Курсовая работа: Пескоструйная установка резки кремниевых кристаллов
Описание
Содержание.
1.Введение 3
2.Описание процессной модели. 5
2.1 Деление технологии на процессы. 52.2 Выбор сервисных функций. 7
2.3 Выбор функций коррекции цели. 7
3.Описание состояний установки.7
3.1Штатные состояния.7
3.2Аварийные состояния.8
4. Описание процессной модели.95. Описание комплексной принципиальной схемы и 11
Технические задания на элементы и узлы машины.
6.Расчет электропитания. 14
7.Описание принципиальной электрической схемы. 15
Заключение. 17
Список использованной литературы. 18
1.Введение.
1.1. В данной курсовой работе рассмотрим спроектированную установку абразивной резки кремниевых кристаллов. Опытно-промышленная пескоструйная установка резки предназначена для разделения полупроводниковых пластин, маскированных защитными металлическими экранами, на кристаллы (диски) путем воздействия на обрабатываемую поверхность потоком абразивных частиц. Обработка немаскированной поверхности пластин осуществляется в автоматическом режиме шестью струйными соплами, которые
формируют поток абразивных частиц. В зависимости от
размеров защитных экранов, на предприятии выполняется резка пластин на кристаллы-диски в диапозоне диаметров 1.5….3.4 мм с точностью ± 0.03 мм.
Основные параметры для кристаллов диаметром 1.5 мм и 2.0 мм (по номиналу):
-частота сканирования сопел 0.90…0.95 дв.х/с;
-скорость подачи кассеты с пластинами (0.16…0.22) 10-3 м/с;
-давление воздуха на входе сопел - (0.30 ±0.01) МПа;
Конечным результатом при работе на установке является диск с наклеенными кремниевыми кристаллами
Исходной заготовкой является кремниевая пластина, наклеенная на стеклянную пластину с нанесённым на неё маскирующим покрытием.
Механические свойства кремния ( высокая твёрдость и хрупкость), а также чрезвычайно высокая стоимость пластин из монокристаллического кремния накладывают ряд ограничений на технологию резки.Исходными заготовками являются пластмассовые кассеты с закреплёнными в них пластинами по ( 5 шт в кассете ). Технический рисунок готового изделия приведён на рис 1.
Характеристики курсовой работы
Список файлов
- Пескоструйная установка резки кремниевых кристаллов
- Листы.dwg 1,02 Mb
- Презентация.ppt 1,18 Mb
- Прочти меня.txt 141 b
- САУ.doc 1,58 Mb
Начать зарабатывать