Курсовая работа: САУ привода рабочих сопел установки пескоструйной резки кремниевых пластин на кристаллы

Готовый курсовой проект по САУ, который был защищён в 2009-м году

Расчет и конструирование системы автоматического управления привода рабочих сопел установки пескоструйной резки кремниевых пластин на кристаллы.

2009

Содержание

1. Введение…………………………………………………………….………...3

2. Описание процессной модели………………………………..…………..6

2.1 Функции системы…………………………………………………..….……6

2.2 Основные целевые процессы………………………………………...…….6

2.3 Сервисные процессы………………………………………………..…...9 3. Комплексная принципиальная схема……………………..............12

3.1 Механический интерфейс пневмогидравлического привода……..…….12

3.2 Энергетический интерфейс пневмогидравлического привода……........12

3.3 Информационный интерфейс пневмогидравлического привода……….13

4. Техническое задание на элементы и узлы САУ………………….14

4.1 Механическая часть САУ…………………………………………………14

4.1.1 Пневматическая система………………………………………...……..14

4.1.2 Гидравлическая система………………………………………….…….30

4.2 Энергетическая часть САУ………………………………………………..32

4.3 Информационная часть САУ……………………………………………..37

5. Заключение…………………………………………………………..……..40

6. Список литературы……………………………………………......41

1. Введение

В ходе выполнения предыдущих курсовых проектов основной задачей стало усовершенствование конструкции механизма сканирования сопел, используемого в установке пескоструйной резки полупроводниковых пластин и создание унифицированного блока пневмогидропривода на основе каталога фирмы FESTO и полученных знаний на инженерном практикуме по приводам, использующих электро и магнитореологическую жидкость для компенсации неравномерности скорости и точного позиционирования.

Описание работы установки резки полупроводниковых пластин

Установка содержит проходную рабочую камеру, бункер, сопла, установленные с возможностью возвратно-поступательного перемещения, замкнутый транспортер для размещения пластин, циклон в котором смонтированы пневмовибратор, ворошитель и транспортное сопло, а также трубопроводы, соединяющие циклон, смесительные камеры, бункер, рабочее и транспортное сопла с источником сжатого воздуха.

Функцию перемещения рабочих сопел выполняет пневмогидропривод возвратно-поступательного движения, оснащенный магнитореологическим тормозом.

Условно привод перемещения рабочих сопел можно поделить на 3 части (механико-пневматическую, гидравлическую и магнитореологическую).

Механико-пневматическая часть состоит из пневмопривода DGO-25-700-P-A-B фирмы FESTO (рис. 1). Каретка привода совершает горизонтальное возвратно-поступательное движение, на ней горизонтально закреплена рейка зубчато-реечной передачи. Последняя передает движение через зубчатое колесо вертикально расположенным тягам с соплами.

Рис. 1

Гидравлическая часть состоит из гидроцилиндра, поршень которого соединен с кареткой пневмопривода посредством тяги. Гидравлическая часть играет пассивную роль в движении (обеспечивает его плавность).

Магнитореологической частью является магнитореологический тормоз, находящийся между кареткой и гидроцилиндром и взаимодействующий с тягой. Принцип работы магнитореологического тормоза (на основе МР эффекта) основан на способности рабочей магнитореологической жидкости изменять свою вязкость под воздействием магнитного потока. Подавая ток на катушку МР тормоза, мы создает магнитный поток и, тем самым, увеличиваем вязкость МР жидкости и тормозим тягу. Таким образом, мы можем регулировать скорость движения всего привода в зависимости от значения подаваемого тока на катушку МР-тормоза.

Схема спроектированного привода представлена на рис. 2.