

7. Описание комплексной принципиальной схемы.. 12

8. Покупные изделия. 12

9. Заключение. 23

10. Список литературы.. 24

• Введение.

Основной технологический процесс в производстве печатных плат – фотолитография.

Фотолитография - это технологический процесс, применяю­щийся при микрообработке различных плоских заготовок метода­ми локального удаления материала (травление, абразивная обра­ботка) или локального нанесения материала (напыление, гальва­ника, химическое осаждение).

Суть фотолитографии состоит в следующем. На поверхность обрабатываемой заготовки наносится тонкий слой фоточувстви­тельного кислотостойкого полимера - фоторезиста, в котором формируются сквозные рельефы («окна») заданных размеров и формы, для чего слой фоторезиста экспонируется через фотошаб­лон, а затем проявляется.

Фотошаблон, содержащий требуемую топологию «окон», ос­вещается равномерным потоком ультрафиолетового излучения, его изображение непосредственно или через оптическую систему передается в фоторезист. При облучении через прозрачные «окна» фотошаблона облучаемые участки фоторезиста необратимо меня­ют свои химические свойства, формируется скрытое изображение рисунка фотошаблона.

В результате проявления скрытое изображение в фоторезисте превращается в рельеф.

Рис. 1. Схема фотолитографии.

При изготовлении печатных плат возникают погрешности разной природы. Они появляются на разных этапах, накладываются друг на друга и в итоге могут привести к браку или низкому качеству изделия. Одной из операций существенно влияющих на качество и точность печатных плат является проявление.

Существует два основных типа установок проявления фоторезиста: вертикалиные и горизонтальные. Вертикальные установки характеризуются низкой стоимостью, небольшими габаритами, а также простотой конструкции. Горизонтальные установки имеют большую производительность и большую точность по сравнению с вертикальными установками, а также они имеют гораздо большие возможности для автоматизации технологического процесса. Поэтому в качестве проектируемой установки была выбрана горизонтальная установка проявления конвейерного типа, САУ для которой проектируется в данном курсовом проекте.